ក្រាហ្វិចជាមួយថ្នាំកូតតាស៊ី

I. ការរុករកប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ

1. ប្រព័ន្ធ TaCl5-C3H6-H2-Ar

2. សីតុណ្ហភាព​នៃ​ការ​ធ្លាក់​ចុះ​:

យោងតាមរូបមន្តទែរម៉ូឌីណាមិកវាត្រូវបានគេគណនាថានៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពធំជាង 1273K ថាមពលទំនេរ Gibbs នៃប្រតិកម្មគឺទាបណាស់ហើយប្រតិកម្មគឺពេញលេញ។ ប្រតិកម្មថេរ KP មានទំហំធំណាស់នៅ 1273K និងកើនឡើងយ៉ាងឆាប់រហ័សជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាព ហើយអត្រាកំណើនថយចុះបន្តិចម្តងៗនៅ 1773K។

ឥទ្ធិពលលើរូបសណ្ឋានផ្ទៃនៃថ្នាំកូត៖ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពមិនសមស្រប (ខ្ពស់ពេក ឬទាបពេក) ផ្ទៃខាងលើបង្ហាញរូបសញ្ញាកាបូនដោយឥតគិតថ្លៃ ឬរន្ធញើសរលុង។

(1) នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ល្បឿននៃចលនានៃអាតូម ឬក្រុមដែលមានប្រតិកម្មសកម្មគឺលឿនពេក ដែលនឹងនាំឱ្យមានការចែកចាយមិនស្មើគ្នាក្នុងអំឡុងពេលប្រមូលផ្តុំវត្ថុធាតុ ហើយតំបន់អ្នកមាន និងក្រីក្រមិនអាចផ្លាស់ប្តូរបានដោយរលូន ដែលបណ្តាលឱ្យមានរន្ធញើស។

(2) មានភាពខុសគ្នារវាងអត្រាប្រតិកម្ម pyrolysis នៃ alkanes និងអត្រាប្រតិកម្មកាត់បន្ថយនៃ tantalum pentachloride ។ កាបូន pyrolysis គឺលើសហើយមិនអាចផ្សំជាមួយ tantalum ទាន់ពេល ដែលបណ្តាលឱ្យផ្ទៃត្រូវបានរុំដោយកាបូន។

នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពសមស្របផ្ទៃនៃថ្នាំកូត TaCគឺក្រាស់។

តាស៊ីភាគល្អិតរលាយ និងប្រមូលផ្តុំគ្នាទៅវិញទៅមក ទម្រង់គ្រីស្តាល់ត្រូវបានបញ្ចប់ ហើយព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងរលូន។

3. សមាមាត្រអ៊ីដ្រូសែន៖

លើសពីនេះទៀតមានកត្តាជាច្រើនដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពនៃថ្នាំកូត:

- គុណភាពនៃស្រទាប់ខាងក្រោម

- កន្លែងស្តុកឧស្ម័ន

- កម្រិតនៃឯកសណ្ឋាននៃការលាយឧស្ម័នប្រតិកម្ម

II. ពិការភាពធម្មតានៃថ្នាំកូត tantalum carbide

1. ស្រោបការប្រេះ និងរបក

មេគុណពង្រីកកំដៅលីនេអ៊ែរ CTE លីនេអ៊ែរ៖

2. ការវិភាគពិការភាព៖

(១) មូលហេតុ៖

(2) វិធីសាស្រ្តកំណត់លក្ខណៈ

① ប្រើបច្ចេកវិជ្ជាបំលែងកាំរស្មីអ៊ិច ដើម្បីវាស់សំពាធសំណល់។

② ប្រើច្បាប់របស់ Hu Ke ដើម្បីប៉ាន់ស្មានភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់។

(3) រូបមន្តដែលពាក់ព័ន្ធ

3. ពង្រឹងភាពឆបគ្នាខាងមេកានិចនៃថ្នាំកូតនិងស្រទាប់ខាងក្រោម

(1) ថ្នាំកូតលូតលាស់នៅក្នុងទីតាំង

បច្ចេកវិជ្ជាបំភាយប្រតិកម្មកំដៅ TRD

ដំណើរការអំបិលរលាយ

សម្រួលដំណើរការផលិត

បន្ថយសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្ម

ការចំណាយទាបជាង

កាន់តែងាយស្រួលដល់បរិស្ថាន

ស័ក្តិសមសម្រាប់ផលិតកម្មឧស្សាហកម្មខ្នាតធំ

(2) ថ្នាំកូតផ្លាស់ប្តូរសមាសធាតុ

ដំណើរការនៃការដាក់បញ្ចូលគ្នា

CVDដំណើរការ

ថ្នាំកូតពហុសមាសធាតុ

រួមបញ្ចូលគ្នានូវគុណសម្បត្តិនៃសមាសធាតុនីមួយៗ

កែសម្រួលសមាសភាព និងសមាមាត្រនៃថ្នាំកូតដោយបត់បែន

4. បច្ចេកវិជ្ជាបំភាយកំដៅ និងប្រតិកម្មកំដៅ TRD

(1) យន្តការប្រតិកម្ម

បច្ចេកវិទ្យា TRD ត្រូវបានគេហៅថាដំណើរការបង្កប់ផងដែរ ដែលប្រើប្រព័ន្ធ boric acid-tantalum pentoxide-sodium fluoride-boron oxide-boron carbide system ដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូត tantalum carbide.

① Molten អាស៊ីត boric រំលាយ tantalum pentoxide;

② Tantalum pentoxide ត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាអាតូម tantalum សកម្ម និងសាយភាយលើផ្ទៃក្រាហ្វិច។

③ អាតូម tantalum សកម្មត្រូវបាន adsorbed លើផ្ទៃក្រាហ្វិច និងប្រតិកម្មជាមួយអាតូមកាបូនដើម្បីបង្កើតថ្នាំកូត tantalum carbide.

(2) គ្រាប់ចុចប្រតិកម្ម

ប្រភេទនៃថ្នាំកូត carbide ត្រូវតែបំពេញតាមតម្រូវការដែលថាមពលសេរីនៃការបង្កើតអុកស៊ីតកម្មនៃធាតុបង្កើត carbide គឺខ្ពស់ជាង boron oxide ។

ថាមពលដោយឥតគិតថ្លៃ Gibbs នៃ carbide គឺទាបគ្រប់គ្រាន់ (បើមិនដូច្នេះទេ boron ឬ boride អាចត្រូវបានបង្កើតឡើង) ។

Tantalum pentoxide គឺជាអុកស៊ីដអព្យាក្រឹត។ នៅក្នុងសារធាតុ borax រលាយដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ វាអាចមានប្រតិកម្មជាមួយនឹងអុកស៊ីដសូដ្យូមអុកស៊ីដអាល់កាឡាំងដ៏រឹងមាំដើម្បីបង្កើតជាសូដ្យូម tantalate ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្មដំបូង។