Tantalum carbide dilapisi susceptor kanggo wafer

Katrangan singkat:

VET Energy Tantalum carbide coated susceptor kanggo wafer minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.


Detail Produk

Tag produk

Lapisan TaC minangka jinis lapisan tantalum karbida (TaC) sing disiapake kanthi teknologi deposisi uap fisik, nduweni karakteristik ing ngisor iki:

1. High atose: TaC nutupi atose dhuwur, biasane bisa tekan 2500-3000HV, iku sawijining lapisan hard banget.

2. Nyandhang resistance: lapisan TaC banget nyandhang-tahan, kang èfèktif bisa nyuda nyandhang lan karusakan saka bagean mechanical sak nggunakake.

3. Good resistance suhu dhuwur: lapisan TaC uga bisa njaga kinerja banget ing lingkungan suhu dhuwur.

4. Stabilitas kimia sing apik: Lapisan TaC nduweni stabilitas kimia sing apik lan bisa nolak akeh reaksi kimia, kayata asam lan basa.

6 (3)
Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Sifat fisik saka TaC lapisan

密度/ Kapadhetan

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisivitas spesifik

0.3

热膨胀系数 / Koefisien ekspansi termal

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Kekerasan (HK)

2000 HK

电阻 / Resistance

1×10-5 Om *cm

热稳定性 / Stabilitas termal

<2500 ℃

石墨尺寸变化 / owah-owahan ukuran grafit

-10~-20um

涂层厚度 / kekandelan Coating

≥20um nilai khas (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd minangka perusahaan teknologi tinggi sing fokus ing produksi lan dodolan bahan canggih, bahan lan teknologi sing kalebu grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan lan liya-liyane. Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lsp.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Chat Online WhatsApp!