グラファイトディスクの概要

SICコーティングされた石研削ベースは、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸、アルカリ、塩および有機試薬、安定した物理的および化学的機能の特性を備えています。高純度黒鉛と比較して、高純度黒鉛は400℃で激しい酸化が始まり、たとえ温度が高くなくても、長期使用では酸化や粉体が発生し、ワークピースやテーブル、または使用環境の汚染に依存します。したがって、SICコーティンググラファイトベースは新しいMOCVD装置として、粉末焼結プロセスが徐々に高純度グラファイトに取って代わります。

主な特徴:

1.高温酸化防止剤：酸化防止剤、1600℃もの高温でも抗酸化機能は依然として非常に優れています。

2.高純度：高温塩素化条件下での化学蒸着法によって得られます。

3.耐浸食性：高硬度、緻密な表面、微粒子。

耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

5. SIC 表面層は、面心立方晶である β-炭化ケイ素です。