Sasaran sputteringUtamane digunakake ing industri elektronik lan informasi, kayata sirkuit terpadu, panyimpenan informasi, tampilan kristal cair, kenangan laser, piranti kontrol elektronik, lan liya-liyane. bahan, resistance karat suhu dhuwur, produk hiasan dhuwur-mburi lan industri liyane.
Sputtering minangka salah sawijining teknik utama kanggo nyiapake bahan film tipis.Iki nggunakake ion sing diasilake dening sumber ion kanggo nyepetake lan nglumpukake ing vakum kanggo mbentuk sinar ion energi kacepetan dhuwur, ngebom permukaan padat, lan ngganti energi kinetik antarane ion lan atom permukaan padat. Atom-atom ing permukaan padhet ninggalake padhet lan disimpen ing permukaan substrat. Bahan padhet sing dibombardir yaiku bahan mentah kanggo nyimpen film tipis kanthi sputtering, sing diarani sputtering target. Macem-macem jinis bahan film tipis sputtered wis digunakake akeh ing sirkuit terpadu semikonduktor, media rekaman, tampilan panel datar lan lapisan permukaan workpiece.
Ing antarane kabeh industri aplikasi, industri semikonduktor nduweni syarat kualitas sing paling ketat kanggo film target sputtering.Target sputtering logam kemurnian dhuwur utamane digunakake ing manufaktur wafer lan proses kemasan lanjut. Minangka conto manufaktur chip, kita bisa ndeleng manawa saka wafer silikon dadi chip, kudu ngliwati 7 proses produksi utama, yaiku difusi (Proses Termal), Foto-litografi (Photo-litografi), Etch (Etch), Ion Implantation (IonImplant), Thin Film Growth (Dielectric Deposition), Chemical Mechanical Polishing (CMP), Metalization (Metalization) Proses kasebut cocog siji-siji. Target sputtering digunakake ing proses "metallization". Target kasebut dibombardir karo partikel energi dhuwur kanthi peralatan deposisi film tipis lan banjur lapisan logam kanthi fungsi khusus dibentuk ing wafer silikon, kayata lapisan konduktif, lapisan penghalang. Enteni. Wiwit pangolahan kabeh semikonduktor beda-beda, banjur sawetara kahanan sok-sok dibutuhake kanggo verifikasi sistem wis ana kanthi bener, mula kita njaluk sawetara jinis bahan goblok ing tahap produksi tartamtu kanggo ngonfirmasi efek kasebut.
Wektu kirim: Jan-17-2022