ថ្នាំកូត SiC អាចត្រូវបានរៀបចំដោយការទម្លាក់ចំហាយគីមី (CVD) ការបំប្លែងសារធាតុមុន ការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មាជាដើម។ ការប្រើប្រាស់មេទីល trichlosilane ។ (CHzSiCl3, MTS) ជាប្រភពស៊ីលីកុន ថ្នាំកូត SiC ដែលរៀបចំដោយវិធីសាស្ត្រ CVD គឺជាវិធីសាស្ត្រចាស់ទុំសម្រាប់ការអនុវត្តនៃថ្នាំកូតនេះ។
ថ្នាំកូត SiC និងក្រាហ្វិចមានភាពឆបគ្នាគីមីល្អ ភាពខុសគ្នានៃមេគុណពង្រីកកម្ដៅរវាងពួកវាគឺតូច ការប្រើថ្នាំកូត SiC អាចធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការពាក់ និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃសម្ភារៈក្រាហ្វិតយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព។ ក្នុងចំណោមពួកគេ សមាមាត្រ stoichiometric សីតុណ្ហភាពប្រតិកម្ម ឧស្ម័នរំលាយ ឧស្ម័នមិនបរិសុទ្ធ និងលក្ខខណ្ឌផ្សេងទៀតមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងលើប្រតិកម្ម។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ១៤ ខែកញ្ញា ឆ្នាំ ២០២២