кремний карбиді керамикалық жабын жылытқышы

Вет-ҚытайКремний карбиді керамикаҚаптау - бұл өте қатты және тозуға төзімді материалдан жасалған жоғары өнімді қорғаныс жабыныкремний карбиді (SiC)химиялық коррозияға тамаша төзімділік пен жоғары температура тұрақтылығын қамтамасыз ететін материал. Бұл сипаттамалар жартылай өткізгіш өндірісінде шешуші мәнге ие, сондықтанКремний карбиді керамикалық жабынжартылай өткізгіштерді өндіру жабдықтарының негізгі компоненттерінде кеңінен қолданылады.

Вет-Қытайдың ерекше рөліКремний карбиді керамикаЖартылай өткізгіш өндірісінде жабын келесідей:

Жабдықтың беріктігін арттыру:Кремний карбиді керамикалық жабын Кремний карбиді керамикалық жабыны өте жоғары қаттылық пен тозуға төзімділігімен жартылай өткізгішті өндіру жабдықтары үшін бетті тамаша қорғауды қамтамасыз етеді. Әсіресе химиялық бу тұндыру (CVD) және плазмалық өрнектеу сияқты жоғары температурада және жоғары коррозиялы технологиялық орталарда жабын жабдықтың бетінің химиялық эрозия немесе физикалық тозу арқылы зақымдалуын тиімді болдырмайды, осылайша жабдықтың қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартады. жабдықты және жиі ауыстыру мен жөндеуден туындаған тоқтап қалу уақытын азайту.

Процесс тазалығын жақсарту:Жартылай өткізгішті өндіру процесінде аз ғана ластану өнімнің ақауларын тудыруы мүмкін. Кремний карбиді керамикалық жабынның химиялық инерттілігі оның экстремалды жағдайларда тұрақты болуына мүмкіндік береді, материалдан бөлшектерді немесе қоспаларды шығаруға жол бермейді, осылайша процестің экологиялық тазалығын қамтамасыз етеді. Бұл PECVD және ион имплантациясы сияқты жоғары дәлдік пен жоғары тазалықты қажет ететін өндіріс қадамдары үшін әсіресе маңызды.

Жылулық басқаруды оңтайландыру:Жылдам термиялық өңдеу (RTP) және тотығу процестері сияқты жоғары температурада жартылай өткізгіштерді өңдеуде кремний карбиді керамикалық жабынының жоғары жылу өткізгіштігі жабдық ішінде температураны біркелкі бөлуге мүмкіндік береді. Бұл температура ауытқуларынан туындаған термиялық кернеуді және материалдың деформациясын азайтуға көмектеседі, осылайша өнім өндіру дәлдігі мен дәйектілігін жақсартады.

Күрделі процесс орталарын қолдау:ICP өңдеу және PSS өңдеу процестері сияқты күрделі атмосфераны бақылауды қажет ететін процестерде кремний карбиді керамикалық жабынының тұрақтылығы мен тотығуға төзімділігі жабдықтың ұзақ мерзімді жұмыс кезінде тұрақты өнімділігін қамтамасыз етеді, материалдың тозу немесе жабдықтың зақымдалу қаупін азайтады. қоршаған ортаның өзгеруіне.