1. Ringkesan sakasubstrat silikon karbidateknologi pangolahan
Saikisubstrat silikon karbida langkah Processing kalebu: mecah bunder njaba, slicing, chamfering, mecah, polishing, reresik, etc.. Slicing minangka langkah penting ing Processing landasan semikonduktor lan langkah tombol ing Ngonversi ingot kanggo landasan. Saiki, pemotongan sakasubstrat silikon karbidautamané nglereni kabel. Pemotongan slurry multi-kabel minangka cara pemotongan kabel sing paling apik ing saiki, nanging isih ana masalah kualitas pemotongan sing kurang apik lan mundhut pemotongan gedhe. Mundhut saka nglereni kabel bakal nambah karo Tambah saka ukuran landasan, kang ora kondusif kanggosubstrat silikon karbidamanufaktur kanggo entuk nyuda biaya lan dandan efisiensi. Ing proses nglereni8-inch silikon karbida substrate, wangun lumahing saka landasan dijupuk dening nglereni kabel miskin, lan ciri numerik kayata WARP lan BOW ora apik.
Slicing minangka langkah kunci ing manufaktur substrat semikonduktor. Industri iki terus nyoba cara nglereni anyar, kayata nglereni kabel berlian lan laser stripping. teknologi laser stripping wis Highly sought bubar. Introduksi teknologi iki nyuda mundhut nglereni lan nambah efisiensi pemotongan saka prinsip teknis. Solusi stripping laser nduweni syarat dhuwur kanggo tingkat otomatisasi lan mbutuhake teknologi tipis kanggo kerja sama, sing cocog karo arah pangembangan proses substrat silikon karbida. Hasil irisan pemotongan kabel mortir tradisional umume 1.5-1.6. Pengenalan teknologi laser stripping bisa nambah asil irisan nganti udakara 2.0 (deleng peralatan DISCO). Ing mangsa ngarep, minangka kadewasan teknologi laser stripping mundhak, asil irisan bisa luwih apik; ing wektu sing padha, laser stripping uga bisa nemen nambah efficiency slicing. Miturut riset pasar, pimpinan industri DISCO ngethok irisan ing babagan 10-15 menit, sing luwih efisien tinimbang pemotongan kabel mortir saiki 60 menit saben irisan.
Langkah-langkah proses pemotongan kabel tradisional saka substrat silikon karbida yaiku: nglereni kawat-grinding kasar-grinding sing apik-polishing kasar lan polishing alus. Sawise proses laser stripping ngganti nglereni kabel, proses thinning digunakake kanggo ngganti proses mecah, kang nyuda mundhut saka irisan-irisan lan mbenakake efficiency Processing. Proses laser stripping nglereni, mecah lan polishing saka substrat silikon karbida dipérang dadi telung langkah: lumahing laser mindhai-substrat stripping-ingot flattening: laser lumahing mindhai kanggo nggunakake ultrafast laser pulses kanggo proses lumahing ingot kanggo mbentuk dipunéwahi. lapisan ing jero ingot; landasan stripping kanggo misahake landasan ndhuwur lapisan dipunéwahi saka ingot dening cara fisik; ingot flattening kanggo mbusak lapisan dipunéwahi ing lumahing ingot kanggo mesthekake flatness saka lumahing ingot.
Proses pengupasan laser silikon karbida
2. Kemajuan internasional ing teknologi laser stripping lan perusahaan sing melu industri
Proses laser stripping pisanan diadopsi dening perusahaan jaban rangkah: Ing 2016, Jepang DISCO ngembangaken teknologi laser slicing KABRA anyar, kang mbentuk lapisan pamisahan lan misahake wafer ing ambane ditemtokake dening terus-terusan irradiating ingot karo laser, kang bisa digunakake kanggo macem-macem. jenis ingot SiC. Ing Nopember 2018, Infineon Technologies ndarbeni Siltectra GmbH, wiwitan nglereni wafer, kanthi rega 124 yuta euro. Sing terakhir ngembangake proses Cold Split, sing nggunakake teknologi laser sing dipatenake kanggo nemtokake jarak pamisahan, jas bahan polimer khusus, sistem kontrol pendinginan sing diakibatake stres, bahan pamisah kanthi akurat, lan tlatah lan resik kanggo nglereni wafer.
Ing taun-taun pungkasan, sawetara perusahaan domestik uga mlebu ing industri peralatan laser stripping: perusahaan utama yaiku Han's Laser, Delong Laser, Instrumen West Lake, Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation lan Institut Semikonduktor Akademi Ilmu Pengetahuan Cina. Antarane wong-wong mau, perusahaan kadhaptar Han Laser lan Delong Laser wis ing tata letak kanggo dangu, lan produk sing lagi diverifikasi dening pelanggan, nanging perusahaan wis akeh baris produk, lan peralatan laser stripping mung siji saka bisnis. Produk saka lintang munggah kayata West Lake Instrument wis entuk kiriman pesenan resmi; Universal Intelligence, China Electronics Technology Group Corporation 2, Institut Semikonduktor Akademi Ilmu Pengetahuan Cina lan perusahaan liyane uga wis ngetokake kemajuan peralatan.
3. Faktor nyopir kanggo pangembangan teknologi laser stripping lan irama introduksi pasar
Pengurangan rega substrat karbida silikon 6-inci nyebabake pangembangan teknologi laser stripping: Saiki, rega substrat karbida silikon 6-inch wis mudhun ing ngisor 4.000 yuan / potongan, nyedhaki rega biaya sawetara manufaktur. Proses laser stripping nduweni tingkat ngasilake dhuwur lan untung sing kuat, sing ndadekake tingkat penetrasi teknologi laser stripping mundhak.
Penipisan substrat karbida silikon 8-inci nyebabake pangembangan teknologi laser stripping: Kekandelan substrat karbida silikon 8-inch saiki 500um, lan dikembangake kanthi ketebalan 350um. Proses nglereni kabel ora efektif ing pangolahan silikon karbida 8-inch (lumahing landasan ora apik), lan nilai BOW lan WARP wis rusak banget. Laser stripping dianggep minangka teknologi pangolahan sing dibutuhake kanggo pangolahan substrat silikon karbida 350um, sing ndadekake tingkat penetrasi teknologi laser stripping mundhak.
Pangarepan pasar: SiC substrate laser stripping peralatan entuk manfaat saka expansion saka 8-inch SiC lan abang biaya 6-inch SiC. Titik kritis industri saiki wis nyedhak, lan pangembangan industri bakal cepet banget.
Wektu kirim: Jul-08-2024