במהלך תהליך האפיטקסיה של האדים (VPE), תפקידו של הדום הוא לתמוך במצע ולהבטיח חימום אחיד במהלך תהליך הגידול. סוגים שונים של כנים מתאימים לתנאי גידול ומערכות חומרים שונים. להלן כמה מסוגי הכן הנפוצים בשלב האדיםאפיטקסיה:
דום חבית
כנים של חבית נמצאים בשימוש נפוץ במערכות אפיטקסיות פאז אדים אופקיות או מוטות. הם יכולים להחזיק את המצע ולאפשר לגז לזרום על פני המצע, מה שעוזר להשיג צמיחה אפיטקסיאלית אחידה.
כן בצורת דיסק (כן אנכי)
כנים בצורת דיסק מתאימים למערכות אפיטקסיות של פאז אדים אנכיות, בהן מניחים את המצע בצורה אנכית. עיצוב זה עוזר לצמצם את שטח המגע בין המצע והסובל, ובכך מפחית את איבוד החום וזיהום פוטנציאלי.
קולט אופקי
סופגים אופקיים פחות נפוצים באפיטקסיית פאז האדים, אך עשויים לשמש בכמה מערכות גידול ספציפיות כדי לאפשר צמיחה אפיטקסיאלית בכיוון אופקי.
סוספטור תגובה אפיטקסיאלית מונוליטית
קולט התגובה האפיטקסיאלי המונוליטי מיועד למצע יחיד, שיכול לספק בקרת טמפרטורה מדויקת יותר ובידוד תרמי טוב יותר, המתאים לגידול שכבות אפיטקסיאליות איכותיות.
ברוכים הבאים לאתר שלנו לקבלת מידע על המוצר וייעוץ.
האתר שלנו: https://www.vet-china.com/
זמן פרסום: 30 ביולי 2024