Tungku kristal tunggal yaiku piranti sing nggunakake apemanas grafitkanggo nyawiji bahan silikon polikristalin ing lingkungan gas inert (argon) lan nggunakake metode Czochralski kanggo tuwuh kristal tunggal sing ora dislokasi. Utamane kasusun saka sistem ing ngisor iki:
Sistem transmisi mekanik
Sistem transmisi mekanik minangka sistem operasi dhasar saka tungku kristal tunggal, sing tanggung jawab utamane kanggo ngontrol gerakan kristal lancrucibles, kalebu ngangkat lan rotasi kristal wiji lan ngangkat lan rotasicrucibles. Bisa nyetel paramèter kanthi akurat kayata posisi, kacepetan lan sudut rotasi kristal lan crucibles kanggo njamin kelancaran proses pertumbuhan kristal. Contone, ing macem-macem orane tumrap sekolah wutah kristal kayata seeding, necking, shouldering, wutah diameteripun witjaksono lan tailing, gerakan saka kristal wiji lan crucibles kudu kanthi kontrol sistem iki kanggo nyukupi syarat proses wutah kristal.
Sistem kontrol suhu pemanasan
Iki minangka salah sawijining sistem inti saka tungku kristal tunggal, sing digunakake kanggo ngasilake panas lan kanthi akurat ngontrol suhu ing tungku. Utamane kasusun saka komponen kayata pemanas, sensor suhu, lan pengontrol suhu. Pemanas biasane digawe saka bahan kayata grafit kemurnian dhuwur. Sawise arus bolak-balik diowahi lan dikurangi kanggo nambah arus, pemanas ngasilake panas kanggo nyawiji bahan polycrystalline kayata polysilicon ing crucible. Sensor suhu ngawasi owah-owahan suhu ing tungku ing wektu nyata lan ngirim sinyal suhu menyang pengontrol suhu. Pengontrol suhu kanthi akurat ngontrol daya pemanasan miturut paramèter suhu sing disetel lan sinyal suhu umpan balik, saéngga njaga stabilitas suhu ing tungku lan nyedhiyakake lingkungan suhu sing cocog kanggo pertumbuhan kristal.
Sistem vakum
Fungsi utama sistem vakum yaiku nggawe lan njaga lingkungan vakum ing tungku sajrone proses pertumbuhan kristal. Udara lan gas najis ing pawon diekstrak liwat pompa vakum lan peralatan liyane kanggo nggawe tekanan gas ing pawon tekan tingkat sing sithik banget, umume ing ngisor 5TOR (torr). Iki bisa nyegah bahan silikon supaya ora dioksidasi ing suhu dhuwur lan njamin kemurnian lan kualitas pertumbuhan kristal. Ing wektu sing padha, lingkungan vakum uga kondusif kanggo njabut impurities molah malih kui sak proses wutah kristal lan Ngapikake kualitas kristal.
Sistem argon
Sistem argon nduweni peran kanggo nglindhungi lan ngatur tekanan ing tungku ing tungku kristal tunggal. Sawise vacuuming, gas argon kemurnian dhuwur (kemurnian kudu ndhuwur 6 9) kapenuhan ing pawon. Ing tangan siji, bisa nyegah udhara njaba mlebu ing pawon lan nyegah bahan silikon saka oksidasi; ing sisih liyane, ngisi gas argon bisa njaga tekanan ing tungku stabil lan nyedhiyakake lingkungan tekanan sing cocog kanggo pertumbuhan kristal. Kajaba iku, aliran gas argon uga bisa njupuk adoh panas kui sak proses wutah kristal, muter peran cooling tartamtu.
Sistem pendinginan banyu
Fungsi saka sistem cooling banyu kanggo kelangan macem-macem komponen suhu dhuwur saka pawon kristal siji kanggo mesthekake operasi normal lan urip layanan saka peralatan. Sajrone operasi tungku kristal tunggal, pemanas,krucil, elektroda lan komponen liyane bakal generate akèh panas. Yen padha ora digawe adhem ing wektu, peralatan bakal overheat, deform utawa malah rusak. Sistem pendinginan banyu ngilangi panas komponen kasebut kanthi ngedhunake banyu adhem kanggo njaga suhu peralatan ing jarak sing aman. Ing wektu sing padha, sistem cooling banyu uga bisa mbantu nyetel suhu ing pawon kanggo nambah akurasi kontrol suhu.
Sistem kontrol listrik
Sistem kontrol listrik minangka "otak" saka tungku kristal tunggal, sing tanggung jawab kanggo ngawasi lan ngontrol operasi kabeh peralatan. Bisa nampa sinyal saka macem-macem sensor, kayata sensor suhu, sensor tekanan, sensor posisi, lan liya-liyane, lan koordinasi lan ngontrol sistem transmisi mekanik, sistem kontrol suhu pemanasan, sistem vakum, sistem argon lan sistem pendinginan banyu adhedhasar sinyal kasebut. Contone, sajrone proses pertumbuhan kristal, sistem kontrol listrik bisa kanthi otomatis nyetel daya panas miturut sinyal suhu sing diwenehake dening sensor suhu; miturut wutah saka kristal, bisa ngontrol kacepetan gerakan lan amba rotasi saka kristal wiji lan crucible. Ing wektu sing padha, sistem kontrol listrik uga duwe diagnosis fault lan fungsi weker, sing bisa ndeteksi kondisi ora normal saka peralatan ing wektu lan njamin operasi aman saka peralatan.
Wektu kirim: Sep-23-2024