RTP/RTA үшін SiC жабын тасымалдағышы жылдам термиялық өңдеу және күйдіру деп аталатын жартылай өткізгішті өндіру процестерінде қолданылатын негізгі компонент болып табылады, біз кремний карбиді тасымалдаушысын өте жоғары тазалықпен, жақсы жабын біркелкілігімен және тамаша қызмет ету мерзімімен жасау үшін патенттелген технологиямызды қолданамыз. сондай-ақ жоғары химиялық төзімділік пен термиялық тұрақтылық қасиеттері.
Біздің өнімдеріміздің ерекшеліктері:
1. 1700℃ дейін жоғары температураның тотығуға төзімділігі.
2. Жоғары тазалық және жылу біркелкілігі
3. Коррозияға тамаша төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
4. Жоғары қаттылық, ықшам беті, ұсақ бөлшектер.
5. Қызмет ету мерзімі ұзағырақ және берік
| CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC негізгі физикалық қасиеттеріжабын | |
| 性质 / Меншік | 典型数值 / Типтік мән |
| 晶体结构 / Кристалл құрылымы | FCC β фазасы多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Тығыздығы | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Қаттылық | 2500 维氏硬度（500г жүктеме） |
| 晶粒大小 / Дән өлшемі | 2~10мкм |
| 纯度 / Химиялық тазалық | 99,99995% |
| 热容 / Жылу сыйымдылығы | 640 Дж·кг-1· Қ-1 |
| 升华温度 / Сублимация температурасы | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Иілу күші | 415 МПа RT 4-нүкте |
| 杨氏模量 / Янг модулі | 430 Gpa 4pt иілісі, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалӨткізгіштік | 300Вт·м-1· Қ-1 |
| 热膨胀系数 / Жылулық кеңею (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy - SiC жабыны, TaC жабыны, шыны тәрізді көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты әртүрлі жабындары бар тапсырыс бойынша графит және кремний карбид өнімдерінің нақты өндірушісі, жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсібі үшін әртүрлі теңшелген бөлшектерді жеткізе алады.
Біздің техникалық команда отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан келеді, сізге кәсіби материалды шешімдерді ұсына алады.
Біз неғұрлым жетілдірілген материалдармен қамтамасыз ету үшін жетілдірілген процестерді үздіксіз дамытамыз және жабын мен субстрат арасындағы байланыстыруды тығыз және ажырауға бейімді ете алатын эксклюзивті патенттелген технологияны әзірледік.
Сізді біздің зауытқа келуге шақырамыз, әрі қарай талқылайық!
