Minangka jinis anyar saka materi semikonduktor, SiC wis dadi bahan semikonduktor paling penting kanggo Pabrik piranti optoelektronik short-gelombang, piranti suhu dhuwur, piranti resistance radiation lan daya dhuwur / piranti elektronik daya dhuwur amarga sawijining banget fisik lan kimia. sifat listrik. Utamane nalika ditrapake ing kahanan sing ekstrem lan kasar, karakteristik piranti SiC ngluwihi piranti Si lan piranti GaAs. Mula, piranti SiC lan macem-macem jinis sensor wis mboko sithik dadi salah sawijining piranti utama, dadi peran sing luwih penting.
Piranti lan sirkuit SiC wis berkembang kanthi cepet wiwit taun 1980-an, utamane wiwit taun 1989 nalika wafer substrat SiC pisanan mlebu pasar. Ing sawetara lapangan, kayata dioda pemancar cahya, piranti daya dhuwur frekuensi dhuwur lan piranti voltase dhuwur, piranti SiC wis digunakake sacara komersial. Perkembangane cepet. Sawise pembangunan meh 10 taun, proses piranti SiC wis bisa ngasilake piranti komersial. Sawetara perusahaan sing diwakili Cree wis wiwit nawakake produk komersial piranti SiC. Institusi riset domestik lan universitas uga wis nggawe prestasi sing nyenengake ing pangembangan materi SiC lan teknologi manufaktur piranti. Sanajan materi SiC nduweni sifat fisik lan kimia sing unggul, lan teknologi piranti SiC uga diwasa, nanging kinerja piranti lan sirkuit SiC ora unggul. Saliyane materi SiC lan proses piranti kudu terus ditingkatake. More efforts kudu sijine carane njupuk kauntungan saka bahan SiC dening ngoptimalake struktur piranti S5C utawa ngusulake struktur piranti anyar.
Ing saiki. Riset piranti SiC utamane fokus ing piranti diskrit. Kanggo saben jinis struktur piranti, riset awal mung transplantasi struktur piranti Si utawa GaAs sing cocog menyang SiC tanpa ngoptimalake struktur piranti. Wiwit lapisan oksida intrinsik SiC padha karo Si, yaiku SiO2, tegese piranti Si, utamane piranti m-pa, bisa diprodhuksi ing SiC. Sanajan mung transplantasi sing prasaja, sawetara piranti sing dipikolehi wis entuk asil sing marem, lan sawetara piranti wis mlebu ing pasar pabrik.
Piranti optoelektronik SiC, utamane dioda pemancar cahya biru (BLU-ray led), wis mlebu pasar ing wiwitan taun 1990-an lan minangka piranti SiC sing diprodhuksi massal pisanan. Dioda SiC Schottky voltase dhuwur, transistor daya SiC RF, MOSFET SiC lan mesFET uga kasedhiya kanthi komersial. Mesthine, kinerja kabeh produk SiC iki adoh saka muter karakteristik super bahan SiC, lan fungsi lan kinerja piranti SiC sing luwih kuat isih kudu diteliti lan dikembangake. Transplantasi prasaja kasebut asring ora bisa ngeksploitasi kaluwihan bahan SiC kanthi lengkap. Malah ing area sawetara kaluwihan piranti SiC. Sawetara piranti SiC sing wiwitane digawe ora bisa cocog karo kinerja piranti Si utawa CaAs sing cocog.
Supaya luwih bisa ngowahi kaluwihan karakteristik materi SiC dadi kaluwihan piranti SiC, saiki kita sinau babagan cara ngoptimalake proses manufaktur piranti lan struktur piranti utawa ngembangake struktur anyar lan proses anyar kanggo nambah fungsi lan kinerja piranti SiC.
Wektu kirim: Aug-23-2022