ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიის (VPE) პროცესის დროს, კვარცხლბეკის როლი არის სუბსტრატის მხარდაჭერა და ზრდის პროცესის ერთგვაროვანი გათბობა. სხვადასხვა ტიპის კვარცხლბეკები შესაფერისია სხვადასხვა ზრდის პირობებისა და მატერიალური სისტემებისთვის. ქვემოთ მოცემულია ორთქლის ფაზაში ყველაზე ხშირად გამოყენებული კვარცხლბეკის ტიპებიეპიტაქსია:
ლულის კვარცხლბეკი
ლულის კვარცხლბეკები ჩვეულებრივ გამოიყენება ჰორიზონტალური ან დახრილი ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიის სისტემებში. მათ შეუძლიათ შეინარჩუნონ სუბსტრატი და დაუშვან გაზს სუბსტრატზე გადინება, რაც ხელს უწყობს ერთგვაროვანი ეპიტაქსიური ზრდის მიღწევას.
დისკის ფორმის კვარცხლბეკი (ვერტიკალური კვარცხლბეკი)
დისკის ფორმის კვარცხლბეკები შესაფერისია ვერტიკალური ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიის სისტემებისთვის, რომლებშიც სუბსტრატი მოთავსებულია ვერტიკალურად. ეს დიზაინი ხელს უწყობს კონტაქტის არეალის შემცირებას სუბსტრატსა და მგრძნობელობას შორის, რითაც ამცირებს სითბოს დაკარგვას და პოტენციურ დაბინძურებას.
ჰორიზონტალური მგრძნობელობა
ჰორიზონტალური მგრძნობელობა ნაკლებად გავრცელებულია ორთქლის ფაზის ეპიტაქსიაში, მაგრამ შეიძლება გამოყენებულ იქნას ზოგიერთ სპეციფიკურ ზრდის სისტემაში, რათა მოხდეს ეპიტაქსიალური ზრდა ჰორიზონტალური მიმართულებით.
მონოლითური ეპიტაქსიალური რეაქციის მგრძნობელობა
მონოლითური ეპიტაქსიალური რეაქციის მგრძნობელობა განკუთვნილია ერთი სუბსტრატისთვის, რომელსაც შეუძლია უზრუნველყოს უფრო ზუსტი ტემპერატურის კონტროლი და უკეთესი თერმული იზოლაცია, რომელიც შესაფერისია მაღალი ხარისხის ეპიტაქსიალური ფენების ზრდისთვის.
კეთილი იყოს თქვენი მობრძანება ჩვენს ვებგვერდზე პროდუქტის შესახებ ინფორმაციისა და კონსულტაციისთვის.
ჩვენი საიტი: https://www.vet-china.com/
გამოქვეყნების დრო: ივლის-30-2024