სამიზნეების თხრილიძირითადად გამოიყენება ელექტრონიკის და საინფორმაციო ინდუსტრიებში, როგორიცაა ინტეგრირებული სქემები, ინფორმაციის შენახვა, თხევადკრისტალური დისპლეები, ლაზერული მეხსიერება, ელექტრონული კონტროლის მოწყობილობები და ა.შ. მასალები, მაღალი ტემპერატურის კოროზიის წინააღმდეგობა, მაღალი დონის დეკორატიული პროდუქტები და სხვა ინდუსტრიები.
წვრილი ფირის მასალების მომზადების ერთ-ერთი მთავარი ტექნიკაა დაფხვრა.ის იყენებს იონური წყაროების მიერ წარმოქმნილ იონებს ვაკუუმში აჩქარებისა და აგრეგაციისთვის, რათა წარმოქმნას მაღალსიჩქარიანი ენერგეტიკული იონური სხივები, დაბომბეს მყარი ზედაპირი და გაცვალოს კინეტიკური ენერგია იონებსა და მყარი ზედაპირის ატომებს შორის. მყარ ზედაპირზე ატომები ტოვებენ მყარს და დეპონირდება სუბსტრატის ზედაპირზე. დაბომბვადი მყარი არის ნედლეული თხელი ფენების ჩაყრის მიზნით, რომელსაც ეწოდება sputtering სამიზნე. სხვადასხვა სახის დაფხვნილი თხელი ფირის მასალები ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარულ ინტეგრირებულ სქემებში, ჩამწერ მედიაში, ბრტყელ პანელის დისპლეებში და სამუშაო ნაწილის ზედაპირის საფარებში.
ყველა აპლიკაციის ინდუსტრიას შორის, ნახევარგამტარულ ინდუსტრიას აქვს ყველაზე მკაცრი ხარისხის მოთხოვნები სამიზნე დაფხვნილი ფილმებისთვის. მაღალი სისუფთავის ლითონის დაფხვნილის სამიზნეები ძირითადად გამოიყენება ვაფლის წარმოებაში და შეფუთვის მოწინავე პროცესებში. მაგალითად, ჩიპების წარმოებას, ჩვენ ვხედავთ, რომ სილიკონის ვაფლიდან ჩიპამდე, მას სჭირდება 7 ძირითადი წარმოების პროცესის გავლა, კერძოდ, დიფუზია (თერმული პროცესი), ფოტო-ლითოგრაფია (ფოტო-ლითოგრაფია), ეტჩი (Etch). იონის იმპლანტაცია (IonImplant), თხელი ფირის ზრდა (დიელექტრიკული დეპონირება), ქიმიური მექანიკური გაპრიალება (CMP), მეტალიზაცია (მეტალიზაცია) პროცესები სათითაოდ შეესაბამება. თხრილის სამიზნე გამოიყენება "მეტალიზაციის" პროცესში. სამიზნე იბომბება მაღალი ენერგიის ნაწილაკებით თხელი ფირის დეპონირების აღჭურვილობით და შემდეგ სილიკონის ვაფლზე წარმოიქმნება კონკრეტული ფუნქციების მქონე ლითონის ფენა, როგორიცაა გამტარი ფენა, ბარიერის ფენა. მოითმინეთ. ვინაიდან მთელი ნახევარგამტარების პროცესები მრავალფეროვანია, საჭიროა გარკვეული სიტუაციები სისტემის სწორად არსებობის დასადასტურებლად, ამიტომ ჩვენ მოვითხოვთ წარმოების გარკვეულ ეტაპებზე მატყუარა მასალებს, რომ დაადასტუროთ ეფექტი.
გამოქვეყნების დრო: იან-17-2022