Bahan sing disenengi kanggo bagean tliti mesin fotolitografi
Ing lapangan semikonduktor,Keramik silikon karbidabahan utamane digunakake ing peralatan utama kanggo manufaktur sirkuit terpadu, kayata meja kerja silikon karbida, rel pandhuan,reflektor, chuck nyedhot keramik, lengen, cakram mecah, perlengkapan, lan sapiturute kanggo mesin litografi.
Bagian keramik silikon karbidakanggo peralatan semikonduktor lan optik
● Silicon carbide Keramik mecah disc. Yen cakram mecah digawe saka wesi utawa baja karbon, urip layanan cendhak lan koefisien expansion termal gedhe. Sajrone pangolahan wafer silikon, utamane sajrone nggiling utawa polishing kanthi kacepetan dhuwur, nyandhang lan deformasi termal saka cakram penggilingan nggawe angel kanggo mesthekake flatness lan paralelisme wafer silikon. Cakram penggilingan sing digawe saka keramik karbida silikon nduweni kekerasan dhuwur lan nyandhang kurang, lan koefisien ekspansi termal padha karo wafer silikon, saengga bisa digiling lan dipoles kanthi cepet.
● Perlengkapan keramik silikon karbida. Kajaba iku, nalika wafer silikon diprodhuksi, dheweke kudu ngalami perawatan panas suhu dhuwur lan asring diangkut nggunakake peralatan karbida silikon. Padha tahan panas lan ora ngrusak. Karbon kaya Diamond (DLC) lan lapisan liyane bisa ditrapake ing permukaan kanggo nambah kinerja, ngenthengake karusakan wafer, lan nyegah kontaminasi nyebar.
● Meja kerja silikon karbida. Njupuk meja kerja ing mesin litografi minangka conto, meja kerja utamane tanggung jawab kanggo ngrampungake gerakan eksposur, mbutuhake gerakan ultra-presisi tingkat nano kanthi kacepetan dhuwur, stroke gedhe, enem derajat kebebasan. Contone, kanggo mesin litografi kanthi resolusi 100nm, akurasi overlay 33nm, lan jembar garis 10nm, akurasi posisi meja kerja kudu tekan 10nm, wafer topeng-silikon kanthi mlaku lan kacepetan mindhai yaiku 150nm / s. lan 120nm / s mungguh, lan kacepetan mindhai topeng cedhak 500nm / s, lan meja kerja dibutuhake akurasi lan stabilitas gerakan sing dhuwur banget.
Diagram skematik meja kerja lan tabel gerakan mikro (bagean parsial)
● Silicon carbide keramik kothak mirror. Komponen utama ing peralatan sirkuit terpadu tombol kayata mesin litografi duwe wangun Komplek, dimensi Komplek, lan struktur entheng kothong, nggawe angel kanggo nyiyapake komponen keramik silikon karbida kuwi. Saiki, manufaktur peralatan sirkuit terpadu internasional mainstream, kayata ASML ing Walanda, NIKON lan CANON ing Jepang, nggunakake jumlah gedhe saka bahan kayata kaca microcrystalline lan cordierite kanggo nyiapake mirrors kothak, komponen inti mesin lithography, lan nggunakake silikon karbida. keramik kanggo nyiapake komponen struktural kinerja dhuwur liyane karo wangun prasaja. Nanging, ahli saka China Building Materials Research Institute wis nggunakake teknologi preparation eksklusif kanggo entuk preparation saka gedhe-ukuran, wangun Komplek, banget entheng, kanthi terlampir silikon carbide mirrors kothak keramik lan komponen optik struktural lan fungsional liyane kanggo mesin litografi.
Wektu kirim: Oct-10-2024