ក្រាហ្វិចជាមួយថ្នាំកូតតាស៊ី

I. ការរុករកប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ

1. ប្រព័ន្ធ TaCl5-C3H6-H2-Ar

2. សីតុណ្ហភាព​នៃ​ការ​ធ្លាក់​ចុះ​:

យោងតាមរូបមន្តទែរម៉ូឌីណាមិកវាត្រូវបានគេគណនាថានៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពធំជាង 1273K ថាមពលទំនេរ Gibbs នៃប្រតិកម្មគឺទាបណាស់ហើយប្រតិកម្មគឺពេញលេញ។ ប្រតិកម្មថេរ KP មានទំហំធំណាស់នៅ 1273K និងកើនឡើងយ៉ាងឆាប់រហ័សជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាព ហើយអត្រាកំណើនថយចុះបន្តិចម្តងៗនៅ 1773K ។

ឥទ្ធិពលលើរូបសណ្ឋានផ្ទៃនៃថ្នាំកូត៖ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពមិនសមស្រប (ខ្ពស់ពេក ឬទាបពេក) ផ្ទៃខាងលើបង្ហាញរូបសញ្ញាកាបូនដោយឥតគិតថ្លៃ ឬរន្ធញើសរលុង។

(1) នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ល្បឿននៃចលនានៃអាតូម ឬក្រុមដែលមានប្រតិកម្មសកម្មគឺលឿនពេក ដែលនឹងនាំឱ្យមានការចែកចាយមិនស្មើគ្នាក្នុងអំឡុងពេលប្រមូលផ្តុំវត្ថុធាតុ ហើយតំបន់អ្នកមាន និងក្រីក្រមិនអាចផ្លាស់ប្តូរបានដោយរលូន ដែលបណ្តាលឱ្យមានរន្ធញើស។

(2) មានភាពខុសគ្នារវាងអត្រាប្រតិកម្ម pyrolysis នៃ alkanes និងអត្រាប្រតិកម្មកាត់បន្ថយនៃ tantalum pentachloride ។ កាបូន pyrolysis គឺលើសហើយមិនអាចផ្សំជាមួយ tantalum ទាន់ពេល ដែលបណ្តាលឱ្យផ្ទៃត្រូវបានរុំដោយកាបូន។

នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពសមស្របផ្ទៃនៃថ្នាំកូត TaCគឺក្រាស់។

តាស៊ីភាគល្អិតរលាយ និងប្រមូលផ្តុំគ្នាទៅវិញទៅមក ទម្រង់គ្រីស្តាល់ត្រូវបានបញ្ចប់ ហើយព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងរលូន។

3. សមាមាត្រអ៊ីដ្រូសែន៖

លើសពីនេះទៀតមានកត្តាជាច្រើនដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃថ្នាំកូត:

- គុណភាពនៃស្រទាប់ខាងក្រោម

- កន្លែងស្តុកឧស្ម័ន

- កម្រិតនៃឯកសណ្ឋាននៃការលាយឧស្ម័នប្រតិកម្ម

II. ពិការភាពធម្មតានៃថ្នាំកូត tantalum carbide

1. ស្រោបការប្រេះ និងរបក

មេគុណពង្រីកកំដៅលីនេអ៊ែរ CTE លីនេអ៊ែរ៖

2. ការវិភាគពិការភាព៖

(១) មូលហេតុ៖

(2) វិធីសាស្រ្តកំណត់លក្ខណៈ

① ប្រើបច្ចេកវិជ្ជាបំលែងកាំរស្មីអ៊ិច ដើម្បីវាស់សំពាធសំណល់។

② ប្រើច្បាប់របស់ Hu Ke ដើម្បីប៉ាន់ស្មានភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់។

(3) រូបមន្តដែលពាក់ព័ន្ធ

3. ពង្រឹងភាពឆបគ្នាខាងមេកានិចនៃថ្នាំកូតនិងស្រទាប់ខាងក្រោម

(1) ថ្នាំកូតលូតលាស់នៅក្នុងទីតាំង

បច្ចេកវិជ្ជាបំភាយប្រតិកម្មកំដៅ TRD

ដំណើរការអំបិលរលាយ

សម្រួលដំណើរការផលិត

បន្ថយសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្ម

ការចំណាយទាបជាង

កាន់តែងាយស្រួលដល់បរិស្ថាន

ស័ក្តិសមសម្រាប់ផលិតកម្មឧស្សាហកម្មខ្នាតធំ

(2) ថ្នាំកូតផ្លាស់ប្តូរសមាសធាតុ

ដំណើរការនៃការដាក់បញ្ចូលគ្នា

CVDដំណើរការ

ថ្នាំកូតពហុសមាសធាតុ

រួមបញ្ចូលគ្នានូវគុណសម្បត្តិនៃសមាសធាតុនីមួយៗ

លៃតម្រូវសមាសភាពនិងសមាមាត្រនៃថ្នាំកូតដោយបត់បែន

4. បច្ចេកវិជ្ជាបំភាយកំដៅ និងប្រតិកម្មកំដៅ TRD

(1) យន្តការប្រតិកម្ម

បច្ចេកវិទ្យា TRD ត្រូវបានគេហៅថាដំណើរការបង្កប់ផងដែរ ដែលប្រើប្រព័ន្ធ boric acid-tantalum pentoxide-sodium fluoride-boron oxide-boron carbide system ដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូត tantalum carbide.

① Molten អាស៊ីត boric រំលាយ tantalum pentoxide;

② Tantalum pentoxide ត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាអាតូម tantalum សកម្ម និងសាយភាយលើផ្ទៃក្រាហ្វិច។

③ អាតូម tantalum សកម្មត្រូវបាន adsorbed លើផ្ទៃក្រាហ្វិច និងប្រតិកម្មជាមួយអាតូមកាបូនដើម្បីបង្កើតថ្នាំកូត tantalum carbide.

(2) គ្រាប់ចុចប្រតិកម្ម

ប្រភេទនៃថ្នាំកូត carbide ត្រូវតែបំពេញតាមតម្រូវការដែលថាមពលសេរីនៃការបង្កើតអុកស៊ីតកម្មនៃធាតុបង្កើត carbide គឺខ្ពស់ជាង boron oxide ។

ថាមពលដោយឥតគិតថ្លៃ Gibbs នៃ carbide គឺទាបគ្រប់គ្រាន់ (បើមិនដូច្នេះទេ boron ឬ boride អាចត្រូវបានបង្កើតឡើង) ។

Tantalum pentoxide គឺជាអុកស៊ីដអព្យាក្រឹត។ នៅក្នុងសារធាតុ borax រលាយដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ វាអាចមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងអុកស៊ីដសូដ្យូមអុកស៊ីដអាល់កាឡាំងដ៏រឹងមាំដើម្បីបង្កើតជាសូដ្យូម tantalate ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្មដំបូង។