מהו ציפוי סיליקון קרביד?

ציפוי סיליקון קרביד,הידוע בכינויו ציפוי SiC, מתייחס לתהליך של מריחת שכבת סיליקון קרביד על משטחים באמצעות שיטות כגון כימיקלים באדים (CVD), פיסי אדים (PVD) או ריסוס תרמי. ציפוי קרמי סיליקון קרביד זה משפר את תכונות פני השטח של מצעים שונים על ידי הקניית עמידות בפני שחיקה יוצאת דופן, יציבות תרמית והגנה מפני קורוזיה. SiC ידוע במאפיינים הפיזיקליים והכימיים הבולטים שלו, לרבות נקודת התכה גבוהה (כ 2700℃), קשיות קיצונית (Mohs סקאלה 9), עמידות מצוינת בפני קורוזיה וחמצון וביצועי אבלציה יוצאי דופן.

היתרונות העיקריים של ציפוי סיליקון קרביד ביישומים תעשייתיים

בשל תכונות אלה, ציפוי סיליקון קרביד נמצא בשימוש נרחב בתחומים כגון תעופה וחלל, ציוד נשק ועיבוד מוליכים למחצה. בסביבות קיצוניות, במיוחד בטווח של 1800-2000℃, ציפוי SiC מפגין יציבות תרמית יוצאת דופן ועמידות אבלטיבית, מה שהופך אותו לאידיאלי עבור יישומים בטמפרטורה גבוהה. עם זאת, סיליקון קרביד לבדו חסר את השלמות המבנית הדרושה ליישומים רבים, ולכן שיטות ציפוי משמשות כדי למנף את התכונות הייחודיות שלו מבלי להתפשר על חוזק הרכיבים. בייצור מוליכים למחצה, אלמנטים מצופים סיליקון קרביד מספקים הגנה אמינה ויציבות ביצועים בתוך ציוד המשמש בתהליכי MOCVD.

שיטות נפוצות להכנת ציפוי סיליקון קרביד

Ⅰ● ציפוי סיליקון קרביד (CVD Chemical Vapor Deposition).

בשיטה זו, ציפויים SiC נוצרים על ידי הצבת מצעים בתא תגובה, שבו מתילטריכלורוסילאן (MTS) משמש כמבשר. בתנאים מבוקרים - בדרך כלל 950-1300 מעלות צלזיוס ולחץ שלילי - ה-MTS עובר פירוק, וסיליקון קרביד מופקד על פני השטח. תהליך ציפוי CVD SiC זה מבטיח ציפוי צפוף ואחיד עם הידבקות מעולה, אידיאלי ליישומים בעלי דיוק גבוה במגזרי מוליכים למחצה ותעופה וחלל.

Ⅱ● שיטת המרת קדם (הספגה ופירוליזה בפולימר - PIP)

גישה יעילה נוספת לציפוי ריסוס סיליקון קרביד היא שיטת המרת הפרקורסורים, הכוללת טבילה של המדגם שטופל מראש בתמיסת קדם קרמית. לאחר שאיבת אבק מיכל ההספגה ולחץ על הציפוי, הדגימה מחוממת, מה שמוביל להיווצרות ציפוי סיליקון קרביד עם הקירור. שיטה זו מועדפת עבור רכיבים הדורשים עובי ציפוי אחיד ועמידות משופרת לבלאי.

מאפיינים פיזיים של ציפוי סיליקון קרביד

ציפויי סיליקון קרביד מציגים תכונות שהופכות אותם לאידיאליים עבור יישומים תעשייתיים תובעניים. נכסים אלה כוללים:

מוליכות תרמית: 120-270 W/m·K
מקדם התפשטות תרמית: 4.3 × 10^^(-6)/K (ב-20~800℃)
התנגדות חשמלית: 10^⁵– 10^⁶Ω·ס"מ
קשיות: סולם Mohs 9

יישומים של ציפוי סיליקון קרביד

בייצור מוליכים למחצה, ציפוי סיליקון קרביד עבור MOCVD ותהליכים אחרים בטמפרטורה גבוהה מגן על ציוד קריטי, כגון כורים וקולטים, על ידי מתן עמידות בטמפרטורה גבוהה ויציבות. בתעופה וחלל ובהגנה, ציפוי קרמי סיליקון קרביד מיושם על רכיבים שחייבים לעמוד בפני פגיעות במהירות גבוהה וסביבות קורוזיביות. יתר על כן, ניתן להשתמש בצבע או בציפויים של סיליקון קרביד גם על מכשירים רפואיים הדורשים עמידות בהליכי עיקור.

למה לבחור ציפוי סיליקון קרביד?

עם רקורד מוכח בהארכת חיי רכיבים, ציפויי סיליקון קרביד מספקים עמידות ויציבות טמפרטורה ללא תחרות, מה שהופך אותם לחסכוניים לשימוש ארוך טווח. על ידי בחירת משטח מצופה סיליקון קרביד, תעשיות נהנות מירידה בעלויות התחזוקה, אמינות ציוד משופרת ויעילות תפעולית משופרת.

למה לבחור ב-VET ENERGY?

VET ENERGY היא יצרנית ומפעל מקצועי של מוצרי ציפוי סיליקון קרביד בסין. מוצרי ציפוי SiC העיקריים כוללים מחמם ציפוי קרבי סיליקון קרביד,CVD סיליקון קרביד ציפוי MOCVD סופסור, מנשא גרפיט MOCVD עם ציפוי CVD SiC, מנשאי בסיס גרפיט מצופים SiC, מצע גרפיט מצופה סיליקון קרביד עבור מוליכים למחצה,ציפוי SiC / מצע גרפיט מצופה / מגש עבור מוליכים למחצה, CVD SiC מצופה פחמן-פחמן מרוכב CFC תבנית סירה. VET ENERGY מחויבת לספק טכנולוגיה מתקדמת ופתרונות מוצר לתעשיית המוליכים למחצה. אנו מאוד מקווים להפוך לשותף שלך לטווח ארוך בסין.