VET EnergyPECVD процесінің графит тасымалдаушысы - PECVD (плазмада жақсартылған химиялық будың тұндыру) процесіне арналған жоғары сапалы шығын материалы. Бұл графит тасымалдағышы жоғары температураға төзімділігі, коррозияға төзімділігі, өлшемді тұрақтылығы және басқа сипаттамалары бар жоғары таза, тығыздығы жоғары графит материалынан жасалған, жұқа қабықтың біркелкілігі мен тегістігін қамтамасыз ету үшін PECVD процесі үшін тұрақты тасымалдаушы платформаны қамтамасыз ете алады. тұндыру.
PECVD процесіне арналған графит тасушылар келесі сипаттамаларға ие:
▪ Жоғары тазалық: қоспаның өте төмен мөлшері, пленканың ластануын болдырмайды және пленка сапасын қамтамасыз етеді.
▪ Жоғары тығыздық: жоғары тығыздық, жоғары механикалық беріктік, жоғары температура мен жоғары қысымды PECVD ортасына төтеп бере алады.
▪ Жақсы өлшемдік тұрақтылық: процесс тұрақтылығын қамтамасыз ететін жоғары температурада шағын өлшемді өзгерту.
▪ Өте жақсы жылу өткізгіштік: пластинаның қызып кетуіне жол бермеу үшін жылуды тиімді тасымалдаңыз.
▪ Күшті коррозияға төзімділік: әртүрлі коррозиялық газдар мен плазма эрозиясына қарсы тұруға қабілетті.
▪ Арнайы қызмет көрсету: әртүрлі өлшемдегі және пішіндегі графит тасушыларды тұтынушы қажеттіліктеріне сәйкес реттеуге болады.
SGL графит материалы:
Әдеттегі параметр: R6510 | |||
Индекс | Сынақ стандарты | Мән | Бірлік |
Дәннің орташа мөлшері | ISO 13320 | 10 | мкм |
Көлемдік тығыздық | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | г/см3 |
Ашық кеуектілік | DIN66133 | 10 | % |
Кеуектің орташа мөлшері | DIN66133 | 1.8 | мкм |
Өткізгіштік | DIN 51935 | 0,06 | см²/с |
Роквелл қаттылығы HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Меншікті электр кедергісі | DIN IEC 60413/402 | 13 | мкм |
Иілу күші | DIN IEC 60413/501 | 60 | МПа |
Қысу күші | DIN 51910 | 130 | МПа |
Янг модулі | DIN 51915 | 11,5×10³ | МПа |
Термиялық кеңею (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Жылу өткізгіштік (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ол G12 үлкен өлшемді вафлиді өңдеуді қолдайтын жоғары тиімді күн батареяларын өндіру үшін арнайы жасалған. Оңтайландырылған тасымалдаушы дизайны өнімділікті айтарлықтай арттырады, бұл жоғары кірістілік көрсеткіштеріне және өндіріс шығындарын төмендетуге мүмкіндік береді.
Элемент | Түр | Вафельді тасымалдаушы нөмір |
PEVCD Grephite қайығы - 156 сериясы | 156-13 грефиттік қайық | 144 |
156-19 грефитті қайық | 216 | |
156-21 грефиттік қайық | 240 | |
156-23 графит қайық | 308 | |
PEVCD Grephite қайығы - 125 сериясы | 125-15 грефиттік қайық | 196 |
125-19 грефитті қайық | 252 | |
125-21 грфиттік қайық | 280 |