単結晶炉の熱分野になぜグラファイトが必要なのか

縦型単結晶炉の熱システムは熱場とも呼ばれます。グラファイト熱場システムの機能とは、シリコン材料を溶解し、単結晶の成長を一定の温度に保つためのシステム全体を指します。簡単に言えば完成品ですグラファイト加熱システム単結晶シリコン引上げ用。

グラファイト熱場には一般に次のものが含まれます。(グラファイト材質)プレッシャーリング、絶縁カバー、上、中、下絶縁カバー、黒鉛るつぼ(三花弁るつぼ)、るつぼ支持棒、るつぼトレイ、電極、ヒーター、ガイドチューブ、グラファイトボルト、シリコンの漏れを防ぐために、炉の底部、金属電極、サポートロッドにはすべて保護板と保護カバーが装備されています。

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熱分野でグラファイト電極を使用する主な理由はいくつかあります。

優れた導電性

グラファイトは優れた導電性を備えており、熱場で効率的に電流を流すことができます。熱場が作用している場合、熱を発生させるために電極に強い電流を流す必要があります。グラファイト電極は、電流が安定して流れることを保証し、エネルギー損失を低減し、熱場を迅速に加熱して必要な動作温度に到達させることができます。回路に高品質のワイヤを使用するのと同じように、グラファイト電極は熱場に遮るもののない電流チャネルを提供し、熱場の正常な動作を保証できると想像できます。

高温耐性

熱場は通常、高温環境で動作し、グラファイト電極は非常に高い温度に耐えることができます。黒鉛の融点は非常に高く、一般に 3000℃以上であるため、高温の熱場でも安定した構造と性能を維持でき、高温による軟化、変形、溶融が起こりません。長期間の高温作業条件下でも、グラファイト電極は確実に機能し、熱場を継続的に加熱できます。

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化学的安定性

グラファイトは高温での化学的安定性に優れており、熱場で他の物質と化学反応しにくいです。熱場では、さまざまなガス、溶融金属、その他の化学物質が存在する可能性がありますが、グラファイト電極はこれらの物質の浸食に耐え、自身の完全性と性能を維持できます。この化学的安定性により、熱分野でのグラファイト電極の長期使用が保証され、化学反応による電極の損傷や交換頻度が軽減されます。

機械的強度

グラファイト電極は一定の機械的強度を備えており、熱場のさまざまな応力に耐えることができます。熱場の設置、使用、メンテナンス中に、電極は設置時のクランプ力や熱膨張による応力などの外力を受ける可能性があります。グラファイト電極の機械的強度により、これらの条件下でも安定した状態を維持できます。応力がかかり、壊れたり損傷したりするのは簡単ではありません。

費用対効果

コストの観点から見ると、グラファイト電極は比較的経済的です。グラファイトは豊富な天然資源であり、採掘コストと加工コストが比較的低いです。同時に、グラファイト電極は長い耐用年数と信頼性の高い性能を備えているため、電極を頻繁に交換するコストが削減されます。したがって、熱場でグラファイト電極を使用すると、性能を確保しながら製造コストを削減できます。


投稿日時: 2024 年 9 月 23 日
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