Шәует болған кездебизнес жаңалықтары, жартылай өткізгішті жасаудың күрделілігін түсіну қажеттілік болып табылады. жартылай өткізгіш пластиналар осы салада маңызды құрамдас болып табылады, бірақ олар жиі әртүрлі қоспалардан ластануға ұшырайды. Атом, органикалық заттар, металл элемент ионы және оксидті қамтитын бұл ластаушы заттар өндіріс процесіне әсер етуі мүмкін.
Бөлшектермысалы, полимер және қышқыл қоспасы пластинаның бетінде адсорбцияланатын молекулааралық күшке сенеді, құрылғының фотолитографиясына әсер етеді.органикалық қоспаларгомо тері майы және машина майы сияқты вафлиде пленка түзеді, тазалауға кедергі келтіреді.металл элементтерінің иондарытемір мен алюминий сияқты металдар иондық кешеннің түзілуі арқылы жиі жойылады.Оксидтердайындау процесіне кедергі келтіреді және әдетте сұйылтылған фтор қышқылына батыру арқылы жойылады.
химиялық әдістерәдетте жартылай өткізгіш пластинаны тазалау және жұлу үшін қолданылады. ерітіндіге батыру және механикалық скраб сияқты ылғалды химиялық тазалау әдістері басым. дыбыстан жоғары және мегадыбыстық тазалау әдісі кірді кетірудің тиімді жолдарын ұсынады. құрғақ химиялық тазалау, плазмалық және газ фазалық технологиясын қамтиды, сонымен қатар жартылай өткізгіш пластинаны тазалау процестерінде қызмет атқарады.
Хабарлама уақыты: 29 қазан 2024 ж