Deposisi uap kimia (CVD) nuduhake proses nyetop film padhet ing permukaan silikonwaferliwat reaksi kimia saka campuran gas. Miturut kahanan reaksi sing beda (tekanan, prekursor), bisa dipérang dadi macem-macem model peralatan.
Kanggo pangolahan apa piranti loro iki digunakake?
PECVD(Plasma Enhanced) peralatan paling akeh lan paling umum digunakake, digunakake ing OX, Nitride, gerbang logam, karbon amorf, etc.; LPCVD (Low Power) biasane digunakake ing Nitride, poly, TEOS.
Apa prinsipe?
PECVD-proses sing sampurna nggabungke energi plasma lan CVD. Teknologi PECVD nggunakake plasma suhu rendah kanggo ngindhuksi pelepasan cemlorot ing katoda ruang proses (yaiku, tray sampel) ing tekanan rendah. Discharge cemlorot utawa piranti pemanas liyane iki bisa ngunggahake suhu sampel menyang tingkat sing wis ditemtokake, banjur ngenalake jumlah gas proses sing dikontrol. Gas iki ngalami serangkaian reaksi kimia lan plasma, lan pungkasane mbentuk film padhet ing permukaan sampel.
LPCVD - Deposisi uap kimia tekanan rendah (LPCVD) dirancang kanggo nyuda tekanan operasi gas reaksi ing reaktor nganti udakara 133Pa utawa kurang.
Apa karakteristik saben?
PECVD - Proses sing sampurna nggabungake energi plasma lan CVD: 1) Operasi suhu rendah (nyingkiri karusakan suhu dhuwur ing peralatan); 2) wutah film cepet; 3) Ora pilih-pilih babagan bahan, OX, Nitride, gerbang logam, karbon amorf kabeh bisa tuwuh; 4) Ana sistem pemantauan in-situ, sing bisa nyetel resep liwat paramèter ion, tingkat aliran gas, suhu lan ketebalan film.
LPCVD - Film tipis sing disimpen dening LPCVD bakal duwe jangkoan langkah sing luwih apik, komposisi lan kontrol struktur sing apik, tingkat deposisi lan output sing dhuwur. Kajaba iku, LPCVD ora mbutuhake gas pembawa, saengga bisa nyuda sumber polusi partikel lan akeh digunakake ing industri semikonduktor kanthi nilai tambah dhuwur kanggo deposisi film tipis.
Welcome sembarang pelanggan saka sak ndonya kanggo ngunjungi kita kanggo diskusi luwih!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Posting wektu: Jul-24-2024