Химиялық булардың тұнуы (CVD) кремнийдің бетіне қатты қабықшаның түсу процесін білдіредівафлигаз қоспасының химиялық реакциясы арқылы. Әртүрлі реакция жағдайларына (қысым, прекурсор) сәйкес оны әртүрлі жабдық үлгілеріне бөлуге болады.
Бұл екі құрылғы қандай процестер үшін қолданылады?
PECVD(Plasma Enhanced) жабдық - ең көп және ең жиі қолданылатын, OX, Nitride, металл қақпасы, аморфты көміртегі және т.б. қолданылады; LPCVD (төмен қуат) әдетте нитрид, поли, TEOS-та қолданылады.
принципі қандай?
PECVD-плазма энергиясы мен CVD-ны тамаша үйлестіретін процесс. PECVD технологиясы төмен қысымда технологиялық камераның катодында (яғни үлгі науасы) жарқырауды тудыру үшін төмен температуралы плазманы пайдаланады. Бұл жарқырау разряды немесе басқа қыздыру құрылғысы үлгі температурасын алдын ала белгіленген деңгейге дейін көтеріп, содан кейін технологиялық газдың бақыланатын мөлшерін енгізе алады. Бұл газ бірқатар химиялық және плазмалық реакциялардан өтіп, ақырында үлгінің бетінде қатты қабықша түзеді.
LPCVD - Төмен қысымды химиялық бу тұндыру (LPCVD) реактордағы реакциялық газдың жұмыс қысымын шамамен 133Па немесе одан төменге дейін төмендетуге арналған.
Олардың әрқайсысының ерекшеліктері қандай?
PECVD - Плазма энергиясы мен CVD-ны тамаша үйлестіретін процесс: 1) Төмен температурада жұмыс істеу (жабдықтың жоғары температурада зақымдалуын болдырмау); 2) пленканың жылдам өсуі; 3) Материалдарды таңдамайды, OX, Nitride, металл қақпасы, аморфты көміртек барлығы өсе алады; 4) Рецептті ион параметрлері, газ ағынының жылдамдығы, температура және пленка қалыңдығы арқылы реттей алатын in-situ бақылау жүйесі бар.
LPCVD - LPCVD арқылы тұндырылған жұқа пленкалар жақсырақ қадамдық қамтуға, жақсы композиция мен құрылымды бақылауға, жоғары тұндыру жылдамдығына және шығысқа ие болады. Сонымен қатар, LPCVD тасымалдаушы газды қажет етпейді, сондықтан ол бөлшектердің ластану көзін айтарлықтай азайтады және жұқа қабықшаны тұндыру үшін жоғары қосылған құны бар жартылай өткізгіш салаларда кеңінен қолданылады.
Әрі қарай талқылау үшін бізге келуге әлемнің түкпір-түкпірінен кез келген тұтынушыларды қош келдіңіз!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Жіберу уақыты: 24 шілде 2024 ж