Бу фазасының эпитаксисі (VPE) процесінде тұғырдың рөлі субстратты қолдау және өсу процесі кезінде біркелкі жылытуды қамтамасыз ету болып табылады. Тұғырлардың әртүрлі түрлері әртүрлі өсу жағдайлары мен материалдық жүйелерге сәйкес келеді. Төменде бу фазасында жиі қолданылатын тұғыр түрлері берілгенэпитаксия:
Бөшке тұғыры
Бөшке тұғырлары әдетте көлденең немесе көлбеу бу фазалық эпитаксистік жүйелерде қолданылады. Олар субстратты ұстай алады және газдың субстраттың үстінен ағып кетуіне мүмкіндік береді, бұл біркелкі эпитаксиалды өсуге қол жеткізуге көмектеседі.
Диск тәрізді тұғыр (тік тұғыр)
Диск тәріздес тұғырлар субстрат тігінен орналастырылған тік бу фазалық эпитаксистік жүйелер үшін қолайлы. Бұл дизайн субстрат пен қабылдағыш арасындағы байланыс аймағын азайтуға көмектеседі, осылайша жылу шығынын және ықтимал ластануды азайтады.
Көлденең қабылдағыш
Көлденең суссепторлар бу фазасының эпитаксиясында сирек кездеседі, бірақ көлденең бағытта эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ету үшін кейбір ерекше өсу жүйелерінде қолданылуы мүмкін.
Монолитті эпитаксиалды реакция сезгіші
Монолитті эпитаксиалды реакция сезімталдығы жоғары сапалы эпитаксиалды қабаттардың өсуіне қолайлы температураны дәлірек бақылауды және жақсы жылу оқшаулауды қамтамасыз ете алатын бір субстратқа арналған.
Өнім туралы ақпарат және кеңес алу үшін веб-сайтымызға қош келдіңіз.
Біздің веб-сайт: https://www.vet-china.com/
Жіберу уақыты: 30 шілде 2024 ж