Sajrone proses epitaxy fase uap (VPE), peran pedestal yaiku ndhukung substrat lan njamin pemanasan seragam sajrone proses pertumbuhan. Jinis pedestal sing beda-beda cocog kanggo kahanan pertumbuhan lan sistem materi sing beda. Ing ngisor iki sawetara jinis pedestal sing umum digunakake ing fase uapepitaksi:
Alas laras
Pedestal barel umume digunakake ing sistem epitaksi fase uap horisontal utawa miring. Padha bisa nahan landasan lan ngidini gas kanggo mili liwat landasan, kang mbantu kanggo entuk wutah epitaxial seragam.
Alas cakram (tunjang vertikal)
Pedestal berbentuk cakram cocok kanggo sistem epitaksi fase uap vertikal, ing endi substrate dipasang kanthi vertikal. Desain iki mbantu nyuda area kontak antarane substrat lan susceptor, saéngga nyuda mundhut panas lan potensial kontaminasi.
Suseptor horisontal
Susceptor horisontal kurang umum ing epitaksi fase uap, nanging bisa digunakake ing sawetara sistem pertumbuhan khusus kanggo ngidini pertumbuhan epitaxial ing arah horisontal.
Susceptor reaksi epitaxial monolitik
Susceptor reaksi epitaxial monolithic dirancang kanggo substrat siji, sing bisa nyedhiyakake kontrol suhu sing luwih tepat lan isolasi termal sing luwih apik, cocok kanggo pertumbuhan lapisan epitaxial sing berkualitas tinggi.
Sugeng rawuh ing situs web kita kanggo informasi lan konsultasi produk.
Situs web kita: https://www.vet-china.com/
Wektu kirim: Jul-30-2024