КРЕМНИЯЛЫ ВАФЛИ ҚАЛАЙ ЖАСАУ КЕРЕК
A вафли- бұл қалыңдығы шамамен 1 миллиметрлік кремний тілімі, ол техникалық жағынан өте қажет процедуралардың арқасында өте тегіс бетке ие. Кейінгі пайдалану қандай кристалды өсіру процедурасын қолдану керектігін анықтайды. Мысалы, Чехральски процесінде поликристалды кремний балқытылып, балқытылған кремнийге қарындаш тәрізді жұқа тұқымдық кристалды батырады. Содан кейін тұқым кристалы айналады және баяу жоғары қарай тартылады. Өте ауыр колосс, монокристалл нәтиже береді. Тазалығы жоғары қоспалардың шағын бірліктерін қосу арқылы монокристалдың электрлік сипаттамаларын таңдауға болады. Кристаллдар тұтынушы сипаттамаларына сәйкес легирленген, содан кейін жылтыратылады және тілімдерге кесіледі. Әртүрлі қосымша өндіріс қадамдарынан кейін тапсырыс беруші өзінің көрсетілген вафлиін арнайы қаптамада алады, бұл тапсырыс берушіге вафлиді өзінің өндірістік желісінде дереу пайдалануға мүмкіндік береді.
ЧОХРАЛЬСКИЙ ПРОЦЕСІ
Бүгінгі таңда кремний монокристалдарының үлкен бөлігі Чохральский процесі бойынша өсіріледі, ол поликристалды жоғары таза кремнийді гипертаза кварц тигельінде балқытуды және қоспаны (әдетте B, P, As, Sb) қосуды қамтиды. Жұқа, монокристалды тұқымдық кристал балқытылған кремнийге батырылады. Содан кейін бұл жұқа кристалдан үлкен CZ кристалы дамиды. Балқытылған кремнийдің температурасы мен ағынын, кристалды және тигельдің айналуын, сондай-ақ кристалды тарту жылдамдығын дәл реттеу өте жоғары сапалы монокристалды кремний құймасына әкеледі.
FLOAT ZONE ӘДІСІ
Қалқымалы аймақ әдісі бойынша дайындалған монокристалдар IGBT сияқты қуатты жартылай өткізгіш компоненттерде пайдалану үшін өте қолайлы. Цилиндрлік поликристалды кремний құймасы индукциялық катушкаға орнатылған. Радиожиілік электромагниттік өріс өзекшенің төменгі бөлігінен кремнийді ерітуге көмектеседі. Электромагниттік өріс кремний ағынын индукциялық катушкадағы кішкене саңылау арқылы және төменде жатқан монокристалға (қалқымалы аймақ әдісі) реттейді. Әдетте B немесе P қоспалары газ тәрізді заттарды қосу арқылы жүзеге асырылады.
Жіберу уақыты: 07 маусым 2021 ж