кремний карбиді жабыны,әдетте SiC жабыны ретінде белгілі, химиялық буларды тұндыру (CVD), физикалық буларды тұндыру (PVD) немесе термиялық бүрку сияқты әдістер арқылы беттерге кремний карбиді қабатын қолдану процесін білдіреді. Бұл кремний карбидті керамикалық жабын ерекше тозуға төзімділік, термиялық тұрақтылық және коррозиядан қорғау арқылы әртүрлі негіздердің беткі қасиеттерін жақсартады. SiC өзінің тамаша физикалық және химиялық қасиеттерімен белгілі, оның ішінде жоғары балқу температурасы (шамамен 2700℃), өте қаттылық (Mohs шкаласы 9), тамаша коррозияға және тотығуға төзімділігі және ерекше абляция өнімділігі.
Өнеркәсіптік қолданбалардағы кремний карбиді жабынының негізгі артықшылықтары
Осы ерекшеліктерге байланысты кремний карбиді жабыны аэроғарыш, қару-жарақ жабдықтары және жартылай өткізгіштерді өңдеу сияқты салаларда кеңінен қолданылады. Төтенше орталарда, әсіресе 1800-2000 ℃ диапазонында, SiC жабыны керемет термиялық тұрақтылық пен абляцияға төзімділікті көрсетеді, бұл оны жоғары температуралық қолданбалар үшін өте қолайлы етеді. Дегенмен, кремний карбидінің өзі көптеген қолданбалар үшін қажетті құрылымдық тұтастыққа ие емес, сондықтан оның бірегей қасиеттерін құрамдас беріктігін бұзбай пайдалану үшін жабу әдістері қолданылады. Жартылай өткізгішті өндіруде кремний карбидімен қапталған элементтер MOCVD процестерінде қолданылатын жабдықта сенімді қорғаныс пен өнімділік тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Кремний карбиді жабынын дайындаудың жалпы әдістері
Ⅰ● Химиялық буларды тұндыру (CVD) кремний карбиді жабыны
Бұл әдісте SiC жабындары субстраттарды реакциялық камераға орналастыру арқылы қалыптасады, мұнда метилрихлоросилан (МТС) прекурсор ретінде әрекет етеді. Бақыланатын жағдайларда (әдетте 950-1300°C және теріс қысым) МТС ыдырауға ұшырайды, ал кремний карбиді бетіне шөгеді. Бұл CVD SiC жабу процесі жартылай өткізгіштер мен аэроғарыштық секторлардағы жоғары дәлдіктегі қолданбалар үшін өте қолайлы, тамаша жабысатын тығыз, біркелкі жабынды қамтамасыз етеді.
Ⅱ● Прекурсорды түрлендіру әдісі (полимерді сіңдіру және пиролиз – PIP)
Кремний карбиді бүріккіш жабынның тағы бір тиімді әдісі - алдын ала өңделген үлгіні керамикалық прекурсор ерітіндісіне батыруды қамтитын прекурсорларды түрлендіру әдісі. Сіңдіру цистернасын шаңсорғышпен сорып, жабынға қысым түсіргеннен кейін үлгі қызады, бұл салқындату кезінде кремний карбиді жабынының пайда болуына әкеледі. Бұл әдіс жабынның біркелкі қалыңдығын және тозуға төзімділігін арттыруды қажет ететін компоненттер үшін қолайлы.
Кремний карбиді жабынының физикалық қасиеттері
Кремний карбидті жабындары оларды өнеркәсіптік қолдану үшін өте қолайлы ететін қасиеттерді көрсетеді. Бұл қасиеттерге мыналар жатады:
Жылу өткізгіштік: 120-270 Вт/м·К
Жылулық кеңею коэффициенті: 4,3 × 10^(-6)/K (20~800℃ кезінде)
Электр кедергісі: 10^5– 10^6Ω·см
Қаттылық: Мох шкаласы 9
Кремний карбиді жабынының қолданылуы
Жартылай өткізгіштер өндірісінде MOCVD және басқа да жоғары температура процестеріне арналған кремний карбиді жабыны жоғары температураға төзімділік пен тұрақтылықты ұсына отырып, реакторлар мен қабылдағыштар сияқты маңызды жабдықты қорғайды. Аэроғарыш және қорғаныс саласында кремний карбидті керамикалық жабындар жоғары жылдамдықтағы әсерлерге және коррозиялық ортаға төтеп беруі керек компоненттерге қолданылады. Сонымен қатар, кремний карбидті бояу немесе жабындарды зарарсыздандыру процедуралары кезінде төзімділікті қажет ететін медициналық құрылғыларда да қолдануға болады.
Неліктен кремний карбидті жабынды таңдау керек?
Компоненттердің қызмет ету мерзімін ұзарту бойынша дәлелденген рекорды бар кремний карбиді жабындары теңдесі жоқ беріктік пен температураның тұрақтылығын қамтамасыз етеді, бұл оларды ұзақ мерзімді пайдалану үшін үнемді етеді. Кремний карбидімен қапталған бетті таңдау арқылы салалар техникалық қызмет көрсету шығындарының төмендеуінен, жабдықтың сенімділігін арттырудан және жұмыс тиімділігін арттырудан пайда көреді.
Неліктен VET ENERGY таңдау керек?
VET ENERGY - Қытайдағы кремний карбидті жабын өнімдерінің кәсіби өндірушісі және зауыты. SiC жабынының негізгі өнімдеріне кремний карбиді керамикалық жабын жылытқышы,CVD кремний карбиді жабыны MOCVD қабылдағыш, CVD SiC жабыны бар MOCVD графит тасымалдаушысы, SiC қапталған графит негізін тасымалдаушылар, Жартылай өткізгішке арналған кремний карбидімен қапталған графит субстраты,SiC жабыны/жабылған графитті субстрат/жартылай өткізгішке арналған науа, CVD SiC қапталған көміртекті-көміртекті композиттік CFC қайық қалып. VET ENERGY жартылай өткізгіштер өнеркәсібі үшін озық технологиялар мен өнім шешімдерін ұсынуға ұмтылады. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес боламыз деп шын жүректен үміттенеміз.
Жіберу уақыты: 02 қыркүйек 2023 ж