Кремний карбидті саптамалар электронды жартылай өткізгіштерді өндіруде маңызды рөл атқарады. Олар сұйықтарды немесе газдарды шашырату үшін қолданылатын құрылғы, көбінесе жартылай өткізгіш өндірісінде ылғалды химиялық өңдеу үшін қолданылады. Sic саптаманың жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі және тозуға төзімділігі артықшылықтары бар, сондықтан ол электронды жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібінде кеңінен қолданылады.
Электрондық жартылай өткізгіш өндірісінде кремний карбидті саптамалар жабу және тазалау процестерінде жиі қолданылады. Мысалы, фотолитография процесінде кремний пластинасына фоторезисттік ерітіндіні шашырату үшін кремний карбидінің саптамасы қолданылады. Кремний карбиді шүмегінің біркелкі бүрку сипаттамалары болғандықтан, ол кремний пластинкасының бетіне фоторезисттің біркелкі таралуын қамтамасыз ете алады, осылайша өндіріс тиімділігі мен өнім сапасын жақсартады.
Сонымен қатар, кремний карбидінің саптамалары тазалау процестерінде жиі қолданылады. Жартылай өткізгішті өндіру кезінде беткі қоспалар мен ластаушы заттарды кетіру үшін кремний пластинкаларын тазалау қажет. Кремний карбиді саптамалары жоғары жылдамдықтағы ауаны немесе химиялық ерітінділерді шашырату, ластаушы заттарды тиімді жою және өндірістік процестің сенімділігі мен тұрақтылығын арттыру арқылы кремний пластинкаларының бетін тазарта алады.
Электрондық жартылай өткізгіштерді шығаратын кәсіпорындар үшін кремний карбидінің дұрыс саптамасын таңдау өте маңызды. Ең алдымен, кремний карбидінің саптамасы өндіріс процесінде жоғары температура ортасына төтеп беру үшін өте жоғары температураға төзімді болуы керек. Екіншіден, коррозияға төзімділік те маңызды, өйткені өндіріс процесінде күшті қышқылдар мен негіздер сияқты кейбір химиялық заттар қолданылады. Сонымен қатар, тозуға төзімділік те ескеріледі, өйткені саптама пайдалану кезінде үйкеліс пен тозуға ұшырайды.
Кремний карбиді саптамаларының жұмысын жақсарту үшін өндірушілер әдетте кейбір озық өндіріс әдістерін пайдаланады. Мысалы, саптамалар физикалық және химиялық қасиеттерінің тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін жоғары таза кремний карбидті материалдардан жасалған. Сонымен қатар, дәл өңдеу және бетті өңдеу арқылы кремний карбиді саптаманың бүрку әсері мен қызмет ету мерзімін жақсартуға болады.
Қысқаша айтқанда, кремний карбидті саптамалар электронды жартылай өткізгіштерді өндіруде маңызды рөл атқарады. Олар жоғары температураның, коррозияға және тозуға төзімділіктің артықшылықтарына ие және оларды шашыратқыш сұйықтық немесе газды өңдеу процестерінде қолдануға болады. Электрондық жартылай өткізгіштерді шығаратын кәсіпорындар кремний карбидінің дұрыс саптамасын таңдап, өндіріс процесінің тиімділігі мен өнім сапасын жақсарту үшін озық өндіріс технологиясын қабылдауы керек.
Кремний карбидті саптамалар электронды жартылай өткізгіштерді өндіруде маңызды рөл атқарады. Олар жоғары температураның, коррозияға және тозуға төзімділіктің артықшылықтарына ие және оларды шашыратқыш сұйықтық немесе газды өңдеу процестерінде қолдануға болады. Фотолитография процесінде кремний карбиді саптама фоторезисттік ерітіндіні кремний пластинасына біркелкі шашыратып, өндіріс тиімділігі мен өнім сапасын жақсарта алады. Тазалау процесінде кремний карбиді саптама кремний пластинкасының бетін жоғары жылдамдықтағы ауа ағынын бүрку немесе химиялық ерітіндіні шашырату арқылы тазартады, ластаушы заттарды кетіреді және өндіріс процесінің сенімділігі мен тұрақтылығын жақсартады. Электрондық жартылай өткізгіштерді шығаратын кәсіпорындар кремний карбидінің дұрыс саптамасын таңдап, өндіріс процесінің тиімділігі мен өнім сапасын жақсарту үшін озық өндіріс технологиясын қабылдауы керек.
Жіберу уақыты: 11 желтоқсан 2023 ж