syarat industri Semikonduktor syarat materi grafit utamané dhuwur, ukuran partikel nggoleki grafit wis tliti dhuwur, resistance suhu dhuwur, kekuatan dhuwur, mundhut cilik lan kaluwihan liyane, kayata: produk grafit sintered jamur.Amarga peralatan grafit sing digunakake ing industri semikonduktor (kalebu pemanas lan mati sing disinter) kudu tahan proses pemanasan lan pendinginan sing bola-bali, supaya bisa nambah umur layanan peralatan grafit, biasane bahan grafit sing digunakake duwe kinerja sing stabil. lan fungsi impact tahan panas.
01 Aksesoris grafit kanggo pertumbuhan kristal semikonduktor
Kabeh proses sing digunakake kanggo tuwuh kristal semikonduktor beroperasi ing suhu dhuwur lan lingkungan korosif. Zona panas saka tungku wutah kristal biasane dilengkapi karo komponen grafit kemurnian dhuwur-tahan panas lan karat-tahan, kayata mesin ingkang ndamel benter, crucible, insulasi silinder, guide silinder, elektroda, nduwèni crucible, nut elektroda, etc.
Kita bisa nggawe kabeh bagean grafit saka piranti produksi kristal, sing bisa diwenehake kanthi individu utawa ing set, utawa bagean grafit sing disesuaikan saka macem-macem ukuran miturut syarat pelanggan. Ukuran produk bisa diukur ing situs, lan isi awu produk rampung bisa kurangluwih 5ppm.
02 Aksesoris grafit kanggo epitaksi semikonduktor
Proses epitaxial nuduhake pertumbuhan lapisan saka materi kristal tunggal kanthi susunan kisi sing padha karo substrat ing substrat kristal tunggal. Ing proses epitaxial, wafer dimuat ing disk grafit. Kinerja lan kualitas disk grafit nduweni peran penting ing kualitas lapisan epitaxial wafer. Ing bidang produksi epitaxial, akeh grafit kemurnian ultra-dhuwur lan basa grafit kemurnian dhuwur kanthi lapisan SIC dibutuhake.
Dasar grafit perusahaan kita kanggo epitaxy semikonduktor nduweni macem-macem aplikasi, bisa cocog karo peralatan sing umum digunakake ing industri, lan nduweni kemurnian dhuwur, lapisan seragam, umur layanan sing apik, lan tahan kimia sing dhuwur lan stabilitas termal.
03 Aksesoris grafit kanggo implantasi ion
Implantasi ion nuduhake proses nyepetake sinar plasma boron, fosfor lan arsenik menyang energi tartamtu, lan banjur nyuntikake menyang lapisan permukaan materi wafer kanggo ngganti sifat materi saka lapisan permukaan. Komponen piranti implantasi ion kudu digawe saka bahan kemurnian dhuwur kanthi tahan panas banget, konduktivitas termal, kurang karat sing disebabake dening sinar ion lan isi impurity sing kurang. Grafit kemurnian dhuwur nyukupi syarat aplikasi, lan bisa digunakake kanggo tabung penerbangan, macem-macem celah, elektroda, tutup elektroda, saluran, terminator sinar, lan liya-liyane saka peralatan implantasi ion.
Kita ora mung bisa nyedhiyakake tutup pelindung grafit kanggo macem-macem mesin implantasi ion, nanging uga nyedhiyakake elektroda grafit kemurnian dhuwur lan sumber ion kanthi resistensi korosi sing dhuwur saka macem-macem spesifikasi. Model sing ditrapake: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM lan peralatan liyane. Kajaba iku, kita uga bisa nyedhiyani cocog Keramik, tungsten, molybdenum, produk aluminium lan bagean ditutupi.
04 Bahan insulasi grafit lan liya-liyane
Bahan insulasi termal sing digunakake ing peralatan produksi semikonduktor kalebu grafit hard felt, soft felt, grafit foil, kertas grafit, lan tali grafit.
Kabeh bahan mentahan kita diimpor grafit, kang bisa Cut miturut ukuran tartamtu saka syarat customer utawa didol minangka kabèh.
Baki karbon-karbon digunakake minangka pembawa lapisan film ing proses produksi silikon monocrystalline solar lan sel silikon polikristalin. Prinsip kerjane yaiku: lebokake chip silikon menyang tray CFC lan dikirim menyang tabung tungku kanggo ngolah lapisan film.
