חמצון SiC - ציפוי עמיד הוכן על משטח גרפיט על ידי תהליך CVD

ניתן להכין ציפוי SiC על ידי שקיעת אדים כימית (CVD), טרנספורמציה מבשר, ריסוס פלזמה וכו'. הציפוי שהוכן על ידי שקיעת אדים CHEMICAL הוא אחיד וקומפקטי, ובעל יכולת עיצוב טובה. שימוש במתיל טריכלוסילאן. (CHzSiCl3, MTS) כמקור סיליקון, ציפוי SiC שהוכן בשיטת CVD הוא שיטה בוגרת יחסית ליישום ציפוי זה.
לציפוי SiC ולגרפיט יש תאימות כימית טובה, ההבדל של מקדם ההתפשטות התרמית ביניהם קטן, שימוש בציפוי SiC יכול לשפר ביעילות את עמידות הבלאי ועמידות החמצון של חומר גרפיט. ביניהם, ליחס סטוכיומטרי, טמפרטורת תגובה, גז דילול, גז טומאה ותנאים אחרים יש השפעה רבה על התגובה.