מדוע אנו משתמשים בסרט UV לחיתוך קוביות? | VET Energy

לאחר הרָקִיקעבר את התהליך הקודם, הכנת הצ'יפס הושלמה, ויש לחתוך אותו כדי להפריד את הצ'יפס שעל הפרוסה, ולבסוף לארוז. הרָקִיקגם תהליך החיתוך שנבחר עבור פרוסות בעוביים שונים שונה:

▪ופליםעם עובי של יותר מ 100um נחתכים בדרך כלל עם להבים;

▪ופליםעם עובי של פחות מ 100um נחתכים בדרך כלל עם לייזרים. חיתוך בלייזר יכול להפחית את הבעיות של קילוף ופיצוח, אך כאשר הוא מעל 100um, יעילות הייצור תפחת מאוד;

▪ופליםעם עובי של פחות מ 30um נחתכים עם פלזמה. חיתוך פלזמה מהיר ולא יפגע בפני השטח של הפרוסה, ובכך ישפר את התשואה, אך התהליך שלו מסובך יותר;

במהלך תהליך חיתוך הפרוסים, יונח סרט על הפרוסה מראש כדי להבטיח "החתמה" בטוחה יותר. הפונקציות העיקריות שלו הן כדלקמן.

תקן והגן על הוופל

במהלך פעולת החיתוך, יש לחתוך את הפרוסה במדויק.ופליםהם בדרך כלל דקים ושבירים. סרט UV יכול להדביק בחוזקה את הפרוסה למסגרת או לשלב הפרוסה כדי למנוע מהוופר להזיז ולנער במהלך תהליך החיתוך, מה שמבטיח את הדיוק והדיוק של החיתוך.
זה יכול לספק הגנה פיזית טובה לפרוסה, למנוע נזק לרָקִיקנגרמת על ידי השפעת כוח חיצוני וחיכוך שעלולים להתרחש במהלך תהליך החיתוך, כגון סדקים, קריסת קצה ופגמים אחרים, ומגנים על מבנה השבב והמעגל על ​​פני השטח של הפרוסה.

פעולת חיתוך נוחה

לסרט UV יש גמישות וגמישות מתאימות, והוא יכול להתעוות בצורה מתונה כאשר להב החיתוך חותך פנימה, מה שהופך את תהליך החיתוך לחלק יותר, מפחית את ההשפעות השליליות של התנגדות החיתוך על הלהב והרקיק, ועוזר לשפר את איכות החיתוך ואת חיי השירות של הלהב. מאפייני פני השטח שלו מאפשרים לפסולת שנוצרת מחיתוך להיצמד לסרט בצורה טובה יותר מבלי להתיז מסביב, מה שנוח לניקוי לאחר מכן של אזור החיתוך, שמירה על סביבת העבודה נקייה יחסית, והימנעות מפסולת מלזהם או להפריע לופל וציוד אחר. .

קל לטפל מאוחר יותר

לאחר חיתוך הוואפר, ניתן להפחית במהירות את צמיגות סרט ה-UV או אפילו לאבד אותו לחלוטין על ידי הקרנתו באור אולטרה סגול באורך גל ועוצמה ספציפיים, כך שניתן להפריד בקלות את השבב החתוך מהסרט, וזה נוח להמשך אריזת שבבים, בדיקות וזרימות תהליכים אחרות, ולתהליך ההפרדה הזה יש סיכון נמוך מאוד לפגיעה בשבב.