Кремний карбиді (SiC) эпитаксиалды пластина

Қысқаша сипаттама:

VET Energy компаниясының кремний карбиді (SiC) эпитаксиалды пластинасы - бұл жаңа буын қуат пен радиожиілік құрылғыларының күрделі талаптарын қанағаттандыруға арналған жоғары өнімді субстрат. VET Energy әрбір эпитаксиалды пластинаның жоғары жылу өткізгіштігін, бұзылу кернеуін және тасымалдаушының қозғалғыштығын қамтамасыз ету үшін мұқият дайындалғанын қамтамасыз етеді, бұл оны электрлік көліктер, 5G байланысы және жоғары тиімді қуат электроникасы сияқты қолданбалар үшін өте қолайлы етеді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз PDF ретінде жүктеп алыңыз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

VET Energy кремний карбиді (SiC) эпитаксиалды пластинасы – бұл жоғары температураға тамаша төзімділігі, жоғары жиілік және жоғары қуат сипаттамалары бар жоғары өнімділігі кең диапазонды жартылай өткізгіш материал. Бұл қуатты электронды құрылғылардың жаңа буыны үшін тамаша субстрат. VET Energy компаниясы SiC субстраттарында жоғары сапалы SiC эпитаксиалды қабаттарын өсіру үшін MOCVD озық эпитаксиалды технологиясын пайдаланады, бұл пластинаның тамаша өнімділігі мен консистенциясын қамтамасыз етеді.

Біздің кремний карбиді (SiC) эпитаксиалды пластина Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer және SiN Substrate қоса алғанда, әртүрлі жартылай өткізгіш материалдармен тамаша үйлесімділікті ұсынады. Күшті эпитаксиалды қабатымен ол Epi Wafer өсімі және Gallium Oxide Ga2O3 және AlN Wafer сияқты материалдармен біріктіру сияқты жетілдірілген процестерді қолдайды, бұл әртүрлі технологияларда жан-жақты пайдалануды қамтамасыз етеді. Салалық стандартты Кассеталарды өңдеу жүйелерімен үйлесімді болу үшін әзірленген ол жартылай өткізгішті жасау орталарында тиімді және жеңілдетілген операцияларды қамтамасыз етеді.

VET Energy компаниясының өнім желісі тек SiC эпитаксиалды пластинкаларымен шектелмейді. Біз сонымен қатар Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer және т. Ваффер, болашақ электр электроника өнеркәсібінің өнімділігі жоғары құрылғыларға сұранысын қанағаттандыру үшін.

ВАФЕРИ СИПАТТАМАЛАРЫ

*n-Pm=n-түрі Pm-сынып, n-Ps=n-түрі Ps-сынып, Sl=Жартылай оқшаулағыш

Элемент	8 дюйм	6 дюйм			4 дюйм
Элемент	nP	n-PM	n-Ps	SI	SI
TTV(GBIR)	≤6um	≤6um
Садақ(GF3YFCD)-Абсолютті мән	≤15мкм	≤15мкм	≤25μm		≤15мкм
Бұрмалау(GF3YFER)	≤25μm	≤25μm	≤40мкм		≤25μm
LTV(SBIR) -10ммx10мм	<2мкм
Вафли жиегі	Бұрғылау

БЕТТЕРДІ БЕРУ

*n-Pm=n-түрі Pm-сынып, n-Ps=n-түрі Ps-сынып, Sl=Жартылай оқшаулағыш

Элемент	8 дюйм	6 дюйм			4 дюйм
	nP	n-PM	n-Ps	SI	SI
Беткі әрлеу	Екі жақты оптикалық поляк, Si-Face CMP
Бетінің кедір-бұдырлығы	(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2нм C-Face Ra≤ 0,5 нм			(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2нм C-Face Ra≤0,5нм
Жиек чиптері	Ешқайсысы рұқсат етілмейді (ұзындығы мен ені≥0,5мм)
Шегіністер	Ешқайсысы рұқсат етілмейді
Сызаттар (Si-Face)	Саны.≤5,Кумуляциялық Ұзындығы≤0,5×вафли диаметрі	Саны.≤5,Кумуляциялық Ұзындығы≤0,5×вафли диаметрі			Саны.≤5,Кумуляциялық Ұзындығы≤0,5×вафли диаметрі
Жарықтар	Ешқайсысы рұқсат етілмейді
Жиекті алып тастау	3мм