0 რა არის ერთი ბროლის ღუმელის ექვსი სისტემა

ერთკრისტალური ღუმელი არის მოწყობილობა, რომელიც იყენებს აგრაფიტის გამათბობელიდნება პოლიკრისტალური სილიციუმის მასალები ინერტული აირის (არგონის) გარემოში და იყენებს ჩოხრალსკის მეთოდს არადისლოკირებული ერთკრისტალების მოსაყვანად. იგი ძირითადად შედგება შემდეგი სისტემებისგან:

მექანიკური გადაცემის სისტემა

მექანიკური გადაცემის სისტემა არის ერთკრისტალური ღუმელის ძირითადი ოპერაციული სისტემა, რომელიც ძირითადად პასუხისმგებელია კრისტალების მოძრაობის კონტროლზე დაჭურჭელი, მათ შორის თესლის კრისტალების აწევა და ბრუნვა და აწევა და ბრუნვაჭურჭელი. მას შეუძლია ზუსტად შეცვალოს ისეთი პარამეტრები, როგორიცაა კრისტალებისა და ჭურჭლის პოზიცია, სიჩქარე და ბრუნვის კუთხე, რათა უზრუნველყოს ბროლის ზრდის პროცესის გლუვი პროგრესი. მაგალითად, კრისტალების ზრდის სხვადასხვა ეტაპებზე, როგორიცაა დათესვა, კისერი, მხრის ჩაყრა, თანაბარი დიამეტრის ზრდა და კუდი, თესლის კრისტალებისა და ჭურჭლის მოძრაობა ზუსტად უნდა იყოს კონტროლირებადი ამ სისტემის მიერ, რათა დააკმაყოფილოს კრისტალების ზრდის პროცესის მოთხოვნები.

გათბობის ტემპერატურის კონტროლის სისტემა

ეს არის ერთკრისტალური ღუმელის ერთ-ერთი ძირითადი სისტემა, რომელიც გამოიყენება სითბოს გამომუშავებისთვის და ღუმელში ტემპერატურის ზუსტად გასაკონტროლებლად. იგი ძირითადად შედგება ისეთი კომპონენტებისგან, როგორიცაა გამათბობლები, ტემპერატურის სენსორები და ტემპერატურის კონტროლერები. გამათბობელი ჩვეულებრივ დამზადებულია ისეთი მასალებისგან, როგორიცაა მაღალი სისუფთავის გრაფიტი. მას შემდეგ, რაც ალტერნატიული დენი გარდაიქმნება და მცირდება დენის გაზრდის მიზნით, გამათბობელი წარმოქმნის სითბოს პოლიკრისტალური მასალების დნობისთვის, როგორიცაა პოლისილიციუმი ჭურჭელში. ტემპერატურის სენსორი აკონტროლებს ტემპერატურის ცვლილებებს ღუმელში რეალურ დროში და გადასცემს ტემპერატურის სიგნალს ტემპერატურის კონტროლერს. ტემპერატურის კონტროლერი ზუსტად აკონტროლებს გათბობის სიმძლავრეს დაყენებული ტემპერატურის პარამეტრების და უკუკავშირის ტემპერატურის სიგნალის მიხედვით, რითაც ინარჩუნებს ტემპერატურის სტაბილურობას ღუმელში და უზრუნველყოფს კრისტალების ზრდისთვის შესაფერის ტემპერატურულ გარემოს.

ვაკუუმის სისტემა

ვაკუუმური სისტემის მთავარი ფუნქციაა ღუმელში ვაკუუმური გარემოს შექმნა და შენარჩუნება კრისტალების ზრდის პროცესში. ღუმელში ჰაერი და მინარევებიანი აირები ამოღებულია ვაკუუმური ტუმბოების და სხვა აღჭურვილობის მეშვეობით, რათა ღუმელში გაზის წნევა მიაღწიოს უკიდურესად დაბალ დონეს, ზოგადად 5TOR (torr) ქვემოთ. ეს ხელს უშლის სილიკონის მასალის მაღალ ტემპერატურაზე დაჟანგვას და უზრუნველყოფს ბროლის ზრდის სისუფთავეს და ხარისხს. ამავდროულად, ვაკუუმური გარემო ასევე ხელსაყრელია კრისტალების ზრდის პროცესში წარმოქმნილი აქროლადი მინარევების მოსაშორებლად და ბროლის ხარისხის გასაუმჯობესებლად.

არგონის სისტემა

არგონის სისტემა ასრულებს როლს ერთკრისტალურ ღუმელში ღუმელში წნევის დაცვასა და რეგულირებაში. მტვერსასრუტის შემდეგ, მაღალი სისუფთავის არგონის გაზი (სისუფთავე უნდა იყოს 6 9-ზე მეტი) ივსება ღუმელში. ერთის მხრივ, მას შეუძლია თავიდან აიცილოს გარე ჰაერი ღუმელში შესვლისგან და თავიდან აიცილოს სილიციუმის მასალების დაჟანგვა; მეორეს მხრივ, არგონის გაზის შევსებას შეუძლია ღუმელში სტაბილური წნევის შენარჩუნება და კრისტალების ზრდისთვის შესაფერისი წნევის გარემოს შექმნა. გარდა ამისა, არგონის გაზის ნაკადს შეუძლია ასევე წაართვას კრისტალების ზრდის პროცესში წარმოქმნილი სითბო, რომელიც ასრულებს გარკვეულ გაგრილების როლს.

წყლის გაგრილების სისტემა

წყლის გაგრილების სისტემის ფუნქციაა ერთი ბროლის ღუმელის სხვადასხვა მაღალი ტემპერატურის კომპონენტების გაგრილება, რათა უზრუნველყოს აღჭურვილობის ნორმალური მუშაობა და მომსახურების ვადა. ერთკრისტალური ღუმელის მუშაობის დროს გამათბობელი,ჯვარედინი, ელექტროდი და სხვა კომპონენტები გამოიმუშავებენ უამრავ სითბოს. თუ ისინი დროულად არ გაცივდნენ, მოწყობილობა გადახურდება, დეფორმირდება ან თუნდაც დაზიანდება. წყლის გაგრილების სისტემა ართმევს ამ კომპონენტების სითბოს გამაგრილებელი წყლის ცირკულაციის გზით, რათა შეინარჩუნოს მოწყობილობის ტემპერატურა უსაფრთხო დიაპაზონში. ამავდროულად, წყლის გაგრილების სისტემას ასევე შეუძლია დაეხმაროს ღუმელში ტემპერატურის რეგულირებაში ტემპერატურის კონტროლის სიზუსტის გასაუმჯობესებლად.

ელექტრო კონტროლის სისტემა

ელექტრული კონტროლის სისტემა არის ერთი ბროლის ღუმელის "ტვინი", რომელიც პასუხისმგებელია მთელი აღჭურვილობის მუშაობის მონიტორინგსა და კონტროლზე. მას შეუძლია მიიღოს სიგნალები სხვადასხვა სენსორებისგან, როგორიცაა ტემპერატურის სენსორები, წნევის სენსორები, პოზიციის სენსორები და ა. მაგალითად, კრისტალების ზრდის პროცესის დროს, ელექტრული კონტროლის სისტემას შეუძლია ავტომატურად დაარეგულიროს გათბობის სიმძლავრე ტემპერატურის სენსორის მიერ მოწოდებული ტემპერატურის სიგნალის მიხედვით; ბროლის ზრდის მიხედვით, მას შეუძლია აკონტროლოს თესლის ბროლისა და ჭურჭლის მოძრაობის სიჩქარე და ბრუნვის კუთხე. ამავდროულად, ელექტრული კონტროლის სისტემას ასევე აქვს ხარვეზის დიაგნოსტიკა და განგაშის ფუნქციები, რომლებსაც შეუძლიათ დროულად გამოავლინონ აღჭურვილობის არანორმალური მდგომარეობა და უზრუნველყონ მოწყობილობის უსაფრთხო მუშაობა.