VET Energy PECVD loading tray minangka operator presisi sing dirancang kanggo proses PECVD (deposisi uap kimia sing ditingkatake plasma). Baki grafit deposisi bermutu tinggi iki digawe saka bahan grafit kanthi kemurnian dhuwur. Nduwe resistensi suhu sing dhuwur, tahan korosi, stabilitas dimensi lan karakteristik liyane. Bisa nyedhiyakake platform operator sing stabil kanggo proses PECVD lan njamin keseragaman lan kerataan deposisi film.
VET Energy PECVD loading trays digunakake digunakake ing semikonduktor, photovoltaic, LED lan kothak liyane. Contone:
▪ Semikonduktor: Proses PECVD kanggo bahan semikonduktor kayata wafer silikon lan wafer epitaxial.
▪ Fotovoltaik: Proses PECVD kanggo film tipis sel surya.
▪ LED: Proses PECVD kanggo chip LED.
Kaluwihan produk
▪Ngapikake kualitas film:Mesthekake deposisi film seragam lan nambah kualitas film.
▪Tambah umur piranti:Resistance korosi sing apik, ngluwihi umur layanan peralatan PECVD.
▪Ngurangi biaya produksi:Nampan grafit sing berkualitas bisa nyuda tingkat kethokan lan nyuda biaya produksi.
Bahan grafit saka SGL:
Parameter khas: R6510 | |||
Indeks | Standar tes | Nilai | Unit |
Ukuran gandum rata-rata | ISO 13320 | 10 | μm |
Kapadhetan akeh | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Porositas mbukak | DIN66133 | 10 | % |
Ukuran pori medium | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeabilitas | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell atose HR5/100 | DIN IEC 60413/303 | 90 | HR |
Resistivitas listrik spesifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Kekuatan lentur | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Kekuwatan kompresif | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus Young | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Ekspansi termal (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Konduktivitas termal (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Iki dirancang khusus kanggo manufaktur sel surya kanthi efisiensi dhuwur, ndhukung pangolahan wafer ukuran gedhe G12. Desain operator sing dioptimalake kanthi signifikan nambah throughput, mbisakake tingkat asil sing luwih dhuwur lan biaya produksi sing luwih murah.
Item | Jinis | Nomer wafer operator |
PEVCD Grephite boat - Seri 156 | 156-13 prau grephite | 144 |
156-19 prau grephite | 216 | |
156-21 prau grephite | 240 | |
156-23 prau grafit | 308 | |
PEVCD Grephite boat - Seri 125 | 125-15 prau grephite | 196 |
125-19 prau grephite | 252 | |
125-21 prau grphite | 280 |