ចង្រ្កានលូតលាស់គ្រីស្តាល់គឺជាឧបករណ៍ស្នូលសម្រាប់ស៊ីលីកុនកាបូនការលូតលាស់គ្រីស្តាល់។ វាស្រដៀងនឹងចង្រ្កានគ្រីស្តាល់កម្រិតស៊ីលីកុនបែបប្រពៃណី។ រចនាសម្ព័ន្ធ furnace មិនស្មុគស្មាញខ្លាំងណាស់។ វាត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃតួ furnace, ប្រព័ន្ធកំដៅ, យន្តការបញ្ជូន coil, ការទទួលនិងប្រព័ន្ធវាស់ស្ទង់, ប្រព័ន្ធផ្លូវឧស្ម័ន, ប្រព័ន្ធត្រជាក់, ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង, ល. វាលកំដៅនិងលក្ខខណ្ឌដំណើរការកំណត់សូចនាករសំខាន់នៃគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបូនដូចជាគុណភាព ទំហំ ចរន្តអគ្គិសនីជាដើម។
នៅលើដៃមួយ, សីតុណ្ហភាពក្នុងអំឡុងពេលកំណើននៃគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបូនខ្ពស់ណាស់ ហើយមិនអាចតាមដានបាន។ ដូច្នេះការលំបាកចម្បងគឺស្ថិតនៅក្នុងដំណើរការខ្លួនវាផ្ទាល់។ ការលំបាកចម្បងមានដូចខាងក្រោម:
(1) ភាពលំបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងវាលកំដៅ៖ ការត្រួតពិនិត្យនៃបែហោងធ្មែញសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដែលបិទគឺពិបាក និងមិនអាចគ្រប់គ្រងបាន។ ខុសគ្នាពីដំណោះស្រាយដែលមានមូលដ្ឋានលើស៊ីលីកុនប្រពៃណី ឧបករណ៍លូតលាស់គ្រីស្តាល់ទាញដោយផ្ទាល់ជាមួយនឹងកម្រិតខ្ពស់នៃស្វ័យប្រវត្តិកម្ម និងដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដែលអាចអង្កេតបាន និងអាចគ្រប់គ្រងបាន គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបូនរីកដុះដាលក្នុងទីធ្លាបិទជិតក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់លើសពី 2,000 ℃ និងសីតុណ្ហភាពលូតលាស់។ ត្រូវការការគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់កំឡុងពេលផលិត ដែលធ្វើឱ្យការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពពិបាក។
(2) ភាពលំបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងទម្រង់គ្រីស្តាល់៖ មីក្រូបំពង់ ការរួមបញ្ចូលប៉ូលីម័រ ការផ្លាស់ទីលំនៅ និងពិការភាពផ្សេងទៀតងាយនឹងកើតមានក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់ ហើយពួកវាប៉ះពាល់ដល់ និងវិវឌ្ឍន៍គ្នាទៅវិញទៅមក។ មីក្រូបំពង់ (MP) គឺជាពិការភាពតាមប្រភេទ ដែលមានទំហំពីច្រើនមីក្រូ ទៅរាប់សិបមីក្រូ ដែលជាពិការភាពរបស់ឧបករណ៍។ គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុន កាបូនឌីអុកស៊ីត រួមបញ្ចូលទម្រង់គ្រីស្តាល់ជាង 200 ផ្សេងៗគ្នា ប៉ុន្តែមានតែរចនាសម្ព័ន្ធគ្រីស្តាល់មួយចំនួន (ប្រភេទ 4H) ប៉ុណ្ណោះ ដែលជាវត្ថុធាតុដើមដែលត្រូវការសម្រាប់ផលិត។ ការបំប្លែងទម្រង់គ្រីស្តាល់មានភាពងាយស្រួលក្នុងដំណើរការលូតលាស់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានពិការភាពក្នុងការរួមបញ្ចូលប៉ូលីម័រ។ ដូច្នេះ ចាំបាច់ត្រូវត្រួតពិនិត្យយ៉ាងត្រឹមត្រូវនូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រដូចជា សមាមាត្រស៊ីលីកុន-កាបូន ជម្រាលសីតុណ្ហភាពកំណើន អត្រាកំណើនគ្រីស្តាល់ និងសម្ពាធលំហូរខ្យល់។ លើសពីនេះទៀតវាមានជម្រាលសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងវាលកំដៅនៃការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបូនដែលនាំឱ្យមានភាពតានតឹងខាងក្នុងដើមនិងការផ្លាស់ទីលំនៅជាលទ្ធផល (ការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់យន្តហោះមូលដ្ឋាន BPD ការផ្លាស់ទីលំនៅវីស TSD ការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់គែម TED) ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដោយហេតុនេះ ប៉ះពាល់ដល់គុណភាព និងដំណើរការនៃ epitaxy និងឧបករណ៍ជាបន្តបន្ទាប់។
(3) ការគ្រប់គ្រងសារធាតុញៀនពិបាក៖ ការណែនាំនៃភាពមិនបរិសុទ្ធខាងក្រៅត្រូវតែត្រូវបានគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងដើម្បីទទួលបានគ្រីស្តាល់ conductive ជាមួយនឹងសារធាតុ doping ទិសដៅ។
(4) អត្រាកំណើនយឺត៖ អត្រាកំណើននៃស៊ីលីកុនកាបូនគឺយឺតណាស់។ សមា្ភារៈស៊ីលីកុនប្រពៃណីត្រូវការតែ 3 ថ្ងៃដើម្បីដុះលូតលាស់ទៅជាដំបងគ្រីស្តាល់ខណៈពេលដែលកំណាត់គ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុនកាបូនត្រូវការ 7 ថ្ងៃ។ នេះនាំឱ្យមានប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មទាបជាងធម្មជាតិនៃស៊ីលីកុនកាបូន និងទិន្នផលមានកម្រិតខ្លាំង។
ម៉្យាងវិញទៀត ប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការលូតលាស់របស់ស៊ីលីកុនកាប៊ីត epitaxial គឺទាមទារយ៉ាងខ្លាំង រួមទាំងភាពតឹងនៃខ្យល់នៃឧបករណ៍ ស្ថេរភាពនៃសម្ពាធឧស្ម័ននៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ការគ្រប់គ្រងច្បាស់លាស់នៃពេលវេលាណែនាំឧស្ម័ន ភាពត្រឹមត្រូវនៃឧស្ម័ន។ សមាមាត្រ និងការគ្រប់គ្រងយ៉ាងតឹងរ៉ឹងនៃសីតុណ្ហភាពនៃការទម្លាក់។ ជាពិសេសជាមួយនឹងការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនៃកម្រិតធន់ទ្រាំនឹងតង់ស្យុងរបស់ឧបករណ៍, ការលំបាកក្នុងការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រស្នូលនៃ wafer epitaxial បានកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំង។ លើសពីនេះទៀតជាមួយនឹងការកើនឡើងនៃកម្រាស់នៃស្រទាប់ epitaxial របៀបគ្រប់គ្រងឯកសណ្ឋាននៃការទប់ទល់និងកាត់បន្ថយដង់ស៊ីតេពិការភាពខណៈពេលដែលការធានាកម្រាស់បានក្លាយជាបញ្ហាប្រឈមដ៏សំខាន់មួយផ្សេងទៀត។ នៅក្នុងប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យអគ្គីសនី វាចាំបាច់ក្នុងការរួមបញ្ចូលឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដើម្បីធានាថាប៉ារ៉ាម៉ែត្រផ្សេងៗអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងបានត្រឹមត្រូវ និងមានស្ថេរភាព។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ ការបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃក្បួនដោះស្រាយការគ្រប់គ្រងក៏សំខាន់ផងដែរ។ វាត្រូវការដើម្បីអាចកែសម្រួលយុទ្ធសាស្រ្តគ្រប់គ្រងក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែងយោងទៅតាមសញ្ញាមតិត្រឡប់ដើម្បីសម្របខ្លួនទៅនឹងការផ្លាស់ប្តូរផ្សេងៗនៅក្នុងដំណើរការលូតលាស់នៃស៊ីលីកុន carbide epitaxial ។
ការលំបាកចម្បងនៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមស៊ីលីកុនកាបូនផលិតកម្ម៖
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-០៧-២០២៤