რატომ იღუნება გვერდითი კედელი მშრალი აკრავის დროს?

იონური დაბომბვის არაერთგვაროვნება

მშრალიგრავირებაროგორც წესი, ეს არის პროცესი, რომელიც აერთიანებს ფიზიკურ და ქიმიურ ეფექტებს, რომელშიც იონური დაბომბვა არის მნიშვნელოვანი ფიზიკური ჭურვის მეთოდი. დროსგრავირების პროცესი, იონების დაცემის კუთხე და ენერგიის განაწილება შეიძლება არათანაბარი იყოს.

თუ იონის დაცემის კუთხე განსხვავებულია გვერდითა კედელზე სხვადასხვა პოზიციებზე, გვერდით კედელზე იონების დამუშავების ეფექტიც განსხვავებული იქნება. იონის დაცემის უფრო დიდი კუთხით მდებარე ადგილებში, გვერდით კედელზე იონების აჭრელების ეფექტი უფრო ძლიერია, რაც გამოიწვევს ამ არეში გვერდითი კედელი უფრო მეტად დახრილობას, რაც გამოიწვევს გვერდითი კედელის მოხრას. გარდა ამისა, იონური ენერგიის არათანაბარი განაწილება ასევე გამოიწვევს მსგავს ეფექტებს. უფრო მაღალი ენერგიის მქონე იონებს შეუძლიათ მასალების უფრო ეფექტურად ამოღება, რაც იწვევს არათანმიმდევრულობასგრავირებაგვერდითი კედლის გრადუსი სხვადასხვა პოზიციებზე, რაც თავის მხრივ იწვევს გვერდითი კედელის მოხრას.

ფოტორეზისტის გავლენა

ფოტორეზისტი ასრულებს ნიღბის როლს მშრალ გრავირებაში, იცავს იმ ადგილებს, რომლებიც არ საჭიროებს ამოკვეთას. თუმცა, ფოტორეზისტზე ასევე გავლენას ახდენს პლაზმური დაბომბვა და ქიმიური რეაქციები ჭურვის პროცესის დროს და მისი მოქმედება შეიძლება შეიცვალოს.

თუ ფოტორეზისტის სისქე არათანაბარია, მოხმარების სიხშირე არ არის თანმიმდევრული, ან ფოტორეზისტენტსა და სუბსტრატს შორის ადჰეზია განსხვავებულია სხვადასხვა ადგილას, ამან შეიძლება გამოიწვიოს გვერდითი კედლების არათანაბარი დაცვა აკრავის პროცესში. მაგალითად, უფრო თხელი ფოტორეზისტი ან სუსტი ადჰეზიის მქონე ადგილებმა შეიძლება ძირეული მასალის უფრო ადვილად ამოკვეთა გამოიწვიოს, რამაც გამოიწვია გვერდითი კედლების მოხრილობა ამ ადგილებში.

განსხვავებები სუბსტრატის მასალის თვისებებში

თავად ამოჭრილ სუბსტრატს შეიძლება ჰქონდეს განსხვავებული თვისებები, როგორიცაა სხვადასხვა კრისტალური ორიენტაცია და დოპინგის კონცენტრაცია სხვადასხვა რეგიონში. ეს განსხვავებები გავლენას მოახდენს ოქროვის სიჩქარეზე და ოქროვის სელექციურობაზე.
მაგალითად, კრისტალურ სილიციუმში, სილიციუმის ატომების განლაგება სხვადასხვა კრისტალურ ორიენტაციაში განსხვავებულია, ასევე განსხვავებული იქნება მათი რეაქტიულობა და ამოღების სიჩქარე აირთან ერთად. აკრავის პროცესის დროს, მასალის თვისებების განსხვავებებით გამოწვეული აკრავის სხვადასხვა სიხშირე არათანმიმდევრულს გახდის გვერდითი კედლების სიღრმეს სხვადასხვა ადგილას, რაც საბოლოოდ გამოიწვევს გვერდითი კედელს დახრილობას.

აღჭურვილობასთან დაკავშირებული ფაქტორები

ოქროვის აღჭურვილობის მუშაობასა და სტატუსს ასევე აქვს მნიშვნელოვანი გავლენა ოქროვის შედეგებზე. მაგალითად, ისეთი პრობლემები, როგორიცაა პლაზმის არათანაბარი განაწილება რეაქციის პალატაში და ელექტროდის არათანაბარი ცვეთა, შეიძლება გამოიწვიოს ისეთი პარამეტრების არათანაბარი განაწილება, როგორიცაა იონების სიმკვრივე და ენერგია ვაფლის ზედაპირზე ატვირების დროს.

გარდა ამისა, აღჭურვილობის არათანაბარი ტემპერატურის კონტროლმა და გაზის ნაკადის უმნიშვნელო რყევებმა ასევე შეიძლება გავლენა მოახდინოს აკრავის ერთგვაროვნებაზე, რამაც გამოიწვიოს გვერდითი კედელი.