מהו ציפוי sic?

סיליקון קרבידהוא תרכובת קשה המכילה סיליקון ופחמן, ונמצאת בטבע כמינרל המויסניט הנדיר ביותר. חלקיקי סיליקון קרביד יכולים להיות מחוברים זה לזה על ידי סינטר ליצירת קרמיקה קשה מאוד, הנמצאת בשימוש נרחב ביישומים הדורשים עמידות גבוהה, במיוחד בתהליכי מוליכים למחצה.

מבנה פיזי של SiC

מהו ציפוי SiC?

ציפוי SiC הוא ציפוי סיליקון קרביד צפוף ועמיד בפני שחיקה עם עמידות גבוהה בפני קורוזיה וחום ומוליכות תרמית מצוינת. ציפוי SiC בעל טוהר גבוה זה משמש בעיקר בתעשיות המוליכים למחצה והאלקטרוניקה כדי להגן על נושאי פרוסות, בסיסים ואלמנטים חימום מפני סביבות קורוזיביות ותגובתיות. ציפוי SiC מתאים גם לתנורי ואקום ולחימום דגימות בסביבות ואקום גבוה, תגובתי וחמצן.

משטח ציפוי SiC בטוהר גבוה

מהו תהליך ציפוי SiC?

שכבה דקה של סיליקון קרביד מופקדת על פני המצע באמצעותCVD (השקעת אדים כימית). השקיעה מבוצעת בדרך כלל בטמפרטורות של 1200-1300 מעלות צלזיוס והתנהגות ההתפשטות התרמית של חומר המצע צריכה להיות תואמת לציפוי SiC כדי למזער את הלחץ התרמי.

מבנה גביש CVD SIC FILM

CVD SIC ציפוי FILM CRYSTAL Structure

התכונות הפיזיקליות של ציפוי SiC באות לידי ביטוי בעיקר בעמידות הטמפרטורה הגבוהה שלו, קשיות, עמידות בפני קורוזיה ומוליכות תרמית.

הפרמטרים הפיזיים האופייניים הם בדרך כלל כדלקמן:

קַשִׁיוּת: לציפוי SiC יש בדרך כלל קשיות Vickers בטווח של 2000-2500 HV, מה שמקנה להם עמידות בפני שחיקה ועמידות בפני פגיעות גבוהות במיוחד ביישומים תעשייתיים.

צְפִיפוּת: ציפויי SiC הם בדרך כלל בעלי צפיפות של 3.1-3.2 גרם/ס"מ³. הצפיפות הגבוהה תורמת לחוזק המכני ולעמידותו של הציפוי.

מוליכות תרמית: ציפויי SiC בעלי מוליכות תרמית גבוהה, בדרך כלל בטווח של 120-200 W/mK (ב-20°C). זה נותן לו מוליכות תרמית טובה בסביבות טמפרטורות גבוהות והופך אותו למתאים במיוחד לציוד לטיפול בחום בתעשיית המוליכים למחצה.

נקודת התכה: לסיליקון קרביד נקודת התכה של כ-2730°C ויש לו יציבות תרמית מעולה בטמפרטורות קיצוניות.

מקדם התפשטות תרמית: לצופי SiC יש מקדם התפשטות תרמית ליניארי נמוך (CTE), בדרך כלל בטווח של 4.0-4.5 מיקרומטר/מK (ב-25-1000℃). המשמעות היא שיציבות הממדים שלו מצוינת על פני הפרשי טמפרטורות גדולים.

עמידות בפני קורוזיה: ציפויי SiC עמידים במיוחד בפני קורוזיה בסביבות חומצה חזקה, אלקליות וחמצון, במיוחד בעת שימוש בחומצות חזקות (כגון HF או HCl), עמידותם בפני קורוזיה עולה בהרבה על זו של חומרי מתכת רגילים.

ניתן ליישם ציפוי SiC על החומרים הבאים:

גרפיט איזוסטטי בטוהר גבוה (CTE נמוך)
ווֹלפרָם
מוליבדן
סיליקון קרביד
סיליקון ניטריד
פחמן-פחמן מרוכבים (CFC)

מוצרים מצופים SiC נמצאים בשימוש נפוץ בתחומים הבאים:

ייצור שבבי LED
ייצור פוליסיליקון
מוֹלִיך לְמֶחֱצָהצמיחת גבישים
סיליקון ואפיטקסיה SiC
טיפול ותחריט בחום רקיק

למה לבחור ב-VET Energy?

VET Energy היא יצרנית מובילה, חדשנית ומובילה של מוצרי ציפוי SiC בסין, מוצרי ציפוי SiC העיקריים כולליםמנשא פרוסות עם ציפוי SiC, מצופה SiCקליע אפיטקסיאלי, טבעת גרפיט מצופה SiC, חלקי חצי ירח עם ציפוי SiC, קומפוזיט פחמן-פחמן מצופה SiC, סירת פרוסות מצופה SiC, דוד מצופה SiCועוד. VET Energy מחויבת לספק לתעשיית המוליכים למחצה את הטכנולוגיה והפתרונות האולטימטיביים למוצר, ותומכת בשירותי התאמה אישית. אנו מצפים בכנות להיות השותף שלך לטווח ארוך בסין.