Cincin Grafit Dilapisi Silikon Karbida CVD

CVD Silicon Carbide Coated Graphite Ring Featured Image

Katrangan singkat:

VET Energy silikon karbida dilapisi dering grafit minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

Kirimi email kanggo kita Ngundhuh minangka PDF

Detail Produk

Tag produk

Sifat-sifat Khas Bahan Grafit Dasar:

Kapadhetan katon:	1,85 g/cm3
Resistivitas listrik:	11 μΩm
Kekuatan lentur:	49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan pantai:	58
awu:	<5ppm
Konduktivitas termal:	116 W/mK (100 kkal/mhr- ℃)

Kita nyedhiyakake macem-macem susceptor lan komponen grafit kanggo kabeh reaktor epitaksi saiki. Produk kita kalebu susceptor barel kanggo unit LPE, susceptor pancake kanggo unit LPE, CSD, lan Gemini, lan susceptor wafer tunggal kanggo unit terapan lan ASM.

Kanthi nggabungake kemitraan sing kuat karo OEM sing unggul, keahlian bahan lan kawruh manufaktur, dokter kewan nawakake desain sing paling optimal kanggo aplikasi sampeyan.

VET Energy punika ingProdusen nyata produk grafit lan silikon karbida khusus kanthi lapisan CVD,bisa nyedhiyakakemacem-macembagean selaras kanggo industri semikonduktor lan photovoltaic. Otim teknis ur asalé saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa nyedhiyani solusi materi luwih profesionalkanggo sampeyan.

Features produk kita:

1. Resistance oksidasi suhu dhuwur nganti 1700℃.
2. Kemurnian dhuwur lankeseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. kekerasan dhuwur, lumahing kompak, partikel alus.
5. Urip layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Kapadhetan	3,21 g/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（500g beban）
晶粒大小 / Ukuran Gandum	2~10μm
纯度 / Kemurnian Kimia	99.99995%
热容 / Kapasitas panas	640 J·kg^-1· K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700 ℃
抗弯强度 / Kekuwatan lentur	415 MPa RT 4-titik
杨氏模量 / Modulus Muda	430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃
导热系数 / ThermalKonduktivitas	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4.5×10^-6K^-1