Dual-Damascene គឺជាបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការដែលប្រើសម្រាប់ផលិតទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា។ វាគឺជាការអភិវឌ្ឍបន្ថែមទៀតនៃដំណើរការក្រុងដាម៉ាស។ ដោយបង្កើតតាមរន្ធ និងចង្អូរក្នុងពេលដំណាលគ្នាក្នុងជំហានដំណើរការដូចគ្នា ហើយបំពេញវាដោយលោហៈ ការផលិតរួមបញ្ចូលគ្នានៃទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈត្រូវបានសម្រេច។
ហេតុអ្វីបានជាគេហៅថា ដាម៉ាស?
ទីក្រុង Damascus គឺជារដ្ឋធានីនៃប្រទេសស៊ីរី ហើយដាវ Damascus មានភាពល្បីល្បាញដោយសារភាពមុតស្រួច និងវាយនភាពដ៏ប្រណិតរបស់ពួកគេ។ ប្រភេទនៃដំណើរការ inlay គឺត្រូវបានទាមទារ: ដំបូង លំនាំដែលត្រូវការត្រូវបានឆ្លាក់លើផ្ទៃដែក Damascus ហើយសមា្ភារៈដែលបានរៀបចំទុកជាមុនត្រូវបានចាក់យ៉ាងតឹងចូលទៅក្នុងចង្អូរដែលឆ្លាក់។ បនា្ទាប់ពីការបញ្ចូលត្រូវបានបញ្ចប់ ផ្ទៃអាចមិនស្មើគ្នាបន្តិច។ សិប្បករនឹងខាត់វាដោយប្រុងប្រយ័ត្នដើម្បីធានាបាននូវភាពរលោងទាំងមូល។ ហើយដំណើរការនេះគឺជាគំរូដើមនៃដំណើរការ Dual Damascus នៃបន្ទះឈីប។ ដំបូង grooves ឬរន្ធត្រូវបានឆ្លាក់នៅក្នុងស្រទាប់ dielectric ហើយបន្ទាប់មកលោហៈត្រូវបានបំពេញនៅក្នុងពួកគេ។ បន្ទាប់ពីការបំពេញលោហៈលើសនឹងត្រូវដកចេញដោយ cmp ។
ជំហានសំខាន់នៃដំណើរការ damascene ពីររួមមាន:
▪ ការទម្លាក់ស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិច៖
ដាក់ស្រទាប់នៃសម្ភារៈ dielectric ដូចជា silicon dioxide (SiO2) នៅលើ semiconductorwafer.
▪ Photolithography ដើម្បីកំណត់លំនាំ៖
ប្រើ photolithography ដើម្បីកំណត់លំនាំនៃ vias និង trenches នៅលើស្រទាប់ dielectric ។
▪ការឆ្លាក់:
ផ្ទេរលំនាំនៃ vias និង trenches ទៅស្រទាប់ dielectric តាមរយៈដំណើរការ etching ស្ងួតឬសើម។
▪ ការទម្លាក់លោហៈ៖
បញ្ចូលលោហៈដូចជាទង់ដែង (Cu) ឬអាលុយមីញ៉ូម (Al) នៅក្នុងរន្ធ និងលេណដ្ឋានដើម្បីបង្កើតទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈ។
▪ ការប៉ូលាមេកានិកគីមី៖
ប៉ូលាមេកានិកគីមីនៃផ្ទៃលោហៈ ដើម្បីយកលោហៈលើស និងធ្វើឱ្យផ្ទៃរាបស្មើ។
បើប្រៀបធៀបជាមួយនឹងដំណើរការផលិតដែកភ្ជាប់គ្នាបែបប្រពៃណី ដំណើរការ Damascene ពីរមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោមៈ
▪ជំហានដំណើរការសាមញ្ញ៖ដោយការបង្កើតតាមរយៈ និងលេណដ្ឋានក្នុងពេលដំណាលគ្នាក្នុងជំហានដំណើរការដូចគ្នា ជំហានដំណើរការ និងពេលវេលាផលិតត្រូវបានកាត់បន្ថយ។
▪ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម៖ដោយសារតែការកាត់បន្ថយជំហាននៃដំណើរការ ដំណើរការ damascene ពីរអាចបង្កើនប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្ម និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។
▪ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវដំណើរការនៃទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈ:ដំណើរការ damascene ពីរអាចសម្រេចបាននូវទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈតូចចង្អៀត ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវការរួមបញ្ចូល និងដំណើរការនៃសៀគ្វី។
▪កាត់បន្ថយសមត្ថភាពប៉ារ៉ាស៊ីត និងភាពធន់៖ដោយប្រើវត្ថុធាតុ dielectric ទាប និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពរចនាសម្ព័ន្ធនៃទំនាក់ទំនងរវាងលោហៈ សមត្ថភាព និងភាពធន់ទ្រាំរបស់ប៉ារ៉ាស៊ីតអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវល្បឿន និងការប្រើប្រាស់ថាមពលនៃសៀគ្វី។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ២៥-វិច្ឆិកា-២០២៤