Графит материалына қойылатын жартылай өткізгіш өнеркәсібінің талаптары әсіресе жоғары, графиттің ұсақ бөлшектерінің мөлшері жоғары дәлдікке, жоғары температураға төзімділікке, жоғары беріктікке, аз шығынға және басқа да артықшылықтарға ие, мысалы: агломерленген графит өнімдерінің қалыптары.Жартылай өткізгіш өнеркәсібінде қолданылатын графит жабдығы (жылытқыштар мен олардың күйдіргіштерін қоса) бірнеше рет қыздыру және салқындату процестеріне төтеп беруді талап ететіндіктен, графиттік жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту үшін әдетте пайдаланылатын графиттік материалдардың тұрақты өнімділігі талап етіледі. және ыстыққа төзімді соққы функциясы.
01 Жартылай өткізгіш кристалды өсіруге арналған графит керек-жарақтары
Жартылай өткізгіш кристалдарды өсіру үшін қолданылатын барлық процестер жоғары температурада және коррозиялық ортада жұмыс істейді. Кристаллды өсіретін пештің ыстық аймағы әдетте ыстыққа төзімді және коррозияға төзімді жоғары таза графит компоненттерімен жабдықталған, мысалы, қыздырғыш, тигель, оқшаулағыш цилиндр, бағыттаушы цилиндр, электрод, тигель ұстағышы, электрод гайкалары және т.б.
Біз жеке немесе жиынтықта жеткізілетін кристалды өндіру құрылғыларының барлық графит бөліктерін немесе тапсырыс берушінің талаптарына сәйкес әртүрлі өлшемдегі графит бөліктерін жасай аламыз. Өнімдердің көлемін сайтта өлшеуге болады, ал дайын өнімнің күлділігі аз болуы мүмкін5 бет мин.
02 Жартылай өткізгіш эпитаксияға арналған графит керек-жарақтары
Эпитаксиалды процесс деп монокристалды субстраттағы субстрат сияқты тордың орналасуы бірдей монокристалды материал қабатының өсуін айтады. Эпитаксиалды процесте пластинка графиттік дискіге жүктеледі. Графит дискінің өнімділігі мен сапасы пластинаның эпитаксиалды қабатының сапасында маңызды рөл атқарады. Эпитаксиалды өндіріс саласында өте жоғары таза графит және SIC жабыны бар жоғары таза графит негізі қажет.
Біздің компанияның жартылай өткізгіш эпитаксияға арналған графиттік негізі кең ауқымды қолданбаларға ие, өнеркәсіпте жиі қолданылатын жабдықтың көпшілігіне сәйкес келеді және жоғары тазалыққа, біркелкі жабынға, тамаша қызмет ету мерзіміне және жоғары химиялық төзімділікке және термиялық тұрақтылыққа ие.
03 Иондарды имплантациялауға арналған графит керек-жарақтары
Ионды имплантациялау деп бордың, фосфордың және мышьяктың плазмалық сәулесін белгілі бір энергияға дейін жеделдету, содан кейін беткі қабаттың материалдық қасиеттерін өзгерту үшін оны пластинаның беткі қабатына айдау процесін айтады. Иондарды имплантациялау құрылғысының құрамдас бөліктері тамаша ыстыққа төзімділігі, жылу өткізгіштігі, ион сәулесінің әсерінен болатын коррозиясы аз және қоспаның аз мөлшері бар жоғары таза материалдардан жасалуы керек. Тазалығы жоғары графит қолдану талаптарына сәйкес келеді және ионды имплантациялау жабдығының ұшу түтіктеріне, әртүрлі саңылауларға, электродтарға, электродтардың қақпақтарына, өткізгіштерге, сәулелік терминаторларға және т.б.
Біз әртүрлі иондарды имплантациялау машиналары үшін графиттен қорғайтын қақпақты қамтамасыз етіп қана қоймай, сонымен қатар жоғары таза графит электродтары мен әртүрлі сипаттамалардағы жоғары коррозияға төзімді ион көздерін қамтамасыз ете аламыз. Қолданылатын үлгілер: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM және басқа жабдықтар. Сонымен қатар, біз керамика, вольфрам, молибден, алюминий бұйымдары мен қапталған бөлшектерді де қамтамасыз ете аламыз.
04 Графитті оқшаулағыш материалдар және т.б
Жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарында қолданылатын жылу оқшаулағыш материалдарға графит қатты киіз, жұмсақ киіз, графит фольга, графит қағаз және графит арқан жатады.
Біздің барлық шикізатымыз импорттық графит болып табылады, оны тапсырыс берушінің талаптарына сәйкес кесуге немесе тұтастай сатуға болады.
Көміртекті-көміртекті науа күн монокристалды кремний және поликристалды кремний жасушаларын өндіру процесінде пленкамен жабу үшін тасымалдаушы ретінде пайдаланылады. Жұмыс принципі: кремний чипін CFC науасына салыңыз және пленка жабынын өңдеу үшін пеш түтігіне жіберіңіз.
