SiC Coating/Coated Graphite Substrate/Tray for Semiconductor

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor សម្រាប់ការលូតលាស់ Epitaxial គឺជាផលិតផលដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីផ្តល់នូវដំណើរការជាប់លាប់ និងអាចទុកចិត្តបានក្នុងរយៈពេលវែង។វាមានភាពធន់ទ្រាំកំដៅដ៏ល្អនិងឯកសណ្ឋានកម្ដៅ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ធន់នឹងសំណឹក ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាដំណោះស្រាយដ៏ល្អឥតខ្ចោះសម្រាប់កម្មវិធីកែច្នៃ wafer ។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

SiC coating/coated of Graphite susceptor for Semiconductor
 
SiC Coated Graphite Susceptor គឺជាសមាសធាតុសំខាន់ដែលប្រើក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ផ្សេងៗ។យើងប្រើប្រាស់បច្ចេកវិជ្ជាដែលមានប៉ាតង់របស់យើងដើម្បីធ្វើឱ្យក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនស៊ីលីកុនកាបែតមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ភាពឯកសណ្ឋាននៃថ្នាំកូតល្អ និងអាយុកាលសេវាកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ព្រមទាំងធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិស្ថេរភាពកម្ដៅ។

 លក្ខណៈពិសេស៖ 
· ធន់នឹងការឆក់កំដៅបានយ៉ាងល្អ
· ភាពធន់នឹងការប៉ះទង្គិចរាងកាយដ៏អស្ចារ្យ
· ភាពធន់នឹងគីមីដ៏អស្ចារ្យ
· ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។
· ភាពអាចរកបានក្នុងទម្រង់ស្មុគស្មាញ
· ប្រើក្រោមបរិយាកាសអុកស៊ីតកម្ម

កម្មវិធី៖

៣

លក្ខណៈទូទៅនៃសម្ភារៈក្រាហ្វិចមូលដ្ឋាន៖

ដង់ស៊ីតេជាក់ស្តែង៖ 1.85 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3
ភាពធន់នឹងអគ្គិសនី៖ 11 μΩm
កម្លាំងបត់បែន៖ 49 MPa (500kgf/cm2)
ភាពរឹងរបស់ច្រាំង៖ 58
ផេះ៖ <5 ppm
ចរន្តកំដៅ៖ 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

លក្ខណៈសម្បត្តិរូបវន្តមូលដ្ឋាននៃ CVD SiCថ្នាំកូត

性质 / អចលនទ្រព្យ

典型数值 / តម្លៃធម្មតា

晶体结构 / រចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់

ដំណាក់កាល FCC β 多晶,主要为 (111) 取向

密度 / ដង់ស៊ីតេ

3.21 ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ 3

硬度 / រឹង

2500 维氏硬度 (ផ្ទុក 500 ក្រាម)

晶粒大小 / Grain SiZe

2 ~ 10 μm

纯度 / ភាពបរិសុទ្ធគីមី

99.99995%

热内 / សមត្ថភាពកំដៅ

640 J · គីឡូក្រាម-1· ខេ-1

升华温度 / សីតុណ្ហភាព Sublimation

២៧០០ អង្សាសេ

抗弯强度 / Flexural Strength

415 MPa RT 4 ចំណុច

杨氏模量 / ម៉ូឌុលរបស់ Young

430 Gpa 4pt ពត់, 1300 ℃

导热系数 / ចរន្តកំដៅ

៣០០ វ៉-1· ខេ-1

热膨胀系数 / ការពង្រីកកំដៅ (CTE)

៤.៥ × ១០-6K-1

១

២

 

ក្រុមហ៊ុន VET Energy គឺជាអ្នកផលិតពិតប្រាកដនៃផលិតផលក្រាហ្វិច និងស៊ីលីកុនកាបូនឌីអុកស៊ីតតាមតម្រូវការ ជាមួយនឹងថ្នាំកូតផ្សេងៗគ្នាដូចជា ថ្នាំកូត SiC ថ្នាំកូត TaC ថ្នាំកូតកាបូនកញ្ចក់ ថ្នាំកូតកាបូន pyrolytic ជាដើម អាចផ្គត់ផ្គង់គ្រឿងបន្លាស់តាមតម្រូវការផ្សេងៗសម្រាប់ឧស្សាហកម្ម semiconductor និង photovoltaic ។

ក្រុមបច្ចេកទេសរបស់យើងមកពីស្ថាប័នស្រាវជ្រាវក្នុងស្រុកកំពូល អាចផ្តល់នូវដំណោះស្រាយសម្ភារៈដែលមានជំនាញវិជ្ជាជីវៈបន្ថែមទៀតសម្រាប់អ្នក។

យើងបន្តអភិវឌ្ឍដំណើរការកម្រិតខ្ពស់ដើម្បីផ្តល់នូវសម្ភារៈទំនើបបន្ថែមទៀត ហើយបានអនុវត្តបច្ចេកវិទ្យាដែលមានប៉ាតង់ផ្តាច់មុខ ដែលអាចធ្វើឱ្យការផ្សារភ្ជាប់រវាងថ្នាំកូត និងស្រទាប់ខាងក្រោមកាន់តែតឹង ហើយងាយនឹងមានការផ្ដាច់ចេញ។

សូមស្វាគមន៍យ៉ាងកក់ក្តៅចំពោះអ្នកមកកាន់រោងចក្ររបស់យើង សូមធ្វើការពិភាក្សាបន្ថែម!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • WhatsApp ជជែកតាមអ៊ីនធឺណិត!