តើវិធីសាស្រ្តនៃការរៀបចំ និងលក្ខណៈប្រតិបត្តិការនៃថ្នាំកូតស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុន ស៊ីលីកុន ស៊ីលីតធីត មានអ្វីខ្លះ?

CVD (ការទម្លាក់ចំហាយគីមី) គឺជាវិធីសាស្រ្តដែលប្រើជាទូទៅសម្រាប់ការរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន។ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVDមានមុខងារពិសេសៗជាច្រើន។ អត្ថបទនេះនឹងណែនាំអំពីវិធីសាស្រ្តនៃការរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុន CVD និងលក្ខណៈប្រតិបត្តិការរបស់វា។

1. វិធីសាស្រ្តនៃការរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVD
វិធីសាស្រ្ត CVD បំប្លែងសារធាតុមុនឧស្ម័នទៅជាថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនរឹងក្រោមលក្ខខណ្ឌសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ យោងទៅតាមបុព្វហេតុឧស្ម័នផ្សេងៗគ្នា វាអាចត្រូវបានបែងចែកទៅជាដំណាក់កាលឧស្ម័ន CVD និងដំណាក់កាលរាវ CVD ។

1. ដំណាក់កាលចំហាយ CVD
ដំណាក់កាលចំហាយ CVD ប្រើប្រាស់សារធាតុឧស្ម័នមុនគេ ដែលជាធម្មតាសមាសធាតុ organosilicon ដើម្បីសម្រេចបាននូវការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្ត silicon carbide ។ សមាសធាតុ organosilicon ដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាទូទៅរួមមាន methylsilane, dimethylsilane, monosilane ជាដើម ដែលបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត silicon carbide នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមលោហៈ ដោយដឹកជញ្ជូនសារធាតុឧស្ម័នទៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ តំបន់សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្មជាធម្មតាត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយកំដៅអាំងឌុចស្យុង ឬកំដៅធន់ទ្រាំ។

2. ដំណាក់កាលរាវ CVD
Liquid-phase CVD ប្រើមុនគេរាវ ជាធម្មតាសារធាតុរំលាយសរីរាង្គដែលមានស៊ីលីកុន និងសមាសធាតុ silanol ដែលត្រូវបានកំដៅ និងចំហាយនៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្ម ហើយបន្ទាប់មកខ្សែភាពយន្ត silicon carbide ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្មគីមី។

2. លក្ខណៈនៃការអនុវត្តថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVD

1. ដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ល្អឥតខ្ចោះ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVDផ្តល់នូវស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្ម។ វាមានសមត្ថភាពធ្វើការក្នុងបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងអាចទប់ទល់នឹងលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។

2. លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចល្អ។
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVDមានភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ល្អ។ វាការពារស្រទាប់ខាងក្រោមដែកពីការពាក់ និងការ corrosion ពង្រីកអាយុសេវាកម្មរបស់សម្ភារៈ។

3. ស្ថេរភាពគីមីល្អឥតខ្ចោះ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVDមានភាពធន់នឹងសារធាតុគីមីទូទៅដូចជាអាស៊ីត អាល់កាឡាំង និងអំបិល។ វាទប់ទល់នឹងការវាយប្រហារគីមី និងការ corrosion នៃស្រទាប់ខាងក្រោម។

4. មេគុណកកិតទាប
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVDមានមេគុណកកិតទាប និងមានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អក្នុងការរំអិលដោយខ្លួនឯង។ វាកាត់បន្ថយការកកិត និងការពាក់ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រើប្រាស់សម្ភារៈ។

5. ចរន្តកំដៅល្អ។
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVD មានលក្ខណៈសម្បត្តិកំដៅល្អ។ វា​អាច​ធ្វើ​ការ​កំដៅ​បាន​យ៉ាង​លឿន និង​បង្កើន​ប្រសិទ្ធភាព​ការ​បញ្ចេញ​កំដៅ​នៃ​មូលដ្ឋាន​ដែក។

6. លក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីល្អឥតខ្ចោះ
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVD មានលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីល្អ និងអាចការពារការលេចធ្លាយនាពេលបច្ចុប្បន្ន។ វាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការការពារអ៊ីសូឡង់នៃឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច។

7. លៃតម្រូវកម្រាស់និងសមាសភាព
ដោយការគ្រប់គ្រងលក្ខខណ្ឌក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការ CVD និងការប្រមូលផ្តុំនៃសារធាតុមុន កម្រាស់ និងសមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនកាបូនអាចត្រូវបានកែតម្រូវ។ វាផ្តល់នូវជម្រើសជាច្រើន និងភាពបត់បែនសម្រាប់កម្មវិធីផ្សេងៗ។

សរុបមក ថ្នាំកូតស៊ីលីកុន CVD មានដំណើរការសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចល្អ ស្ថេរភាពគីមីល្អ មេគុណកកិតទាប ចរន្តកំដៅល្អ និងលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី។ លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះធ្វើឱ្យថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន CVD ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យជាច្រើន រួមទាំងអេឡិចត្រូនិក អុបទិក លំហអាកាស ឧស្សាហកម្មគីមី។ល។