CARA nggawe WAFER SILIKON

CARA nggawe WAFER SILIKON

A waferyaiku irisan silikon kira-kira 1 milimeter sing nduweni permukaan sing rata banget amarga prosedur sing sacara teknis banget nuntut. Panggunaan sabanjure nemtokake prosedur tuwuh kristal sing kudu ditindakake. Ing proses Czochralski, contone, silikon polikristalin dilebur lan kristal wiji tipis potlot dicelupake ing silikon cair. Kristal wiji banjur diputer lan ditarik alon-alon munggah. A colossus abot banget, monocrystal, asil. Sampeyan bisa milih karakteristik listrik monocrystal kanthi nambahake unit cilik dopan kemurnian dhuwur. Kristal didoping sesuai karo spesifikasi pelanggan banjur dipoles lan dipotong dadi irisan. Sawise macem-macem langkah produksi tambahan, pelanggan nampa wafer sing ditemtokake ing kemasan khusus, sing ngidini pelanggan nggunakake wafer langsung ing jalur produksi.

PROSES CZOCHRALSKI

Dina iki, bagean gedhe saka monocrystals silikon sing thukul miturut proses Czochralski, kang melu leleh polycrystalline silikon kemurnian dhuwur ing crucible kuarsa hyperpure lan nambah dopant (biasane B, P, As, Sb). Kristal wiji monocrystalline tipis dicelupake ing silikon cair. Kristal CZ gedhe banjur berkembang saka kristal tipis iki. Angger-angger sing tepat saka suhu lan aliran silikon molten, rotasi kristal lan crucible, uga kacepetan narik kristal ngasilake ingot silikon monocrystalline kualitas dhuwur banget.

METODE FLOAT ZONE

Monocrystals sing diprodhuksi miturut metode zona ngambang becik digunakake ing komponen semikonduktor daya, kayata IGBT. Ingot silikon polycrystalline silinder dipasang ing kumparan induksi. Medan elektromagnetik frekuensi radio mbantu nyawiji silikon saka sisih ngisor rod. Medan elektromagnetik ngatur aliran silikon liwat bolongan cilik ing kumparan induksi lan menyang monocrystal sing dumunung ing ngisor (metode zona ngambang). Doping, biasane karo B utawa P, digayuh kanthi nambahake zat gas.