Graphite Substrate Wafer Holder សម្រាប់ PECVD

ការពិពណ៌នាសង្ខេប៖

អ្នកកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមក្រាហ្វិចរបស់ VET Energy ត្រូវបានវិស្វកម្មដើម្បីរក្សាការតម្រឹម និងស្ថេរភាពពេញមួយដំណើរការ PECVD ការពារការចម្លងរោគ និងកាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការខូចខាត។ Graphite Wafer Holder ផ្តល់នូវប្រព័ន្ធសុវត្ថិភាពសូម្បីតែមួយ ធានាថា wafers ត្រូវបានប៉ះពាល់ស្មើៗគ្នាទៅនឹងប្លាស្មាសម្រាប់ការដាក់ប្រាក់ដែលជាប់លាប់ និងគុណភាពខ្ពស់។ ជាមួយនឹងចរន្តកំដៅខ្ពស់ និងកម្លាំងពិសេសរបស់វា អ្នកកាន់នេះជួយកែលម្អប្រសិទ្ធភាពដំណើរការទាំងមូល និងដំណើរការផលិតផល។


ព័ត៌មានលម្អិតអំពីផលិតផល

ស្លាកផលិតផល

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder គឺជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដ៏ជាក់លាក់មួយដែលបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការ PECVD (ប្លាស្មាធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវចំហាយគីមី)។ អ្នកកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមក្រាហ្វិចដែលមានគុណភាពខ្ពស់នេះត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងលក្ខណៈផ្សេងៗទៀត។ វាអាចផ្តល់នូវវេទិកាគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ដំណើរការ PECVD និងធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន និងភាពរាបស្មើនៃការដាក់ខ្សែភាពយន្ត។

តារាងគាំទ្រ wafer ក្រាហ្វិចដំណើរការ VET Energy PECVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោមៈ

ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖មាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាបបំផុត ជៀសវាងការចម្លងរោគនៃខ្សែភាពយន្ត ធានាគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។

ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ដង់ស៊ីតេខ្ពស់កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងសម្ពាធខ្ពស់បរិស្ថាន PECVD ។

ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ធានាស្ថេរភាពដំណើរការ។

ចរន្តកំដៅដ៏អស្ចារ្យ៖ផ្ទេរកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពដើម្បីការពារការឡើងកំដៅរបស់ wafer ។

ធន់នឹងច្រេះខ្លាំង៖អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកដោយឧស្ម័ន និងប្លាស្មា។

សេវាកម្មប្ដូរតាមបំណង៖តារាងជំនួយក្រាហ្វិចដែលមានទំហំ និងរាងខុសៗគ្នាអាចត្រូវបានប្ដូរតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។

អត្ថប្រយោជន៍ផលិតផល

កែលម្អគុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ធានាឱ្យមានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន និងកែលម្អគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។

ពង្រីកអាយុឧបករណ៍៖ធន់នឹងច្រេះល្អ ពង្រីកអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ PECVD ។

កាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម៖ថាសក្រាហ្វិចដែលមានគុណភាពខ្ពស់អាចកាត់បន្ថយអត្រាសំណល់អេតចាយ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។

សម្ភារៈក្រាហ្វិចពី SGL៖

ប៉ារ៉ាម៉ែត្រធម្មតា: R6510

សន្ទស្សន៍ ស្តង់ដារសាកល្បង តម្លៃ ឯកតា
ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម ISO 13320 ១០ μm
ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន DIN IEC 60413/204 ១.៨៣ ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ3
បើក porosity DIN66133 ១០ %
ទំហំរន្ធញើសមធ្យម DIN66133 ១.៨ μm
ភាពជ្រាបចូល DIN 51935 0.06 សង់ទីម៉ែត្រ 2/s
ភាពរឹងរបស់ Rockwell HR5/100 DIN IEC60413/303 ៩០ HR
ភាពធន់នឹងអគ្គិសនីជាក់លាក់ DIN IEC 60413/402 ១៣ μΩm
កម្លាំងបត់បែន DIN IEC 60413/501 60 MPa
កម្លាំងបង្ហាប់ DIN 51910 ១៣០ MPa
ម៉ូឌុលរបស់ Young DIN 51915 ១១.៥ × ១០³ MPa
ការពង្រីកកំដៅ (20-200 ℃) DIN 51909 ៤.២X១០-6 K-1
ចរន្តកំដៅ (20 ℃) DIN 51908 ១០៥ Wm-1K-1

វាត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតកោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ គាំទ្រដល់ការកែច្នៃ wafer ទំហំធំ G12។ ការរចនាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលបានកែលម្អយ៉ាងសំខាន់បង្កើនទិន្នផល ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់ និងតម្លៃផលិតកម្មទាប។

ទូកក្រាហ្វិច
ធាតុ ប្រភេទ ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer លេខ
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 156 156-13 ទូក grephite ១៤៤
156-19 ទូក grephite ២១៦
156-21 ទូក grephite ២៤០
១៥៦-២៣ ទូកក្រាហ្វិច ៣០៨
ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 125 125-15 ទូក grephite ១៩៦
125-19 ទូក grephite ២៥២
125-21 ទូក grphite ២៨០
អត្ថប្រយោជន៍ផលិតផល
អតិថិជនរបស់ក្រុមហ៊ុន

  • មុន៖
  • បន្ទាប់៖

  • WhatsApp ជជែកតាមអ៊ីនធឺណិត!