Energi VETPembawa grafit proses PECVD minangka bahan konsumsi berkualitas tinggi sing dirancang kanggo proses PECVD (deposisi uap kimia sing ditingkatake plasma). Operator grafit iki digawe saka bahan grafit kanthi kemurnian dhuwur, kanthi kapadhetan dhuwur, kanthi tahan suhu dhuwur, tahan korosi, stabilitas dimensi lan karakteristik liyane, bisa nyedhiyakake platform operator sing stabil kanggo proses PECVD, kanggo njamin keseragaman lan kerata film tipis. deposisi.
Pembawa grafit kanggo proses PECVD nduweni karakteristik ing ngisor iki:
▪ Kemurnian dhuwur: isi impurity banget kurang, ngindhari kontaminasi film lan njamin kualitas film.
▪ Kapadhetan dhuwur: Kapadhetan dhuwur, kekuatan mekanik sing dhuwur, bisa tahan suhu dhuwur lan lingkungan PECVD tekanan dhuwur.
▪ Stabilitas dimensi sing apik: owah-owahan dimensi cilik ing suhu dhuwur, njamin stabilitas proses.
▪ Konduktivitas termal sing apik banget: mindhah panas kanthi efektif kanggo nyegah overheating wafer.
▪ Tahan karat sing kuat: bisa nahan erosi dening macem-macem gas korosif lan plasma.
▪ Layanan sing disesuaikan: operator grafit kanthi ukuran lan wujud sing beda-beda bisa disesuaikan miturut kabutuhan pelanggan.
Bahan grafit saka SGL:
Parameter khas: R6510 | |||
Indeks | Standar tes | Nilai | Unit |
Ukuran gandum rata-rata | ISO 13320 | 10 | μm |
Kapadhetan akeh | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Porositas mbukak | DIN66133 | 10 | % |
Ukuran pori medium | DIN66133 | 1.8 | μm |
Permeabilitas | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Rockwell atose HR5/100 | DIN IEC 60413/303 | 90 | HR |
Resistivitas listrik spesifik | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Kekuatan lentur | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Kekuwatan kompresif | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modulus Young | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
Ekspansi termal (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Konduktivitas termal (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Iki dirancang khusus kanggo manufaktur sel surya kanthi efisiensi dhuwur, ndhukung pangolahan wafer ukuran gedhe G12. Desain operator sing dioptimalake kanthi signifikan nambah throughput, mbisakake tingkat asil sing luwih dhuwur lan biaya produksi sing luwih murah.
Item | Jinis | Nomer wafer operator |
PEVCD Grephite boat - Seri 156 | 156-13 prau grephite | 144 |
156-19 prau grephite | 216 | |
156-21 prau grephite | 240 | |
156-23 prau grafit | 308 | |
PEVCD Grephite boat - Seri 125 | 125-15 prau grephite | 196 |
125-19 prau grephite | 252 | |
125-21 prau grphite | 280 |