סקירה כללית של דיסקים גרפיט

לבסיס השחזה של אבן מצופה SIC יש מאפיינים של עמידות בטמפרטורה גבוהה, עמידות לחמצון, טוהר גבוה, חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים ותפקוד פיזי וכימי יציב. בהשוואה לגרפיט בטוהר גבוה, גרפיט בטוהר גבוה ב-400℃ מתחיל חמצון אינטנסיבי, גם אם הטמפרטורה אינה גבוהה, יישום ארוך טווח יהיה עקב חמצון ואבקה, בהסתמך על חומר העבודה והטבלה או זיהום השימוש בסביבה , כך SIC ציפוי גרפיט בסיס כציוד MOCVD חדש, אבקת sintering תהליך בהדרגה להחליף גרפיט טוהר גבוה.

מאפיינים עיקריים:

1. נוגד חמצון בטמפרטורה גבוהה: נוגד חמצון, הפונקציה נוגדת החמצון עדיין טובה מאוד כאשר הטמפרטורה היא עד 1600 ℃;

2. טוהר גבוה: מתקבל על ידי שיטת שקיעת אדים כימית בתנאי הכלרה בטמפרטורה גבוהה;

3. עמידות בפני שחיקה: קשיות גבוהה, משטח צפוף, חלקיקים עדינים;

עמידות בפני קורוזיה: חומצה, אלקלי, מלח וריאגנטים אורגניים;

5. שכבת פני השטח SIC היא β-סיליקון קרביד, מעוקב במרכז הפנים.