តម្រូវការឧស្សាហកម្ម semiconductor នៃតម្រូវការសម្ភារៈក្រាហ្វិចគឺខ្ពស់ជាពិសេសទំហំភាគល្អិតល្អនៃក្រាហ្វិតមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់កម្លាំងខ្ពស់ការបាត់បង់តូចនិងគុណសម្បត្តិផ្សេងទៀតដូចជា: ផលិតផលក្រាហ្វិចស៊ីលីន។ដោយសារតែឧបករណ៍ក្រាហ្វិចដែលប្រើក្នុងឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិក (រាប់បញ្ចូលទាំងឧបករណ៍កម្តៅ និងសារធាតុស៊ីម៉ងត៍របស់វា) ត្រូវបានទាមទារដើម្បីទប់ទល់នឹងដំណើរការកំដៅ និងត្រជាក់ម្តងហើយម្តងទៀត ដើម្បីពន្យារអាយុសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ក្រាហ្វិច ជាធម្មតាវាតម្រូវឱ្យសមា្ភារៈក្រាហ្វីតដែលបានប្រើមានដំណើរការស្ថេរភាព។ និងមុខងារធន់នឹងកំដៅ។
01 គ្រឿងបន្លាស់ក្រាហ្វិចសម្រាប់ការលូតលាស់គ្រីស្តាល់ semiconductor
ដំណើរការទាំងអស់ដែលប្រើដើម្បីដាំគ្រីស្តាល់ semiconductor គឺដំណើរការក្រោមសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងបរិស្ថានដែលច្រេះ។ តំបន់ក្តៅនៃចង្រ្កានលូតលាស់គ្រីស្តាល់ជាធម្មតាត្រូវបានបំពាក់ដោយសមាសធាតុក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ដែលធន់នឹងកំដៅ និងធន់នឹងការច្រេះ ដូចជាម៉ាស៊ីនកម្តៅ សំបកឈើ ស៊ីឡាំងអ៊ីសូឡង់ ស៊ីឡាំងមគ្គុទ្ទេសក៍ អេឡិចត្រូត អ្នកកាន់ឈើច្រត់ គ្រាប់អេឡិចត្រូត ជាដើម។
យើងអាចផលិតផ្នែកក្រាហ្វិចទាំងអស់នៃឧបករណ៍ផលិតគ្រីស្តាល់ ដែលអាចត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ជាលក្ខណៈបុគ្គល ឬជាឈុត ឬផ្នែកក្រាហ្វិចតាមតម្រូវការនៃទំហំផ្សេងៗតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។ ទំហំនៃផលិតផលអាចត្រូវបានវាស់នៅលើគេហទំព័រ ហើយមាតិកាផេះនៃផលិតផលសម្រេចអាចតិចជាងច្រើនជាង 5ppm ។
02 គ្រឿងបន្ថែមក្រាហ្វិចសម្រាប់អេពីតាស៊ីស៊ីមខនឌុយឌ័រ
ដំណើរការ Epitaxial សំដៅលើការរីកលូតលាស់នៃស្រទាប់នៃវត្ថុធាតុគ្រីស្តាល់តែមួយជាមួយនឹងការរៀបចំបន្ទះឈើដូចគ្នានឹងស្រទាប់ខាងក្រោមនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមគ្រីស្តាល់តែមួយ។ នៅក្នុងដំណើរការ epitaxial, wafer ត្រូវបានផ្ទុកនៅលើថាសក្រាហ្វិច។ ដំណើរការ និងគុណភាពនៃថាសក្រាហ្វីតដើរតួនាទីយ៉ាងសំខាន់ក្នុងគុណភាពនៃស្រទាប់ epitaxial នៃ wafer ។ នៅក្នុងវិស័យនៃការផលិត epitaxial ជាច្រើននៃក្រាហ្វិចនៃភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងមូលដ្ឋានក្រាហ្វិតភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាមួយនឹងថ្នាំកូត SIC គឺត្រូវការជាចាំបាច់។
មូលដ្ឋាន graphite របស់ក្រុមហ៊ុនយើងសម្រាប់ semiconductor epitaxy មានកម្មវិធីធំទូលាយ អាចផ្គូផ្គងឧបករណ៍ដែលប្រើជាទូទៅក្នុងឧស្សាហកម្មនេះ ហើយមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន អាយុកាលសេវាកម្មដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងធន់នឹងសារធាតុគីមីខ្ពស់ និងស្ថេរភាពកម្ដៅ។
03 គ្រឿងបន្ថែមក្រាហ្វិចសម្រាប់ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង
ការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងសំដៅលើដំណើរការនៃការបង្កើនល្បឿននៃធ្នឹមប្លាស្មានៃ boron ផូស្វ័រ និងអាសេនិចទៅជាថាមពលជាក់លាក់មួយ ហើយបន្ទាប់មកចាក់វាចូលទៅក្នុងស្រទាប់ផ្ទៃនៃសម្ភារៈ wafer ដើម្បីផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិសម្ភារៈនៃស្រទាប់ផ្ទៃ។ ធាតុផ្សំនៃឧបករណ៍ផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ត្រូវធ្វើពីវត្ថុធាតុដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ធន់នឹងកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ចរន្តកំដៅ ការច្រេះតិចជាងដែលបណ្តាលមកពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង និងមាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាប។ ក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់បំពេញតាមតម្រូវការកម្មវិធី ហើយអាចប្រើសម្រាប់បំពង់ហោះហើរ រន្ធដោតផ្សេងៗ អេឡិចត្រូត គម្របអេឡិចត្រូត បំពង់ទុយោ ប្រដាប់ដាក់ធ្នឹមជាដើម នៃឧបករណ៍ផ្សាំអ៊ីយ៉ុង។
យើងមិនត្រឹមតែអាចផ្តល់គម្របការពារក្រាហ្វិចសម្រាប់ម៉ាស៊ីនផ្សាំអ៊ីយ៉ុងផ្សេងៗប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងផ្តល់នូវអេឡិចត្រូតក្រាហ្វីត និងប្រភពអ៊ីយ៉ុងដែលមានភាពធន់នឹងច្រេះខ្ពស់នៃលក្ខណៈបច្ចេកទេសផ្សេងៗ។ ម៉ូដែលដែលអាចអនុវត្តបាន៖ Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM និងឧបករណ៍ផ្សេងទៀត។ លើសពីនេះទៀត យើងក៏អាចផ្តល់នូវការផ្គូផ្គងសេរ៉ាមិច តង់ស្តែន ម៉ូលីបដិន ផលិតផលអាលុយមីញ៉ូម និងផ្នែកស្រោបផងដែរ។
04 សម្ភារៈអ៊ីសូឡង់ក្រាហ្វិច និងផ្សេងៗទៀត
សមា្ភារៈអ៊ីសូឡង់កម្ដៅដែលប្រើក្នុងឧបករណ៍ផលិត semiconductor រួមមាន ក្រាហ្វិចរឹង មានអារម្មណ៍ទន់ ក្រដាសក្រាហ្វិច ក្រដាសក្រាហ្វិត និងខ្សែក្រាហ្វិត។
វត្ថុធាតុដើមរបស់យើងទាំងអស់ត្រូវបាននាំចូលក្រាហ្វិចដែលអាចកាត់បានតាមទំហំជាក់លាក់នៃតម្រូវការរបស់អតិថិជនឬលក់ទាំងមូល។
ថាសកាបូន - កាបូនត្រូវបានប្រើជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនសម្រាប់ថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្តនៅក្នុងដំណើរការផលិតនៃកោសិកាសូឡា monocrystalline silicon និង polycrystalline silicon ។ គោលការណ៍ការងារគឺ៖ បញ្ចូលបន្ទះឈីបស៊ីលីកុនទៅក្នុងថាស CFC ហើយបញ្ជូនវាទៅក្នុងបំពង់ furnace ដើម្បីដំណើរការថ្នាំកូតខ្សែភាពយន្ត។
