PECVD Loading Tray Deposition Graphite Tray

Katrangan singkat:

VET Energy's PECVD Loading Tray dirancang kanggo nyedhiyakake dhukungan sing aman lan malah kanggo wafer sajrone deposisi, ningkatake konsistensi lan kualitas proses deposisi. Kanthi tahan panas sing apik, Graphite Tray mbantu njaga lingkungan sing dikontrol ing njero ruangan PECVD, nyuda risiko kontaminasi lan njamin efisiensi proses sing dhuwur.


Detail Produk

Tag produk

VET Energy PECVD loading tray minangka operator presisi sing dirancang kanggo proses PECVD (deposisi uap kimia sing ditingkatake plasma). Baki grafit deposisi bermutu tinggi iki digawe saka bahan grafit kanthi kemurnian dhuwur. Nduwe resistensi suhu sing dhuwur, tahan korosi, stabilitas dimensi lan karakteristik liyane. Bisa nyedhiyakake platform operator sing stabil kanggo proses PECVD lan njamin keseragaman lan kerataan deposisi film.

VET Energy PECVD loading trays digunakake digunakake ing semikonduktor, photovoltaic, LED lan kothak liyane. Contone:

▪ Semikonduktor: Proses PECVD kanggo bahan semikonduktor kayata wafer silikon lan wafer epitaxial.

▪ Fotovoltaik: Proses PECVD kanggo film tipis sel surya.

▪ LED: Proses PECVD kanggo chip LED.

Kaluwihan produk

Ngapikake kualitas film:Mesthekake deposisi film seragam lan nambah kualitas film.

Tambah umur piranti:Resistance korosi sing apik, ngluwihi umur layanan peralatan PECVD.

Ngurangi biaya produksi:Nampan grafit sing berkualitas bisa nyuda tingkat kethokan lan nyuda biaya produksi.

Bahan grafit saka SGL:

Parameter khas: R6510

Indeks Standar tes Nilai Unit
Ukuran gandum rata-rata ISO 13320 10 μm
Kapadhetan akeh DIN IEC 60413/204 1.83 g/cm3
Porositas mbukak DIN66133 10 %
Ukuran pori medium DIN66133 1.8 μm
Permeabilitas DIN 51935 0.06 cm²/s
Rockwell atose HR5/100 DIN IEC 60413/303 90 HR
Resistivitas listrik spesifik DIN IEC 60413/402 13 μΩm
Kekuatan lentur DIN IEC 60413/501 60 MPa
Kekuwatan kompresif DIN 51910 130 MPa
Modulus Young DIN 51915 11,5 × 10³ MPa
Ekspansi termal (20-200 ℃) DIN 51909 4.2X10-6 K-1
Konduktivitas termal (20 ℃) DIN 51908 105 Wm-1K-1

Iki dirancang khusus kanggo manufaktur sel surya kanthi efisiensi dhuwur, ndhukung pangolahan wafer ukuran gedhe G12. Desain operator sing dioptimalake kanthi signifikan nambah throughput, mbisakake tingkat asil sing luwih dhuwur lan biaya produksi sing luwih murah.

prau grafit
Item Jinis Nomer wafer operator
PEVCD Grephite boat - Seri 156 156-13 prau grephite 144
156-19 prau grephite 216
156-21 prau grephite 240
156-23 prau grafit 308
PEVCD Grephite boat - Seri 125 125-15 prau grephite 196
125-19 prau grephite 252
125-21 prau grphite 280
Kaluwihan produk
Pelanggan perusahaan

  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Obrolan Online WhatsApp!