ការបញ្ចេញចំហាយគីមី(CVD)គឺជាបច្ចេកវិទ្យាដែលត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុតនៅក្នុងឧស្សាហកម្ម semiconductor សម្រាប់ការដាក់វត្ថុធាតុជាច្រើនប្រភេទ រួមទាំងសម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ជាច្រើនប្រភេទ សម្ភារៈលោហៈភាគច្រើន និងសម្ភារលោហធាតុ។
CVD គឺជាបច្ចេកវិទ្យារៀបចំខ្សែភាពយន្តស្តើងបែបប្រពៃណី។ គោលការណ៍របស់វាគឺប្រើសារធាតុឧស្ម័នមុនគេ ដើម្បីបំបែកសមាសធាតុមួយចំនួននៅក្នុងសារធាតុមុន តាមរយៈប្រតិកម្មគីមីរវាងអាតូម និងម៉ូលេគុល ហើយបន្ទាប់មកបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។ លក្ខណៈជាមូលដ្ឋាននៃ CVD គឺ: ការផ្លាស់ប្តូរគីមី (ប្រតិកម្មគីមីឬការរលាយកម្ដៅ); សម្ភារៈទាំងអស់នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តបានមកពីប្រភពខាងក្រៅ; reactants ត្រូវតែចូលរួមក្នុងប្រតិកម្មក្នុងទម្រង់នៃដំណាក់កាលឧស្ម័ន។
ការបញ្ចេញចំហាយគីមីសម្ពាធទាប (LPCVD) ការបំភាយចំហាយគីមីដែលប្រសើរឡើងក្នុងប្លាស្មា (PECVD) និងការបញ្ចេញចំហាយគីមីប្លាស្មាដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់ (HDP-CVD) គឺជាបច្ចេកវិទ្យា CVD ធម្មតាចំនួនបី ដែលមានភាពខុសគ្នាយ៉ាងសំខាន់ក្នុងការដាក់សម្ភារៈ តម្រូវការឧបករណ៍ លក្ខខណ្ឌដំណើរការ។ល។ ខាងក្រោមនេះគឺជាការពន្យល់សាមញ្ញ និងការប្រៀបធៀបនៃបច្ចេកវិទ្យាទាំងបីនេះ។
1. LPCVD (សម្ពាធទាប CVD)
គោលការណ៍៖ ដំណើរការ CVD ក្រោមលក្ខខណ្ឌសម្ពាធទាប។ គោលការណ៍របស់វាគឺ ចាក់ឧស្ម័នប្រតិកម្មទៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះប្រតិកម្មក្រោមបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ ឬសម្ពាធទាប បំបែក ឬប្រតិកម្មឧស្ម័នដោយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តរឹងដែលដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ដោយសារសម្ពាធទាបកាត់បន្ថយការប៉ះទង្គិចគ្នានៃឧស្ម័ន និងភាពច្របូកច្របល់ ឯកសណ្ឋាន និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង។ LPCVD ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងស៊ីលីកុនឌីអុកស៊ីត (LTO TEOS), ស៊ីលីកុននីត្រាត (Si3N4), ប៉ូលីស៊ីលីកុន (POLY), កញ្ចក់ផូស្វ័រ (BSG), កញ្ចក់ borophosphosilicate (BPSG), ប៉ូលីស៊ីលីកុន doped, graphene, បំពង់ណាណូកាបូន និងខ្សែភាពយន្តផ្សេងទៀត។
លក្ខណៈពិសេស៖
▪ សីតុណ្ហភាពដំណើរការ៖ ជាធម្មតានៅចន្លោះ 500~900°C សីតុណ្ហភាពដំណើរការគឺខ្ពស់គួរសម។
▪ ជួរសម្ពាធឧស្ម័ន៖ បរិយាកាសសម្ពាធទាប 0.1~10 Torr;
▪ គុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ គុណភាពខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានល្អ ដង់ស៊ីតេល្អ និងពិការភាពតិចតួច។
▪ អត្រានៃប្រាក់បញ្ញើ៖ អត្រានៃការដាក់ប្រាក់យឺត។
▪ ឯកសណ្ឋាន៖ ស័ក្តិសមសម្រាប់ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានទំហំធំ ការទម្លាក់ឯកសណ្ឋាន។
គុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិ៖
▪ អាចដាក់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន និងក្រាស់។
▪ ដំណើរការបានយ៉ាងល្អនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានទំហំធំ សមរម្យសម្រាប់ការផលិតទ្រង់ទ្រាយធំ។
▪ តម្លៃទាប;
▪ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ មិនស័ក្តិសមសម្រាប់សម្ភារៈងាយនឹងកំដៅ។
▪ អត្រានៃការធ្លាក់ចុះយឺត ហើយទិន្នផលមានកម្រិតទាប។
2. PECVD (ប្លាស្មាបង្កើន CVD)
គោលការណ៍៖ ប្រើប្លាស្មាដើម្បីធ្វើឱ្យប្រតិកម្មដំណាក់កាលឧស្ម័នសកម្មនៅសីតុណ្ហភាពទាប អ៊ីយ៉ូដ និងបំបែកម៉ូលេគុលនៅក្នុងឧស្ម័នប្រតិកម្ម ហើយបន្ទាប់មកដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ ថាមពលនៃប្លាស្មាអាចកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំងនូវសីតុណ្ហភាពដែលត្រូវការសម្រាប់ប្រតិកម្ម ហើយមានកម្មវិធីធំទូលាយ។ ខ្សែភាពយន្តលោហៈផ្សេងៗ ខ្សែភាពយន្តអសរីរាង្គ និងខ្សែភាពយន្តសរីរាង្គអាចត្រូវបានរៀបចំ។
លក្ខណៈពិសេស៖
▪ សីតុណ្ហភាពដំណើរការ៖ ជាធម្មតានៅចន្លោះ 200 ~ 400°C សីតុណ្ហភាពគឺទាប។
▪ ជួរសម្ពាធឧស្ម័ន៖ ជាធម្មតារាប់រយ mTorr ទៅ Torr ជាច្រើន;
▪ គុណភាពភាពយន្ត៖ ថ្វីត្បិតតែភាពស្មើគ្នានៃខ្សែភាពយន្តល្អក៏ដោយ ក៏ដង់ស៊ីតេ និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តនេះមិនល្អដូច LPCVD ដោយសារបញ្ហាដែលអាចត្រូវបានណែនាំដោយប្លាស្មា។
▪ អត្រានៃការដាក់ប្រាក់៖ អត្រាខ្ពស់ ប្រសិទ្ធភាពផលិតកម្មខ្ពស់;
▪ ឯកសណ្ឋាន៖ ទាបជាងបន្តិចទៅ LPCVD នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានទំហំធំ។
គុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិ៖
▪ ខ្សែភាពយន្តស្តើងអាចដាក់នៅសីតុណ្ហភាពទាប សមរម្យសម្រាប់សម្ភារៈងាយនឹងកំដៅ។
▪ ល្បឿនបោះចោលលឿន សមរម្យសម្រាប់ផលិតកម្មប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព។
▪ ដំណើរការដែលអាចបត់បែនបាន លក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយការកែតម្រូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្លាស្មា។
▪ ប្លាស្មាអាចណែនាំពីពិការភាពខ្សែភាពយន្ត ដូចជារន្ធដោត ឬភាពមិនស្មើគ្នា។
▪ បើប្រៀបធៀបជាមួយ LPCVD ដង់ស៊ីតេ និងគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តគឺអាក្រក់ជាងបន្តិច។
3. HDP-CVD (High Density Plasma CVD)
គោលការណ៍៖ បច្ចេកវិទ្យា PECVD ពិសេស។ HDP-CVD (ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា ICP-CVD) អាចផលិតដង់ស៊ីតេប្លាស្មាខ្ពស់ជាងនិងគុណភាពជាងឧបករណ៍ PECVD ប្រពៃណីនៅសីតុណ្ហភាពធ្លាក់ចុះទាប។ លើសពីនេះ HDP-CVD ផ្តល់នូវលំហូរអ៊ីយ៉ុង និងការគ្រប់គ្រងថាមពលស្ទើរតែឯករាជ្យ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវសមត្ថភាពនៃការបំពេញ trench ឬ hole សម្រាប់ការទាមទារការតំរូវការខ្សែភាពយន្ត ដូចជាថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះពន្លឺ ការទម្លាក់សម្ភារៈថេរ dielectric ទាប។ល។
លក្ខណៈពិសេស៖
▪ សីតុណ្ហភាពដំណើរការ: សីតុណ្ហភាពបន្ទប់ដល់ 300 ℃ សីតុណ្ហភាពដំណើរការគឺទាបណាស់;
▪ ជួរសម្ពាធឧស្ម័ន: ចន្លោះពី 1 ទៅ 100 mTorr ទាបជាង PECVD;
▪ គុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ ដង់ស៊ីតេប្លាស្មាខ្ពស់ គុណភាពខ្សែភាពយន្តខ្ពស់ ឯកសណ្ឋានល្អ;
▪ អត្រានៃការដាក់ប្រាក់បញ្ញើ៖ អត្រាប្រាក់បញ្ញើគឺនៅចន្លោះ LPCVD និង PECVD ខ្ពស់ជាង LPCVD បន្តិច។
▪ ឯកសណ្ឋាន៖ ដោយសារប្លាស្មាដង់ស៊ីតេខ្ពស់ ភាពឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្តគឺល្អឥតខ្ចោះ ស័ក្តិសមសម្រាប់ផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមានរាងស្មុគស្មាញ។
គុណសម្បត្តិ និងគុណវិបត្តិ៖
▪ មានសមត្ថភាពដាក់ខ្សែភាពយន្តដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅសីតុណ្ហភាពទាប ស័ក្តិសមបំផុតសម្រាប់សម្ភារៈងាយនឹងកំដៅ។
▪ ភាពស្មើគ្នានៃខ្សែភាពយន្ត ដង់ស៊ីតេនិងភាពរលោងនៃផ្ទៃ។
▪ ដង់ស៊ីតេប្លាស្មាខ្ពស់ ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្មើគ្នានៃស្រទាប់ និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្ត។
▪ ឧបករណ៍ស្មុគស្មាញ និងថ្លៃដើមខ្ពស់
▪ ល្បឿននៃការទម្លាក់ចោលគឺយឺត ហើយថាមពលប្លាស្មាខ្ពស់ជាងអាចបង្ហាញពីការខូចខាតតិចតួច។
សូមស្វាគមន៍អតិថិជនទាំងអស់មកពីជុំវិញពិភពលោក មកកាន់ពួកយើងដើម្បីពិភាក្សាបន្ថែម!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ០៣ ខែ ធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៤