ចង្រ្កានគ្រីស្តាល់តែមួយគឺជាឧបករណ៍ដែលប្រើ aឧបករណ៍កម្តៅក្រាហ្វិចដើម្បីរលាយវត្ថុធាតុស៊ីលីកុន polycrystalline នៅក្នុងបរិយាកាសឧស្ម័នអសកម្ម (argon) ហើយប្រើវិធីសាស្ត្រ Czochralski ដើម្បីបណ្តុះគ្រីស្តាល់តែមួយដែលមិនផ្លាស់ទីលំនៅ។ វាត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃប្រព័ន្ធដូចខាងក្រោម:
ប្រព័ន្ធបញ្ជូនមេកានិក
ប្រព័ន្ធបញ្ជូនមេកានិក គឺជាប្រព័ន្ធប្រតិបត្តិការមូលដ្ឋាននៃចង្រ្កានគ្រីស្តាល់តែមួយ ដែលទទួលខុសត្រូវជាចម្បងសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងចលនារបស់គ្រីស្តាល់ និងឈើឆ្កាងរួមទាំងការលើក និងការបង្វិលគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ និងការលើក និងការបង្វិលឈើឆ្កាង. វាអាចកែតម្រូវបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវនូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រដូចជា ទីតាំង ល្បឿន និងមុំបង្វិលនៃគ្រីស្តាល់ និងឈើឆ្កាង ដើម្បីធានាបាននូវដំណើរការរលូននៃដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ ជាឧទាហរណ៍ ក្នុងដំណាក់កាលលូតលាស់គ្រីស្តាល់ផ្សេងៗគ្នា ដូចជាការបណ្ដុះ ក ក ស្មា ការលូតលាស់អង្កត់ផ្ចិតស្មើគ្នា និងកន្ទុយ ចលនានៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ និងឈើឆ្កាងត្រូវគ្រប់គ្រងយ៉ាងត្រឹមត្រូវដោយប្រព័ន្ធនេះ ដើម្បីបំពេញតម្រូវការដំណើរការនៃការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។
ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យសីតុណ្ហភាពកំដៅ
នេះគឺជាប្រព័ន្ធស្នូលមួយនៃចង្រ្កានគ្រីស្តាល់តែមួយ ដែលត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតកំដៅ និងគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពក្នុងឡបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវ។ វាត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃសមាសធាតុដូចជា ឧបករណ៍កម្តៅ ឧបករណ៏សីតុណ្ហភាព និងឧបករណ៍បញ្ជាសីតុណ្ហភាព។ ជាធម្មតាម៉ាស៊ីនកំដៅត្រូវបានផលិតចេញពីវត្ថុធាតុដើមដូចជាក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ បន្ទាប់ពីចរន្តឆ្លាស់ត្រូវបានបំលែង និងកាត់បន្ថយដើម្បីបង្កើនចរន្ត កម្តៅបង្កើតកំដៅដើម្បីរលាយវត្ថុធាតុ polycrystalline ដូចជា polysilicon នៅក្នុង crucible ។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាពត្រួតពិនិត្យការផ្លាស់ប្តូរសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងចង្រ្កានក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែងហើយបញ្ជូនសញ្ញាសីតុណ្ហភាពទៅឧបករណ៍បញ្ជាសីតុណ្ហភាព។ ឧបករណ៍បញ្ជាសីតុណ្ហភាពគ្រប់គ្រងថាមពលកំដៅបានយ៉ាងត្រឹមត្រូវតាមប៉ារ៉ាម៉ែត្រសីតុណ្ហភាពដែលបានកំណត់ និងសញ្ញាសីតុណ្ហភាពមតិត្រឡប់ ដោយហេតុនេះអាចរក្សាស្ថេរភាពនៃសីតុណ្ហភាពនៅក្នុងឡ និងផ្តល់នូវបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពសមរម្យសម្រាប់ការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។
ប្រព័ន្ធបូមធូលី
មុខងារចម្បងនៃប្រព័ន្ធបូមធូលីគឺបង្កើត និងរក្សាបរិយាកាសខ្វះចន្លោះនៅក្នុងចង្រ្កានកំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ ខ្យល់ និងឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងចង្រ្កានត្រូវបានស្រង់ចេញតាមរយៈម៉ាស៊ីនបូមធូលី និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀតដើម្បីធ្វើឱ្យសម្ពាធឧស្ម័ននៅក្នុងឡឡើងដល់កម្រិតទាបបំផុត ជាទូទៅនៅក្រោម 5TOR (torr)។ នេះអាចរារាំងសម្ភារៈស៊ីលីកុនពីការកត់សុីនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធ និងគុណភាពនៃការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ បរិយាកាសខ្វះចន្លោះក៏អំណោយផលដល់ការយកចេញនូវភាពមិនបរិសុទ្ធដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុដែលបានបង្កើតក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ និងការកែលម្អគុណភាពនៃគ្រីស្តាល់។
ប្រព័ន្ធ Argon
ប្រព័ន្ធ argon ដើរតួនាទីក្នុងការការពារ និងគ្រប់គ្រងសម្ពាធនៅក្នុង furnace នៅក្នុង furnace គ្រីស្តាល់តែមួយ។ បន្ទាប់ពីការបូមធូលីឧស្ម័ន argon ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ (ភាពបរិសុទ្ធត្រូវតែលើសពី 6 9) ត្រូវបានបំពេញទៅក្នុងឡ។ នៅលើដៃមួយ, វាអាចការពារខ្យល់ខាងក្រៅពីការចូលទៅក្នុង furnace និងការពារសមា្ភារៈស៊ីលីកូនពីការកត់សុី; ម៉្យាងវិញទៀតការបំពេញឧស្ម័ន argon អាចរក្សាសម្ពាធនៅក្នុងចង្រ្កានឱ្យមានស្ថេរភាព និងផ្តល់នូវបរិយាកាសសម្ពាធសមរម្យសម្រាប់ការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់។ លើសពីនេះទៀតលំហូរនៃឧស្ម័ន argon ក៏អាចយកកំដៅដែលបានបង្កើតកំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ដោយដើរតួនាទីត្រជាក់ជាក់លាក់។
ប្រព័ន្ធត្រជាក់ទឹក។
មុខងារនៃប្រព័ន្ធត្រជាក់ទឹកគឺធ្វើឱ្យត្រជាក់សមាសធាតុសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ផ្សេងៗនៃចង្រ្កានគ្រីស្តាល់តែមួយ ដើម្បីធានាបាននូវប្រតិបត្តិការធម្មតា និងអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍។ កំឡុងពេលប្រតិបត្តិការនៃចង្រ្កានគ្រីស្តាល់តែមួយ គ្រឿងកំដៅ។ឈើឆ្កាងអេឡិចត្រូត និងសមាសធាតុផ្សេងទៀតនឹងបង្កើតកំដៅបានច្រើន។ ប្រសិនបើពួកវាមិនត្រជាក់ទាន់ពេលទេ ឧបករណ៍នឹងឡើងកំដៅ ខូចទ្រង់ទ្រាយ ឬសូម្បីតែខូច។ ប្រព័ន្ធទឹកត្រជាក់ដកកំដៅនៃសមាសធាតុទាំងនេះដោយចរាចរទឹកត្រជាក់ ដើម្បីរក្សាសីតុណ្ហភាពរបស់ឧបករណ៍ក្នុងកម្រិតសុវត្ថិភាព។ ជាមួយគ្នានេះដែរ ប្រព័ន្ធទឹកត្រជាក់ក៏អាចជួយកែតម្រូវសីតុណ្ហភាពក្នុងឡ ដើម្បីកែលម្អភាពត្រឹមត្រូវនៃការគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាព។
ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគ្គិសនី
ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគ្គីសនីគឺជា "ខួរក្បាល" នៃចង្រ្កានគ្រីស្តាល់តែមួយដែលទទួលខុសត្រូវក្នុងការត្រួតពិនិត្យនិងគ្រប់គ្រងប្រតិបត្តិការនៃឧបករណ៍ទាំងមូល។ វាអាចទទួលសញ្ញាពីឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាផ្សេងៗដូចជា ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសីតុណ្ហភាព ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាសម្ពាធ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទីតាំងជាដើម ព្រមទាំងសម្របសម្រួល និងគ្រប់គ្រងប្រព័ន្ធបញ្ជូនមេកានិក ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងសីតុណ្ហភាពកំដៅ ប្រព័ន្ធបូមធូលី ប្រព័ន្ធ argon និងប្រព័ន្ធទឹកត្រជាក់ដោយផ្អែកលើសញ្ញាទាំងនេះ។ ជាឧទាហរណ៍ ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគ្គិសនីអាចលៃតម្រូវថាមពលកំដៅដោយស្វ័យប្រវត្តិទៅតាមសញ្ញាសីតុណ្ហភាពដែលផ្តល់មកវិញដោយឧបករណ៏សីតុណ្ហភាព។ យោងទៅតាមការលូតលាស់របស់គ្រីស្តាល់ វាអាចគ្រប់គ្រងល្បឿននៃចលនា និងមុំបង្វិលនៃគ្រីស្តាល់គ្រាប់ពូជ និង Crucible ។ ជាមួយគ្នានេះដែរ ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគ្គិសនីក៏មានមុខងារវិនិច្ឆ័យកំហុស និងមុខងាររោទិ៍ ដែលអាចរកឃើញស្ថានភាពមិនប្រក្រតីរបស់ឧបករណ៍បានទាន់ពេលវេលា និងធានាបាននូវប្រតិបត្តិការប្រកបដោយសុវត្ថិភាពនៃឧបករណ៍។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២៤