ថាមពល VETទូកក្រាហ្វិច PECVD សម្រាប់កោសិកាថាមពលព្រះអាទិត្យ គឺជាសម្ភារៈប្រើប្រាស់ស្នូលដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការ PECVD (ប្លាស្មាបង្កើនការបញ្ចេញចំហាយគីមី) នៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ ទូកក្រាហ្វិចត្រូវបានផលិតឡើងពីក្រាហ្វិចអ៊ីសូស្តាទិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលមាន porosity តិចជាង 15% និងផ្ទៃរដុបនៃRa≤1.6μm។ វាមានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អឥតខ្ចោះដូចជាធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងច្រេះ និងស្ថេរភាពវិមាត្រ។ ស្ថេរភាពវិមាត្រដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងចរន្តកំដៅធានាបាននូវការដាក់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពថ្ម។ វាអាចផ្តល់នូវក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលមានស្ថេរភាពនៅក្នុងបរិយាកាស PECVD ដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់ ដើម្បីធានាបាននូវការបញ្ចេញឯកសណ្ឋាន និងគុណភាពខ្ពស់នៃខ្សែភាពយន្តសូឡា។
សម្ភារៈក្រាហ្វិចពី SGL៖
ប៉ារ៉ាម៉ែត្រធម្មតា: R6510 | |||
សន្ទស្សន៍ | ស្តង់ដារសាកល្បង | តម្លៃ | ឯកតា |
ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម | ISO 13320 | ១០ | μm |
ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន | DIN IEC 60413/204 | ១.៨៣ | ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ3 |
បើក porosity | DIN66133 | ១០ | % |
ទំហំរន្ធញើសមធ្យម | DIN66133 | ១.៨ | μm |
ភាពជ្រាបចូល | DIN 51935 | 0.06 | សង់ទីម៉ែត្រ 2/s |
ភាពរឹងរបស់ Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | ៩០ | HR |
ភាពធន់នឹងអគ្គិសនីជាក់លាក់ | DIN IEC 60413/402 | ១៣ | μΩm |
កម្លាំងបត់បែន | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
កម្លាំងបង្ហាប់ | DIN 51910 | ១៣០ | MPa |
ម៉ូឌុលរបស់ Young | DIN 51915 | ១១.៥ × ១០³ | MPa |
ការពង្រីកកំដៅ (20-200 ℃) | DIN 51909 | ៤.២X១០-6 | K-1 |
ចរន្តកំដៅ (20 ℃) | DIN 51908 | ១០៥ | Wm-1K-1 |
វាត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតកោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ គាំទ្រដល់ការកែច្នៃ wafer ទំហំធំ G12។ ការរចនាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលបានកែលម្អយ៉ាងសំខាន់បង្កើនទិន្នផល ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់ និងតម្លៃផលិតកម្មទាប។
ធាតុ | ប្រភេទ | ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer លេខ |
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 156 | 156-13 ទូក grephite | ១៤៤ |
156-19 ទូក grephite | ២១៦ | |
156-21 ទូក grephite | ២៤០ | |
១៥៦-២៣ ទូកក្រាហ្វិច | ៣០៨ | |
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 125 | 125-15 ទូក grephite | ១៩៦ |
125-19 ទូក grephite | ២៥២ | |
125-21 ទូក grphite | ២៨០ |