Sputtering គោលដៅត្រូវបានប្រើជាចម្បងនៅក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក និងព័ត៌មាន ដូចជាសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា ការផ្ទុកព័ត៌មាន ការបង្ហាញគ្រីស្តាល់រាវ ការចងចាំឡាស៊ែរ ឧបករណ៍បញ្ជាអេឡិចត្រូនិក។ល។ ពួកវាក៏អាចប្រើក្នុងវិស័យថ្នាំកូតកញ្ចក់ ក៏ដូចជាធន់នឹងការពាក់ផងដែរ។ សមា្ភារៈ ធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ផលិតផលតុបតែងកម្រិតខ្ពស់ និងឧស្សាហកម្មផ្សេងទៀត។
Sputtering គឺជាបច្ចេកទេសសំខាន់មួយសម្រាប់រៀបចំសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើង។វាប្រើអ៊ីយ៉ុងដែលបង្កើតដោយប្រភពអ៊ីយ៉ុង ដើម្បីបង្កើនល្បឿន និងប្រមូលផ្តុំនៅក្នុងកន្លែងទំនេរដើម្បីបង្កើតជាធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងថាមពលដែលមានល្បឿនលឿន ទម្លាក់គ្រាប់បែកលើផ្ទៃរឹង និងផ្លាស់ប្តូរថាមពល kinetic រវាងអ៊ីយ៉ុង និងអាតូមផ្ទៃរឹង។ អាតូមលើផ្ទៃរឹងទុកវត្ថុរឹង ហើយដាក់លើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ វត្ថុធាតុរឹងដែលត្រូវបានទម្លាក់គ្រាប់បែកគឺជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងដោយការបាញ់ទឹក ដែលត្រូវបានគេហៅថាគោលដៅ sputtering ។ ប្រភេទផ្សេងគ្នានៃសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើង sputtered ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា semiconductor ប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយថត អេក្រង់រាបស្មើ និងថ្នាំកូតផ្ទៃ workpiece ។
ក្នុងចំណោមឧស្សាហកម្មកម្មវិធីទាំងអស់ ឧស្សាហកម្ម semiconductor មានតម្រូវការគុណភាពដ៏តឹងរ៉ឹងបំផុតសម្រាប់ខ្សែភាពយន្តដែលខ្ចប់គោលដៅ។ គោលដៅដែកដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បងនៅក្នុងការផលិត wafer និងដំណើរការវេចខ្ចប់កម្រិតខ្ពស់។ ដោយយកការផលិតបន្ទះឈីបជាឧទាហរណ៍ យើងអាចឃើញថា ពីស៊ីលីកុន wafer ទៅជាបន្ទះឈីប វាត្រូវឆ្លងកាត់ដំណើរការផលិតកម្មធំៗចំនួន 7 គឺ diffusion (Thermal Process), Photo-lithography (Photo-lithography), Etch (Etch), ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង (IonImplant) ការលូតលាស់នៃខ្សែភាពយន្តស្តើង (ការដាក់ឌីអេឡិចត្រិច) ការប៉ូលាមេកានិកគីមី (CMP) លោហៈធាតុ (Metalization) ដំណើរការ។ ឆ្លើយឆ្លងគ្នាម្តងមួយៗ។ គោលដៅ sputtering ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងដំណើរការនៃការ "metallization" ។ គោលដៅត្រូវបានបំផ្ទុះដោយភាគល្អិតថាមពលខ្ពស់ដោយឧបករណ៍បំប្លែងខ្សែភាពយន្តស្តើង ហើយបន្ទាប់មកស្រទាប់ដែកដែលមានមុខងារជាក់លាក់ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើ wafer ស៊ីលីកុន ដូចជាស្រទាប់ conductive ស្រទាប់របាំង។ រង់ចាំ។ ដោយសារដំណើរការនៃ semiconductors ទាំងមូលមានភាពខុសប្លែកគ្នា នោះស្ថានភាពម្តងម្កាលខ្លះត្រូវការជាចាំបាច់សម្រាប់ការផ្ទៀងផ្ទាត់ថាប្រព័ន្ធនេះមានភាពត្រឹមត្រូវ ដូច្នេះយើងទាមទារប្រភេទមួយចំនួននៃសម្ភារៈអត់ចេះសោះនៅដំណាក់កាលជាក់លាក់នៃការផលិតដើម្បីបញ្ជាក់ពីផលប៉ះពាល់។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មករា-១៧-២០២២