Нысандарды шашыратунегізінен интегралды схемалар, ақпаратты сақтау, сұйық кристалды дисплейлер, лазерлік жадылар, электронды басқару құрылғылары және т.б. сияқты электроника және ақпараттық салаларда қолданылады. Оларды шыны жабыны саласында, сондай-ақ тозуға төзімділікте қолдануға болады. материалдар, жоғары температурадағы коррозияға төзімділік, жоғары сапалы сәндік бұйымдар және басқа салалар.
Шашырату - жұқа үлбірлі материалдарды дайындаудың негізгі әдістерінің бірі.Ол жоғары жылдамдықты энергия иондық сәулелерді қалыптастыру, қатты бетті бомбалау және иондар мен қатты бет атомдары арасында кинетикалық энергия алмасу үшін вакуумда жеделдету және біріктіру үшін ион көздерімен жасалған иондарды пайдаланады. Қатты беттегі атомдар қатты затты тастап, субстраттың бетіне шөгеді. Бомбаланған қатты зат тозаңдату арқылы жұқа қабықшаларды тұндыру үшін шикізат болып табылады, оны бүрку нысанасы деп атайды. Шашыратылған жұқа үлбірлі материалдардың әртүрлі түрлері жартылай өткізгішті интегралды схемаларда, жазу құралдарында, жалпақ панельді дисплейлерде және дайындаманың бетін жабуда кеңінен қолданылды.
Қолданбалы салалар арасында жартылай өткізгіштер өнеркәсібі мақсатты шашыратқыш пленкаларға ең қатаң сапа талаптарын қояды. Жоғары тазалықтағы металды шашырату нысандары негізінен вафли өндірісінде және жетілдірілген орау процестерінде қолданылады. Мысал ретінде чип өндірісін алсақ, кремний пластинкасынан чипке дейін ол 7 негізгі өндірістік процестен өтуі керек, атап айтқанда диффузия (термиялық процесс), фото-литография (фото-литография), Etch (Etch), Ионды имплантациялау (IonImplant), жұқа қабықшаның өсуі (диэлектрлік тұндыру), химиялық механикалық жылтырату (CMP), металдандыру (Метализация) Процестер бірінен соң бірі сәйкес келеді. Шашырату нысанасы «металлизация» процесінде қолданылады. Нысана жұқа пленка тұндыру қондырғысы арқылы жоғары энергиялы бөлшектермен бомбаланады, содан кейін кремний пластинасында өткізгіш қабат, тосқауыл қабаты сияқты белгілі бір функциялары бар металл қабаты пайда болады. Күте тұрыңыз. Бүкіл жартылай өткізгіштердің процестері әртүрлі болғандықтан, жүйенің дұрыс бар екенін тексеру үшін кейбір кездейсоқ жағдайлар қажет, сондықтан әсерлерді растау үшін өндірістің белгілі бір кезеңдерінде жалған материалдардың кейбір түрлерін талап етеміз.
Жіберу уақыты: 17 қаңтар 2022 ж