半導体グラファイト

半導体業界の黒鉛材料の要求は特に高く、黒鉛の微粒子サイズは高精度、高温耐性、高強度、小さな損失などの利点を備えています。焼結黒鉛製品の金型など。半導体産業で使用されるグラファイト機器（ヒーターおよびその焼結ダイを含む）は、繰り返しの加熱および冷却プロセスに耐える必要があるため、グラファイト機器の耐用年数を延ばすためには、通常、使用されるグラファイト材料が安定した性能を有することが要求されます。そして耐熱衝撃機能。

01 半導体結晶成長用グラファイトアクセサリー

半導体結晶の成長に使用されるすべてのプロセスは、高温と腐食性の環境下で行われます。結晶成長炉のホットゾーンには通常、ヒーター、るつぼ、絶縁シリンダー、ガイドシリンダー、電極、るつぼホルダー、電極ナットなどの耐熱性と耐食性を備えた高純度黒鉛部品が装備されています。

当社は、結晶製造装置のすべてのグラファイト部品を個別またはセットで供給することができ、またお客様の要件に応じてさまざまなサイズのカスタマイズされたグラファイト部品を製造することができます。製品のサイズを現場で測定でき、完成品の灰分を少なくすることができます。5ppm以上。

02 半導体エピタキシー用グラファイトアクセサリー

エピタキシャルプロセスとは、単結晶基板上に基板と同じ格子配置を持つ単結晶材料の層を成長させることを指します。エピタキシャルプロセスでは、ウェーハはグラファイトディスク上にロードされます。グラファイトディスクの性能と品質は、ウェーハのエピタキシャル層の品質に重要な役割を果たします。エピタキシャル生産の分野では、大量の超高純度グラファイトとSICコーティングを施した高純度グラファイトベースが必要です。

当社の半導体エピタキシー用グラファイトベースは幅広い用途があり、業界で一般的に使用されているほとんどの装置に適合し、高純度、均一なコーティング、優れた耐用年数、高い耐薬品性と熱安定性を備えています。

03 イオン注入用グラファイトアクセサリー

イオン注入とは、ホウ素、リン、ヒ素のプラズマビームを一定のエネルギーまで加速し、ウェーハ材料の表面層に注入して表面層の材料特性を変化させるプロセスを指します。イオン注入装置の構成部品は、耐熱性、熱伝導性に優れ、イオンビームによる腐食が少なく、不純物の含有量が少ない高純度の材料を使用する必要があります。高純度グラファイトは用途要件を満たしており、イオン注入装置のフライトチューブ、各種スリット、電極、電極カバー、コンジット、ビームターミネーターなどに使用可能です。

各種イオン注入装置のグラファイトシールドカバーはもちろん、高純度グラファイト電極や耐食性の高いイオン源も各種仕様でご提供可能です。適用モデル: Eaton、Azcelis、Quatum、Varian、Nissin、AMAT、LAM およびその他の機器。さらに、適合するセラミック、タングステン、モリブデン、アルミニウム製品およびコーティング部品も提供できます。