Tantalum carbide dilapisi susceptor kanggo wafer

Tantalum carbide ditutupi susceptor kanggo wafer Featured Image

Katrangan singkat:

Semicera minangka pimpinan ing teknologi perlindungan materi suhu dhuwur lan kita bangga ngenalake produk lapisan CVD Tantalum Carbide (TaC) kanggo menehi perlindungan suhu dhuwur sing dipercaya kanggo substrat grafit sampeyan.Grafit minangka bahan tahan suhu dhuwur sing apik banget, nanging rawan oksidasi ing suhu dhuwur, sing ora bisa dihindari sanajan ing tungku vakum.Lapisan CVD Tantalum Carbide (TaC) kanthi efektif bisa nyegah oksidasi substrat grafit nalika njaga kinerja suhu dhuwur sing apik banget.TaC uga minangka bahan inert sing bisa nolak reaksi karo gas kayata argon lan hidrogen.Hubungi Semicera dina iki kanggo sinau luwih lengkap babagan susceptor EPI sing dilapisi Tantalum Carbide CVD kanggo njamin stabilitas lan linuwih aplikasi suhu dhuwur sampeyan.

Kirimi email kanggo kita Ngundhuh minangka PDF

Detail Produk

Tag produk

Lapisan TaC minangka jinis lapisan tantalum karbida (TaC) sing disiapake kanthi teknologi deposisi uap fisik, nduweni karakteristik ing ngisor iki:

1. High atose: TaC nutupi atose dhuwur, biasane bisa tekan 2500-3000HV, iku sawijining lapisan hard banget.

2. Nyandhang resistance: lapisan TaC banget nyandhang-tahan, kang èfèktif bisa nyuda nyandhang lan karusakan saka bagean mechanical sak nggunakake.

3. Good resistance suhu dhuwur: lapisan TaC uga bisa njaga kinerja banget ing lingkungan suhu dhuwur.

4. Stabilitas kimia sing apik: Lapisan TaC nduweni stabilitas kimia sing apik lan bisa nolak akeh reaksi kimia, kayata asam lan basa.

Tantalum Carbide CVD Coating EPI Susceptor_Semicera (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性 Sifat fisik saka TaC lapisan
密度/ Kapadhetan	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisivitas spesifik	0.3
热膨胀系数 / Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kekerasan (HK)	2000 HK
电阻 / Resistance	1×10^-5 Om *cm
热稳定性 / Stabilitas termal	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / owah-owahan ukuran grafit	-10~-20um
涂层厚度 / kekandelan Coating	≥20um nilai khas (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd minangka perusahaan teknologi tinggi sing fokus ing produksi lan dodolan bahan canggih, bahan lan teknologi sing kalebu grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan lan liya-liyane.Produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lsp.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!